华特气体石平湘：
27年只为争一口“气”
（上接1版）
这句因缺气而生的“气话”，让石平湘深刻认识到，中国制造业水平发展得越高，工业气体和特种气体的需求量就越大。然而，彼时有能力进行气体生产的中国企业却寥寥无几。而且，不仅是集成电路所需的各类高纯度特种气体，就连大宗的普通工业气体，国内也几乎依赖于外资厂商。
石平湘没有光生“闷气”。1993年，他放弃了政府部门的工作岗位，走上创业之路，创立了广东华南特种气体研究所，即华特气体的前身。
“至今，这句话依然在激励着我前行！”思绪回到现实，石平湘说得仍然激动。
十年磨剑
一开始，华特气体做的是普通工业气体的充装与零售，创立当年，就开发出第一款气体产品——氩气。
提起氩气，石平湘又笑呵呵地讲起一个故事。当时，华特气体想动员一家国有摩托车厂将铅焊改为氩弧焊，使用公司的氩气，但未果。孰料，几个月后，该厂又主动找上门来要买氩气。原来，这个厂家去巴黎参加车展，看到先进的同行都在采用氩弧焊的技术，不仅能节省一半钢材，还能让车架卖出贵一倍的价格。
“中国的工业一定是往高技术加工的方向发展。”这件事之后，石平湘下定决心，华特气体要以普通气体为重点，以氩气为主导，开发多种混合气体。
不过，人才是一个难题，彼时材料领域的科班人才少之又少。由于历史原因，石平湘自己也错失了上大学的机会。没有条件，就要创造条件，石平湘于是先从自学开始。
“为了开发焊接保护气，我看过的材料垒起来有一尺半厚。”石平湘用手比划着说。哈工大焊接所是国内焊接领域的权威，其出版的专业材料，石平湘一本接着一本地啃。遇到看不懂的英文，他就写信给焊接所的研究人员，请他们帮忙翻译成中文。最后，华特气体成功开发出焊接保护气。直到现在，石平湘还保持着阅读专业资料和做笔记的习惯。
石平湘介绍，华特气体以普通的工业气体开局，到现在，已经形成了包括电子特气、混合气、高纯气体、有机气体、标准气体、照明气体、医用气体、稀有气体和其他混合气等在内的多产品线，产品超过200多个品种。
化难为机
如果说跨入气体行业是一大挑战，那么从普通工业气体跨入特种气体，则是挑战的升级版。
在华特气体成立的第四个年头，石平湘又瞄准了特种气体。2000年，华特气体开始致力于特种气体研发。
与“量大面广”的普通气体不同，特种气体是一个“小众市场”，具有多品种、小批量、多批次的特点。以半导体用电子特气为例，现有单元特种气体260余种，可配制成25000多种混合气体。其中，主要的品类包括清洗蚀刻类、光刻气、外延气体、掺杂气体等。
“在半导体的几百个制程工序中，几乎每个工序用到的都是不同品种、不同纯度、不同含量的特气。”石平湘介绍，半导体对特气不仅要求纯度高，还要及时的供应，一系列的标准近乎苛刻。更为重要的是，特气产品进入晶圆制造厂的验证周期很长，这是一项需要坚持的漫长工作。
乐观豁达的性格下，别人眼中的困难成了石平湘的机遇。他告诉记者，华特气体之所以敢进军特种气体，就在于有长期的技术研发积累优势。从做工业气体开始，石平湘就有意识地要求研发人员将所有的工艺、数据进行整理保存，这些数据用在新产品研发过程中，减少了犯错，大大缩短了研发的进程和难度。
在飞秒技术替代了眼科准分子激光器技术后，华特气体将该项技术从医疗市场转入了集成电路领域，开始研发光刻气。
“两种气体都含有微量的氟，工艺基础是相同的。”石平湘告诉记者，因为有技术积累，华特气体很快研发出光刻气，不仅成本低，可靠性还高。“目前，全球有4家气体公司的光刻气通过了阿斯麦（ASML）的验证，华特气体是唯一一家中国公司。”石平湘说。
“难归难，但能解决‘卡脖子’的难题，就值得去做。”对于选择做“出大力、挣小钱”的特气生意，石平湘笑呵呵地说。
在电子特气领域坚守20余年，华特气体取得了一系列令人瞩目的成绩。对此，石平湘如数家珍：2005年，公司的第一个特气产品高纯二氧化碳进入了日本TDK子公司东莞新科电子；2007年，公司的一氧化氮进入了三星；2012年，公司的四氟化碳打入台积电；2013年，公司的六氟乙烷开始供应中芯国际……
据披露，截至2019年底，华特气体获得了101项专利，参与制定了30项国家标准，逐步实现了高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、光刻气、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯八氟丙烷、高纯一氧化氮等近20个产品的进口替代。
慢就是快
“不要着急，慢慢来。”在采访过程中，石平湘多次说。
回首27年的气体从业经历，石平湘最大的感悟是做事情不能着急，看准了方向，然后持续投入，板凳坐得十年冷，终归会有收获。
华特气体走过的27年过程中，普通工业气体的市场在急剧膨胀，快速“催肥”了一批气体类公司。如果华特气体选择继续在普通工业气体的道路向前发展，或能更快地达到现在的企业规模。不过，华特气体选择的却是一条“纵向”的发展道路，即不断向更高水平的技术领域挺进，以时间换取了更大的发展空间。
坚守20多年后，华特气体又迎来了国产半导体的重大发展机遇。石平湘说，有市场，有了政策支持，华特气体接下来会跑得更快。
“下一步，往产业链上游走，解决原材料问题。”石平湘告诉记者，相对于工艺的复杂，当前国产半导体特气公司面临的更大难题是“多品种”的问题。
“我的想法是，在维持一定的企业利润下，华特气体有责任担当持续投入特种气体，这不仅是公司长远发展的需要，也是为国家解决难题的需要。”27年“扎猛”气体产业，石平湘不会忘记那位总工喉咙间的“气话”，在他看来，只有不断实现国产替代，才能不断减少自己作为化工人的“羞愧感”。
谈及中国的半导体产业发展前景，石平湘信心满满地说，毫无疑问，中国的半导体产业具有广阔的发展前景，但大机遇之下，只有选对技术路线、稳打稳扎的公司，才能最终获得成功，笑到最后。
