■上海至纯洁净系统科技股份有限公司公开发行可转换公司债券上市公告书

■上海至纯洁净系统科技股份有限公司

公开发行可转换公司债券上市公告书

股票简称：至纯科技 股票代码：603690 公告编号：2020-003

■上海至纯洁净系统科技股份有限公司

PNC Process Systems Co., Ltd.（注册地址：上海市闵行区紫海路170号）

公开发行可转换公司债券上市公告书

第一节 重要声明与提示

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”、“发行人”或“公司”）全体董事、监事、高级管理人员保证上市公告书的真实性、准确性、完整性，承诺上市公告书不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责任。

根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》等有关法律、法规的规定，公司董事、高级管理人员已依法履行诚信和勤勉尽责的义务和责任。

中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）、上海证券交易所（以下简称“上交所”）、其他政府机关对公司可转换公司债券上市及有关事项的意见，均不表明对公司的任何保证。

公司提醒广大投资者注意，凡本上市公告书未涉及的有关内容，请投资者查阅2019年12月18日刊载于《上海证券报》的《上海至纯洁净系统科技股份有限公司公开发行可转换公司债券募集说明书摘要》及刊载于上海证券交易所指定网站（http://www.sse.com.cn）的募集说明书全文。

本上市公告书使用的简称释义与《上海至纯洁净系统科技股份有限公司公开发行可转换公司债券募集说明书》相同。

第二节 概览

一、可转换公司债券简称：至纯转债

二、可转换公司债券代码：113556

三、可转换公司债券发行量：不超过人民币35,600.00万元（35.60万手）

四、可转换公司债券上市量：不超过人民币35,600.00万元（35.60万手）

五、可转换公司债券上市地点：上海证券交易所

六、可转换公司债券上市时间：2020年1月9日

七、可转换公司债券存续的起止日期：自2019年12月20日至2025年12月19日

八、可转换公司债券转股的起止日期：本次发行的可转债转股期自发行结束之日起满6个月后的第一个交易日起至可转债到期日止，即2020年6月26日至2025年12月19日。

九、可转换公司债券付息日：每年的付息日为本次发行的可转债发行首日起每满一年的当日，如该日为法定节假日或休息日，则顺延至下一个交易日，顺延期间不另付息。每相邻的两个付息日之间为一个计息年度。

每年的付息债权登记日为每年付息日的前一交易日，公司将在每年付息日之后的5个交易日内支付当年利息。在付息债权登记日前（包括付息债权登记日）申请转换成公司股票的可转债，公司不再向其持有人支付本计息年度及以后计息年度的利息。

十、可转换公司债券登记机构：中国证券登记结算有限责任公司上海分公司

十一、保荐机构（联席主承销商）：兴业证券股份有限公司

十二、可转换公司债券的担保情况：本次公开发行的可转债采用股份质押和保证的担保方式。公司实际控制人蒋渊、股东陆龙英以其合法拥有的部分公司股票作为质押资产进行质押担保，同时提供不可撤销的连带责任保证担保。担保范围为公司经中国证监会核准发行的可转债本金及利息、违约金、损害赔偿金及实现债权的合理费用，担保的受益人为全体债券持有人，以保障本次可转债的本息按照约定如期足额兑付。

十三、可转换公司债券信用级别及资信评估机构：公司主体信用级别评级为A+，本次可转债的信用级别评级为A+，评级机构为中证鹏元资信评估股份有限公司。

第三节 绪言

本上市公告书根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上市公司证券发行管理办法》、《上海证券交易所股票上市规则》以及其他相关的法律法规的规定编制。

经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）证监许可[2019]2277号文核准，公司于2019年12月20日公开发行了356万张可转换公司债券，每张面值100元，发行总额不超过人民币35,600.00万元。发行方式采用向原A股股东优先配售，优先配售后余额部分（含原A股股东放弃优先配售部分）采用网上通过上交所交易系统向社会公众投资者发售的方式进行，余额由联席主承销包销。

