上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司代码：603690 公司简称：至纯科技
2020年年度报告摘要
一 重要提示
1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所网站等中国证监会指定媒体上仔细阅读年度报告全文。
2 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
3 公司全体董事出席董事会会议。
4 众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
5 经董事会审议的报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
以股权登记日的总股本为基数，公司拟向股权登记日登记在册的全部股东每10股派发现金红利1.6383元（含税），预计共派发现金红利52,118,987.90元（含税），占合并报表本年实现归属于上市公司股东净利润的20.00%。
二 公司基本情况
1 公司简介
■
■
2 报告期公司主要业务简介
（一）公司从事的主要业务
公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售; 光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。
1、高纯工艺系统
泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。公司在用户价值上聚焦六个词：“高纯、工艺、节能、环保、自动化、智能化”。公司在湿法工艺往深度走的同时，在减排和工艺数字化领域也投入研发，有具体的产品和服务的部署，该领域的投入兼具经济效益和社会效益。
高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。
在高纯工艺系统业务，公司加大了对于工艺减排、产品服务化的布局。
高纯工艺系统的产品主要包括：气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备及系统、研磨液供应及回收系统、前驱体介质系统、大宗气体、半导体工艺尾气处理设备及系统、物料及水系统，广泛应用于集成电路、显示屏、光电、光伏及生物制药、食品饮料等领域。
■
■
■
2、半导体湿法清洗设备
公司提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。
随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，随着工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性； 清洗设备及工艺也必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。
公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8~12反应腔）均可以提供8~12寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品以及一些特殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。
在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、18腔等）。
公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、自动控制系统、通信系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。
■
■
3、光纤传感器及光电子元器件
公司全资子公司波汇科技主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生产及销售，专注于光纤传感及光电子元器件技术研发并在分布式光纤振动监测、温度监测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜技术以及应用软件开发方面具有核心技术。主要产品有光纤电网综合监测系统、光纤石化油库管道综合监控系统、光纤桥梁结构健康监测系统、光纤轨道交通综合监测系统、光电子元器件（滤光片、激光管帽、磁光开光、标准具）、激光气体传感监测系统。主要应用于电力电网、石油石化、城市地下综合管廊、数据及通信等领域。
（二）经营模式
1、高纯工艺系统
公司通过获取客户需求与业务信息，以竞标为主、议标为辅的方式实现销售。公司以项目为单位为客户进行定制化的设计、生产和安装，以满足不同客户的生产工艺要求。根据不同项目要求分次进行采购为主，同时针对长交期或者产业上游元器件交期波动的情形进行一定量集中采购以实现提前备货。中标以后，由技术中心以项目为单位制定系统的整体设计方案；系统所用的专用设备由制造中心根据技术中心的要求制定设备的生产工艺流程，在公司的生产车间完成；工程中心负责管道、阀门、仪表、配件的客户现场预制，再根据设计方案的要求完成整个系统的安装。
2、半导体湿法清洗设备
公司主要采取自主研发的模式，研发流程主要包括概念与可行性阶段、 Alpha阶段、Beta阶段、量产阶段。在概念与可行性阶段，研发部根据市场情况需求提出新产品的构思，综合比对多种技术方案以确定合适客户需求的研发。在Alpha阶段，公司根据市场需求进行机台设计、组装开发和验证。在Beta阶段，公司将机台送往目标客户以完成生产线的大批量验证。在量产阶段，公司设备技术已经成熟，根据市场需求进行量产。
公司主要根据生产计划、物料清单及相关原材料的库存情况制定相应的采购计划，公司注重供应商的选择，目前已与全球多家供应商建立了长期、稳定的合作关系。
公司采用“以销定产”的生产模式，根据客户的销售订单情况及相关技术规格制定生产计划并组织生产，由公司销售部门直接销售给客户，并完成合同回款、客户信息与结果反馈等工作。
3、光纤传感器及光电子元器件
在电力、石油石化领域，公司主要是通过招投标方式获取最终客户的销售合同，一般的销售流程为：获取客户采购信息，确认参加报价或者竞标，按照客户要求进行报价或者竞标，成功后获取供货资格，最后签订销售合同。
在城市地下综合管廊、轨道交通领域则是通过总承包商向最终用户提供产品解决方案。通过总承包商获取客户合同后采购本公司的定制化产品，从而实现销售。
公司滤光片、激光管帽等光电子元器件业务直接客户为光通信器件厂商。根据客户需求，在完成招投标流程并中标后，公司将样品送至客户处进行质量、规格等相关测试。待测试满足标准后，公司与客户签订销售订单，产品产出后发货至客户处，待客户验收无误后确认收入。
公司建立了合格供应商制度，采购以项目为导向，根据项目进度编制采购计划，对于自制产品常用材料会安排做部分安全库存备货，并结合交期和优先等级进行以销定产的生产排产模式。
（三）行业情况
1、高纯工艺系统
在应用领域上，高纯工艺系统的使用范围越来越广。不纯物控制技术最初应用在半导体行业。随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导体产业，即皆以半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀、CVD成膜等均需使用相当多的高纯度气体和高纯度化学品，从而产生对高纯工艺系统的大量需求。