经上海证券交易所〔2020〕5号自律监管决定书同意，公司发行的35,600万元可转换公司债券在上海证券交易所挂牌交易，债券简称“至纯转债”，债券代码“113556”。

公司已于2019年12月18日于《上海证券报》刊登了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司公开发行可转换公司债券募集说明书摘要》。投资者亦可通过上海证券交易所指定网站（http://www.sse.com.cn）查询募集说明书全文及本次发行的相关资料。

第四节 发行人概况

一、发行人基本情况

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二、发行人的历史沿革

（一）公司设立和上市情况

发行人系由上海至纯洁净系统科技有限公司于2011年9月22日整体变更发起设立的股份公司。发行人设立时的注册资本为人民币9,000万元，发起人为至纯有限全体股东。

发行人设立时股权结构及股东持股情况如下：

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经中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司首次公开发行股票的批复》（证监许可[2016]3058号）核准，公司首次向社会公众发行人民币普通股5,200万股，并于2017年1月13日在上海证券交易所上市。该次公开发行后，公司总股本为20,800万股。

（二）公司历次股权变动

1、2000年11月，至纯有限成立

发行人前身为上海至纯洁净系统科技有限公司，成立于2000年11月13日，注册资本为50万元，成立时的股本结构如下表所示：

单位：万元

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根据上海华晖会计师事务所出具的华会验[2000]第747号《验资报告》，截至2000年11月6日，陆龙英、陆龙妹已以货币资金全部出资完毕。本次出资资金来源为自有资金。2000年11月13日，至纯有限在上海市工商行政管理局闵行分局完成设立登记。

2、2003年10月，至纯有限第一次增资

2003年10月15日，根据至纯有限股东会决议，全体股东一致同意将至纯有限注册资本增加至500万元，增资金额为450万元，其中陆龙英以货币资金增资337.5万元，陆龙妹以货币资金增资112.5万元。根据上海兴中会计师事务所有限公司出具的兴验内字（2003）第5765号《验资报告》，截至2003年10月23日，陆龙英、陆龙妹已完成本次增资。

2003年10月31日，至纯有限在闵行工商局办理了工商变更登记。 本次增资完成后，至纯有限的股权结构如下表所示：

单位：万元

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3、2006年8月，至纯有限第一次股权转让

2006年6月26日，至纯有限召开股东会，通过如下决议：（1）陆龙英将其持有的至纯有限60%的股权作价300万元转让给蒋渊；（2）陆龙英将其持有的至纯有限7%的股权作价35万元转让给吴海华；（3）陆龙妹将其持有的至纯有限 1%的股权作价5万元转让给吴海华；（4）陆龙妹将其持有的至纯有限24%的股权作价120万元转让给丁军军。 2006年6月26日，陆龙英与蒋渊、吴海华签署了相应的《股权转让协议》，陆龙妹与吴海华、丁军军签署了相应的《股权转让协议》。蒋渊、丁军军、吴海华均以货币资金支付了上述转让价款。本次出资资金来源为自有资金。

2006年8月30日，至纯有限在闵行工商局办理了工商变更登记。本次股权转让完成后，至纯有限的股权结构变更为：

单位：万元

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4、2010年6月，至纯有限第二次股权转让

2009年2月2日，蒋渊女士与丁军军先生签署了《股权转让协议》，丁军军先生同意将至纯有限24%的股权作价人民币244万元转让给蒋渊女士。本次股权转让系因为丁军军先生因个人原因拟退出公司，故将其股权转让给蒋渊女士。蒋渊女士在受让股权后，决定将该等股权转让给其母亲陆龙英女士。后经各方协商一致，确定由陆龙英女士受让丁军军先生的上述股权。2010年5月21日，至纯有限股东会作出如下决议：同意股东丁军军先生将其持有的公司24%的股权转让给陆龙英女士。2010年5月23日，丁军军先生与陆龙英女士就上述股权转让事宜签订了《股权转让协议》。

2010年6月10日，至纯有限就上述股权转让事宜办理了工商变更登记。本次股权转让完成后，至纯有限的股权结构如下表所示：

单位：万元

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5、2011年7月，至纯有限第三次股权转让

2011年5月10日，至纯有限召开股东会并通过如下决议：陆龙英以其持有的至纯有限10%的股权作价396万元转让给尚纯投资。2011年5月10日，陆龙英与尚纯投资签署了《股权转让协议》。

2011年7月1日，至纯有限在闵行工商局办理了工商变更登记。 本次股权变更完成后，至纯有限股权结构如下表所示：

单位：万元

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6、2011年7月，至纯有限第二次增资

2011年7月4日，根据至纯有限股东会决议，全体股东一致同意：（1）至纯有限注册资本由500万元增加至615.7635万元，增资金额为115.7635万元，其中上海联新投资中心（有限合伙）以现金4,797.00万元认缴注册资本55.4187万元，占本次增资后注册资本的9.00%；宁波维科新业成长一号创业投资合伙企业（有限合伙）以现金3,731.00万元认缴注册资本人民币43.1034万元，占本次增资后注册资本的7.00%；上海至朴投资管理有限公司以现金426.40万元认缴注册资本人民币4.9261万元，占本次增资后注册资本的0.80%；自然人孙时伟以现1,066.00万元认缴注册资本人民币12.3153万元，占本次增资后注册资本的2.00%。根据上海众华沪银会计师事务所有限公司出具的沪众会字（2011）第4384号《验资报告》，截至2011年7月18日止，以上出资均已全部到位。

2011年7月28日，至纯有限在闵行工商局办理了工商变更登记。 本次增资完成后，至纯有限股权结构如下表所示：

单位：万元

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7、2011年9月，至纯有限整体变更为至纯科技

2011年9月9日，根据至纯有限股东会决议，全体股东一致同意以发起设立方式将至纯有限整体变更为至纯科技。此次整体变更以2011年7月31日经审计（沪众会字（2011）第4584号）的净资产161,444,814.57元为基准，折成至纯科技的9,000万股，每股面值1元，剩余金额计入资本公积。2011年9月9日，众华沪银出具了沪众会字（2011）第4647号《验资报告》，审验公司注册资本为9,000万元。

2011年9月22日，发行人在上海市工商行政管理局办理完工商登记，注册号为310112000278119，注册资本为9,000万元，法定代表人为蒋渊。 本次整体变更完成后，发行人的股本结构如下表所示：

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8、2013年6月，至纯科技第一次增资

根据2013年5月26日召开的2013年第一次临时股东大会决议，发行人拟增加注册资本6,600万元，增资来源均为截至2012年12月31日资本公积（股本溢价）。根据上海众华沪银会计师事务所有限公司2013年6月1日出具的沪众会验字（2013）第4744号验资报告，截至2013年6月1日止，至纯科技已经将资本公积 6,600 万元转增股本。

本次增资后，发行人的股权结构如下表所示：

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9、2017年1月，首次公开发行

经中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司首次公开发行股票的批复》（证监许可[2016]3058号）核准，发行人首次向社会公众发行人民币普通股5,200万股，并于2017年1月13日在上海证券交易所上市。本次公开发行后，发行人总股本为20,800万股。其中，实际控制人蒋渊持股7,600.32万股，持股比例为36.54%。

本次公开发行后，发行人股权结构及股东持股情况如下：

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10、2017年8月，授予限制性股票

发行人于2017年5月9日分别召开第二届董事会第二十一次会议、第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于公司第一期限制性股票激励计划（草案）及其摘要的议案》、《关于公司第一期限制性股票激励计划实施考核管理办法的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理公司第一期限制性股票激励计划有关事项的议案》等议案，发行人独立董事对此发表了独立意见。

2017年5月12日，发行人内部公示了激励对象名单，公示时间自2017年5月12日起至2017年5月22日止。在公示期间，发行人未接到任何人对公司本次激励对象提出的异议。监事会对激励对象名单进行了核查，并于2017年5月23日出具了《至纯科技监事会关于第一期限制性股票激励计划激励对象名单审核意见及公示情况的说明》。

发行人于2017年6月2日召开2016年年度股东大会，审计通过了《关于〈至纯科技第一期限制性股票激励计划 （草案）〉及其摘要的议案》、《关于制订〈至纯科技第一期限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理公司限制性股票激励计划有关事项的议案》、《至纯科技第一期限制性股票激励计划激励对象名单》等议案。

2017年6月10日，发行人完成了2016年年度利润分配的实施。2017年7月4日，发行人分别召开了第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于调整第一期限制性股票激励计划相关事项的议案》, 授予价格由9.92元/股调整为9.85元/股，同时由于一名激励对象因个人原因自愿放弃认购发行人向其授予的限制性股票3万份, 激励对象由39人调整为38人，首次授予限制性股票数量由243万股调整为240万股，预留授予限制性股票数量60万股不变；审议通过了《关于首次向激励对象授予限制性股票的议案》，同意确定以2017年7月4日为首次授予日，授予38名激励对象240万股限制性股票，授予价格每股9.85元。

2017年7月21日，发行人收到中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的证券变更登记证明，激励计划首次授予登记的限制性股票为240万股，于2017年7月20日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司完成股份登记。本次限制性股票授予完成后，发行人股份总数由原来的208,000,000股增加至210,400,000股。

2017年8月15日，发行人就本次变更取得了由上海市工商行政管理局核发的统一社会信用代码为9131000070304179XY的营业执照。

本次期限制性股票授予后，发行人股权结构变动情况如下：

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11、2018年7月，限制性股票注销

2017年12月22日，发行人分别召开了第三届董事会第三次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于回购注销部分限制性股票的议案》，由于两名激励对象离职，同意回购并注销两名离职激励对象共计4万股限制性股票。根据《第一期限制性股票激励计划（草案）》的规定，以授予价格即9.85元/股进行回购。

2018年4月17日，发行人于中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理股份回购事项，股权激励限制性股票4万股已过户至发行人专用账户并予以注销，发行人股本将相应减少。

2018年7月6日，发行人就本次变更取得了由上海市工商行政管理局核发的统一社会信用代码为9131000070304179XY的营业执照。

本次限制性股票注销后，发行人股权结构变动情况如下：

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12、2018年11月，授予限制性股票

2018年6月27日，发行人分别召开第三届董事会第十一次会议和第三届监事会第八次会议，审议通过了《关于向激励对象授予预留限制性股票的议案》，确定以2018年6月27日为本次限制性股票预留权益的授予日，向18名激励对象授予共计60万股限制性股票，授予价格为9.38元/股。

2018年8月6日，发行人召开第三届董事会第十二次临时会议和第三届监事会第九次临时会议，审议通过《关于调整第一期限制性股票激励计划预留权益授予事项的议案》，一名激励对象因个人原因自愿放弃公司拟向其授予的限制性股票2万股，发行人本次激励计划预留权益授予的激励对象由18人调整为17人，授予数量由60万股调整为58万股。发行人2017年度利润分配方案实施后，预留权益的授予价格由9.38元/股调整为9.31元/股。

2018年11月21日，发行人收到中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的证券变更登记证明，本次激励计划预留权益授予登记的限制性股票为58万股，于2018年11月20日完成股份登记，发行人股份总数由原来的21,036万股增加至21,094万股。

2018年11月30日，发行人就本次变更取得了由上海市工商行政管理局核发的统一社会信用代码为9131000070304179XY的营业执照。

本次授予限制性股票授予后，发行人股权结构变动情况如下：

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13、2019年3月，发行股份购买资产

经中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司向赵浩等发行股份购买资产并募集配套资金的批复》（证监许可[2018]2185号）核准，发行人向赵浩等发行26,165,214股人民币普通股，并于2019年3月25日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记手续。

本次发行后，发行人总股本为237,105,214股。其中，实际控制人蒋渊持股7,600.32万股，持股比例为32.05%。发行人前十名股东持股情况如下表所示：

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14、2019年4月，发行股份募集配套资金

经中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司向赵浩等发行股份购买资产并募集配套资金的批复》（证监许可[2018]2185号）核准，发行人非公开发行20,985,844股人民币普通股，并于2019年4月25日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记手续。

本次发行后，发行人总股本为258,091,058股。其中，实际控制人蒋渊持股7,600.32万股，持股比例为29.45%。发行人前十名股东持股情况如下表所示：

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15、2019年，限制性股票注销

2019年8月30日，发行人召开了第三届董事会第二十五次会议和第三届监事会第十九次会议，审议通过了《关于回购注销第一期限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》。根据上述议案，发行人将以每股9.741元的价格回购第一期限制性股票激励计划首次授予部分中离职激励对象3人已授予尚未解除限售的限制性股票14.70万股，以及因发行人业绩考核条件未达标不符合解锁条件的已授予尚未解除限售的限制性股票64.50万股；以每股9.272元的价格回购第一期限制性股票激励计划预留部分中离职激励对象一人已授予尚未解除限售的限制性股票2.00万股，以及因发行人业绩考核条件未达标不符合解锁条件的已授予尚未解除限售的限制性股票28.00万股。发行人独立董事对该事项发表了同意的独立意见。

本次回购注销限制性股票的激励对象共计53人，回购注销限制性股票的数量合计109.20万股，占目前发行人总股本的0.42%。其中，因激励对象离职拟回购注销的已授出但尚未解除限售条件的限制性股票为16.70万股，因发行人未达到业绩考核条件拟回购注销的已授出但尚未解除限售条件的限制性股票为92.50万股。

截至本上市公告书出具日，公司本次限制性股票注销尚在办理过程中。

16、2019年，限制性股票授予

2019年6月26日，发行人召开了第三届董事会第二十三次会议、第三届监事会第十七次会议，审议通过了《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第二期股票期权与限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》、《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第二期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》。2019年7月12日，发行人召开2019年第一次临时股东大会，审议通过了上述议案。

2019年8月30日，发行人召开第三届董事会第二十五次会议、第三届监事会第十九次会议，审议通过了《关于调整公司第二期股权激励计划相关事项的议案》、《关于首次向激励对象授予第二期股权激励股票期权与限制性股票的议案》。发行人本次股权激励计划首次授予的激励对象由78人调整为72人，其中首次授予股票期权的激励对象由22人调整为21人，首次授予限制性股票的激励对象由56人调整为51人；首次授予的股票期权由160万份调整为152万份，预留授予股票期权数量40万份不变；首次授予限制性股票的数量由82万股调整为81.75万股，预留授予限制性股票数量20万股不变。发行人监事会对发行人本次股权激励计划的调整事项进行了核查并发表了意见。发行人独立董事对此发表了同意的独立意见。

本次激励计划以2019年8月30日为授予日，激励对象共计72人，包括在发行人任职的管理人员（不包括独立董事、监事）、核心技术（业务）骨干，首次授予21名激励对象152万份股票期权，授予价格每份18.51元；首次授予51名激励对象81.75万股限制性股票，授予价格每股9.26元。

2019年9月26日，发行人在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成公司第二期股票期权与限制性股票激励计划首次授予所涉及的股票期权和限制性股票的登记工作。本次限制性股票授予完成后，发行人股份总数由原来的258,091,058股增加至258,908,558股。2019年11月8日，公司就本次变更取得了由上海市工商行政管理局核发的统一社会信用代码为9131000070304179XY的营业执照。

三、发行人股权结构及前十名股东持股情况

（一）发行人股本结构

截至2019年12月10日，公司总股本为258,908,558股，股本结构如下：

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（二）发行人前十名股东持股情况

截至2019年12月10日，公司前十名股东持股情况如下：

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四、发行人主要经营情况

（一）发行人的主要业务

报告期内，公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的设计、加工制造和安装；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售。另外，公司于2019年3月完成对波汇科技的收购，波汇科技主要业务为光传感器及相关光学元器件的研发、生产和销售。

公司主要产品类别及对应用途如下：

1、高纯工艺系统

公司高纯工艺系统的产品主要包括气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备及系统、物料及水系统，广泛应用于泛半导体及生物制药、食品饮料等领域。

高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。高纯工艺系统能将制程所需的高纯介质从源头稳定的传输至终端设备，同时保证高纯介质不会因吸附气体和水分、脱放气、产生颗粒等原因受到污染，使介质满足生产工艺的纯度要求。在泛半导体行业的芯片制造工艺中，即使百万分之一的水氧分含量或零点几微米的杂质颗粒附着在芯片表面都会降低芯片的绝缘性或导通性，导致集成电路的短路、断路甚至腐蚀，从而直接影响制程芯片的品质和良率。因此通过高纯工艺系统实现不纯物控制是最核心的关键点。

公司的主要产品高纯工艺系统按照功能分类如下表所示：

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作为高纯工艺系统的核心组件，公司所设计、加工制作的系统专用设备如下表所示：

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2、半导体湿法清洗设备

公司半导体湿法清洗设备产品包括槽式湿法清洗设备和单片式湿法清洗设备，主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。公司2017年成立半导体湿法事业部，致力打造高端湿法设备制造开发平台，丰富半导体制造设备领域的产销体系。

半导体制造设备主要由晶圆加工制造设备、测试设备、封装及组装设备三大部分组成，晶圆加工设备约占半导体制造设备的80%，其中清洗是晶圆加工制造中的重要一环，在单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程工艺中均为必要环节。硅片在进入每道工艺之前表面必须是洁净的，需经过重复多次清洗步骤，除去其表面的颗粒、有机物、金属杂质及自然氧化层等类型的污染物。

目前的清洗技术有湿法和干法两种，其中湿法技术应用占比约为90%。湿法清洗是指利用溶液、酸碱、表面活性剂、水及其混合物，通过腐蚀、溶解、化学反应等方法，使硅片表面的杂质与溶剂发生化学反应生成可溶性物质、气体或直接脱落，以获得满足洁净度要求的硅片。干洗是指不依赖化学试剂的清洗技术，包括等离子体清洗、气相清洗等。

湿法清洗设备主要有单片式清洗设备和槽式清洗设备两种。槽式清洗设备主要通过浸泡来清洗，槽式清洗方式为批次处理，产出率高。工艺节点达到45nm以下后，单片式清洗的效率较高，通过调节化学药液的温度、浓度、流量，或者使用不同的化学药液达到有针对性的清洗目的，单片设备优点在于可添加洗剂，良率高。

公司的半导体湿法清洗设备简介如下：

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公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、自动控制系统、通信系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。公司可以提供8~12寸晶圆制造的槽式及单片机设备，应用在记忆体（DRAM，3D Flash）、逻辑产品以及薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等特殊工艺上。

3、光传感器及相关光学元器件

公司子公司波汇科技主要从事光传感器及相关光学元器件的研发、生产及销售，具体产品情况如下：

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（二）公司在行业中的竞争地位

1、高纯工艺系统业务

公司所处行业在我国系新兴细分行业，国内尚未成立统一的行业协会，市场上可获得的行业公开数据不充分，对行业内主要企业的市场占有率等数据缺乏权威的第三方统计资料。公司行业内技术领先，竞争地位不断增强，具有承接大项目实力与经验，已经顺利进入集成电路一线客户，确立了公司在国内高纯工艺领域的龙头地位。

2、半导体湿法清洗设备业务

目前市场上半导体湿法清洗设备主要由国外厂商垄断，主要有Screen Semiconductor Solutions、Tokyo Electron、Lam Research等，国内研发清洗设备的厂商主要有盛美半导体、北方华创和发行人，其中盛美半导体于1998年在美国成立，2006年于上海设立子公司，是最早做单片清洗设备的国内公司，长期供应海力士，北方华创通过收购Akrion，主要是做槽式设备，发行人单片式、槽式湿法设备得到客户认可，均已拿到订单。

3、光传感器及光电子元器件业务

波汇科技凭借多年来的技术积累及市场开拓，开发出一系列具有自主知识产权的核心技术，波汇科技及其子公司共拥有的专利权135项，其中发明专利45项。公司技术全面，产品线丰富，在分布式光纤振动监测、温度监测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜以及应用软件开发等方面具有核心技术，且多项技术已达到国际先进水平。

（三）公司竞争优势

1、高纯工艺系统业务

（1）核心技术与工艺达到优秀水平

截至本上市公告书签署日，公司拥有243项专利权，59项核心技术，其中包括36项高纯工艺系统业务相关核心技术。同时，公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。公司工艺水平已能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。

（2）精准设计与有效质控

公司一直专注于满足高端制造业客户不断提升的制程精度要求，紧密跟踪下游各主要行业新技术、新工艺对于高纯工艺系统的新要求。同时，公司注重对客户的持续服务与沟通，不断加深对客户工艺要求的理解。在长期持续研究与大量设计实践基础上，公司的设计团队能够根据不同行业/客户的不同工艺，实现快速、精准设计，充分满足客户需求。公司深刻认识到高纯工艺系统质量对于客户产品良率的重要影响，在设备制造与工程安装全过程都制定了严密的质量控制体系。2012年，公司获得了EHS管理体系认证，反映公司在环保、健康、安全方面能较好地履行责任并达到国际水平。EHS管理体系已在很多大型跨国公司广泛建立，并成为其遴选供应商的重要标准。

（3）丰富稳定的客户资源

高纯工艺系统对客户的制程精度与产品良率至关重要，客户一般倾向于选择有良好合作基础或经验丰富的供应商。基于公司十余年勤勉、诚信经营所积淀的技术、经验与口碑，公司拥有丰富稳定的客户资源，形成持续获取充分订单的可靠保证。

公司的客户覆盖了目标市场的主要行业，且基本为各自行业的领军企业或主要企业。报告期内，公司与上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多国内一线客户建立了长期稳定的合作关系，形成公司业绩持续增长的基石。

2、半导体湿法清洗设备业务

（1）技术优势

至纯科技于2017年成立独立的半导体湿法事业部，致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本。公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖包括晶圆制造、先进封装、太阳能在内多个下游行业的市场需求，且已经取得部分一线客户的订单。

（2）人才优势

目前，公司拥有众多湿法设备制造领域的行业专家人才，该等人员大都拥有相关领域全球领先企业的多年从业经历，技术实力强、管理水平高。公司通过提供良好的平台，能够保证专业人才所拥有的研发创新经验、生产经验和企业管理经营经验得到充分发挥。此外，公司在生产经营过程中也已积累了丰富的企业管理经验，能够为湿法设备制造项目的顺利实施输送具有竞争意识和战略眼光的管理人才以及具备专业能力的员工队伍。

3、光传感器及光电子元器件业务

（1）产品线齐全，具备产业链垂直集成能力

公司作为光纤传感技术领域的为数不多具有垂直集成能力的供应商，不仅能自主研发和生产多种技术原理、高精度的光纤传感系统，同时还具有上游核心光器件制造能力，并可进行数据分析软件开发和提供系统集成等服务，公司产品技术的研发升级可以在产业链平台上得到大力度推广应用，使得公司成为具有较高知名度的集光学器件及传感设备研发于一体的综合产品服务提供商。

（2）技术与资质优势

公司技术全面，产品线丰富，在短、中、长、超长距分布式光纤振动监测、分布式光纤温度检测、光纤光栅传感系统以及模式识别智能算法、智能视频、软件平台、真空镀膜等方面具有核心技术，特别在模式识别智能算法领域能够实现高精度、高响应、低延时的大数据分析能力，有效提升其核心产品的市场竞争力，多项技术已达到国际先进水平。公司共拥有多项发明专利，同时公司还参与编制了多项分布式光纤传感器国家标准，自主研发产品获得了国家消防电子产品认证、3C认证、德国VdS认证及其他国家权威检验检测部门有效性验证。2014年，公司DTS FIRELASER型分布式光纤测温系统获得了上海市专利技术新产品证书和国家重点新产品证书。2016年度，公司分布式光纤振动传感技术及其重要安防应用获得了上海市科学技术奖一等奖。

（3）品牌和客户资源优势

公司通过多年不断的技术开发和经验积累，产品不断完善，在行业中形成了良好的口碑和信誉。在光传感领域，公司积累了一批电力、石油石化、城市地下综合管廊、轨道交通等行业高端客户和合作伙伴，如国家电网、南方电网、中国石油、华为、霍尼韦尔等，形成了良好的品牌效应。公司产品被评为上海名牌和上海市著名商标。在光通信领域，公司与石家庄麦特达电子科技有限公司、瑞谷光网（837597.OC）、储翰科技（831964.OC）等知名企业建立了良好的合作关系。

（4）人才优势

光纤传感器、光电子元器件行业涉及光学、光电子学、微电子学、材料学、甚至计算机网络等多门学科，需要上中下游产业链互相衔接，更要保持基础研究与应用开发并举，因此需要多元化的人才，特别是既懂技术又懂管理的复合型人才。公司秉承开放式研发理念，坚持以自主研发为主，合作研发为辅，拥有一支行业经验丰富，专业背景、创新能力强、跨学科、国际化的技术团队。此外，公司为开拓国际市场，已在英国设立Bandweaver Technology Limited，并成立了国际化的销售团队，引进了在光纤传感行业知名行业专家Richard Julius Kluth负责欧洲市场开拓。

五、控股股东、实际控制人基本情况

截至本上市公告书出具日，蒋渊女士、陆龙英女士、尚纯投资合计持有公司股份数量为11,653.20万股，占股本总额的45.01%，系公司控股股东。其中，陆龙英女士系蒋渊女士的母亲，尚纯投资系由陆龙英女士控制并担任执行事务合伙人的有限合伙企业。蒋渊女士直接持有公司29.36%的股份，且担任公司董事长、总经理，系公司实际控制人。公司控制权关系如下图所示：

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1、蒋渊女士，1975年生，中国国籍，EMBA，无境外居留权；1995年至1998年任上海市静安区经贸委宣传科科员；1998年至2000年就职于凯耐第斯工艺系统（上海）有限公司销售中心，最后职位为营销总监；2000年至今任公司总经理，2011年9月至今兼任公司董事长。2011年获得“上海市闵行区领军人才”称号；2012年获得APEC中小企业峰会组委会颁发的“2012渣打银行中国成长企业价值榜”年度女性管理奖；2014年获得共青团上海市委员会、上海市人力资源和社会保障局颁发的“上海市青年五四奖章”称号；2015年获得“2013-2014年度上海市三八红旗手”荣誉称号；2017年获得“闵行区职工信赖的企业经营管理者”称号；2017年至今任紫竹高新区知联会名誉会长；2018年入选第八届上海青年企业家协会会员；2018年至今任民盟紫竹支部主委；2019年至今任上海信息化理事会理事。

2、陆龙英女士，1946年生，中国国籍，无永久境外居留权，系公司董事长兼总经理蒋渊的母亲。1978年至1996年任上海市糖业烟酒（集团）有限公司吴泾仓库出纳，1996年退休；自公司成立至2011年9月任公司执行董事，现为尚纯投资执行事务合伙人。

3、尚纯（上海）投资咨询中心（有限合伙）

住所：上海市闵行区放鹤路1088号第3幢1087室

统一社会信用代码：91310112577426073M

执行事务合伙人：陆龙英

认缴出资额：400.00万元

实缴出资额：400.00万元

保荐机构（联席主承销商）

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福建省福州市湖东路268号

联席主承销商

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中国（上海）自由贸易试验区商城路618号

签署日期：二零二零年一月

(下转98版)