目前少数本土供应商的产品和服务已经顺利进入全球一线客户，竞争地位不断增强，正逐步实现进口替代，包括系统的替代、设备的替代、乃至元器件层的替代。行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，行业内呈现出高等级高纯工艺市场集中度较高、低等级市场较为分散的竞争格局，本土主流供应商的竞争地位将不断增强。
目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行业的领先者。
2、半导体湿法清洗设备
随着半导体芯片工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。
目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。目前至纯科技是国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。
目前公司湿法设备已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等等，均为所在下游行业的领先者。其中公司单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白。截止到2020年12月31日，湿法设备累计申请专利122项（其中发明专利74项），已授权实用新型专利23项。公司12寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中国大陆以外高端清洗设备市场；公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发，在国内（启东）湿法设备制造基地制造，并有序展开扶持供应链的本地化。伴随自主研发的多个型号单片式清洗设备获得商用推进，公司的投资价值和潜力进一步凸显，业务潜力有望进一步释放。
3、光纤传感器及光电子元器件
近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能电网、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成为拉动全球光传感器市场增长的主要力量。光纤传感器为光传感领域下属细分子行业，以光纤传感技术为核心技术。光纤传感技术是一种以光纤中的导波原理为理论基础的新型传感技术，以光纤为媒介感知和探测外界被测信号。我国信息技术的迅猛发展以及物联网产业的兴起带动了光纤传感器行业的快速发展。目前，光纤传感器的用途已非常广泛，电力电网、输油管道、城市地下综合管廊、轨道交通、隧道、大楼整体建筑等领域都可以通过铺设光纤与互联网连接起来，将监测信息传给任意设定的终端进行远程监测与控制，使各类大型基础设施的安全状况可以获得连续不间断的监控，并提供预警信息，从而构成一个大规模、高度可靠和低能耗的光联网基础感知神经网络，融入物联网技术发展的需求当中去，推动物联网产业的发展。
光通信器件按照其物理形态的不同，可分为芯片、光有源器件、光无源器件、光模块与子系统四大类。在光通信器件中，光模块为光电转换的核心设备，光模块由特定光器件封装而成。根据咨询机构Ofweek的数据，光器件为光模块重要构成部分，占光模块成本约为73%。公司主要产品滤光片、激光管帽等为光器件重要构成部分，占光器件成本约10%。
光电子元器件行业为光通信领域上游行业。光电子元器件是利用电-光子转换效应制成的各种功能器件，是光电子技术的关键和核心部件，其技术发展对光电子产业乃至整个电子信息产业有着重大影响，代表着现代光电技术与微电子技术的前沿研究领域。从光电子元器件的应用来看，主要应用领域如下：①光通信领域的光通信器件（芯片、光模块、光器件等）、光纤光缆等光通信器件；②显示领域的液晶显示面板、OLED显示面板等光显示器件；③照明领域的LED照明芯片、LED照明模块、OLED照明面板等光照明器件；④传感领域的图像传感器、光纤传感器、红外传感器、环境光传感器、激光传感器等光传感器件。
3 公司主要会计数据和财务指标
3.1 近3年的主要会计数据和财务指标
单位：元 币种：人民币
■
3.2 报告期分季度的主要会计数据
单位：元 币种：人民币
■
季度数据与已披露定期报告数据差异说明
□适用 √不适用
4 股本及股东情况
4.1 普通股股东和表决权恢复的优先股股东数量及前10 名股东持股情况表
单位: 股
■
■
■
4.2 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
■
4.3 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
■
4.4 报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况
□适用 √不适用
5 公司债券情况
□适用 √不适用
三 经营情况讨论与分析
1 报告期内主要经营情况
报告期内，公司半导体板块业务持续发力，光传感光电子业务板块发展良好，公司整体实现营业收入13.97亿元、总资产59.57亿元、归属于母公司所有者净利润2.61亿元、每股收益1.013元；较上年同期分别增加41.63%、82.88%、136.36%、122.64%。
2 导致暂停上市的原因
□适用 √不适用
3 面临终止上市的情况和原因
□适用 √不适用
4 公司对会计政策、会计估计变更原因及影响的分析说明
□适用 √不适用
5 公司对重大会计差错更正原因及影响的分析说明
□适用 √不适用
6 与上年度财务报告相比，对财务报表合并范围发生变化的，公司应当作出具体说明。
√适用 □不适用
公司合并财务报表的合并范围以控制为基础确定，所有子公司均纳入合并财务报表。本期纳入合并范围的公司为本公司和20家子公司和21家孙公司，比上年合并范围新增5家子公司和2家孙公司，具体见本附注“九、在其他主体中的权益”。
证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2021-057
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
第四届董事会第三次会议决议公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。
一、董事会会议召开情况
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会已于2021年4月16日向全体董事发出了第四届董事会第三次会议通知，第四届董事会第三次会议于2020年4月29日上午在公司五楼会议室现场召开，会议由董事长、总经理蒋渊女士主持。会议应参加表决董事5名，实际参加表决董事5名。公司监事和其他相关人员列席会议。会议的召开符合《公司法》、《公司章程》的规定，所作决议合法有效。
二、董事会会议审议情况
1、审议通过《2020年度总经理工作报告》
表决结果：同意4票，反对0票，弃权0票，关联董事蒋渊回避表决。
2、审议通过《2020年年度报告》及其摘要
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年年度报告》及其摘要。
3、审议通过《2021年第一季度报告》及其摘要
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2021年第一季度报告》及其摘要。
4、审议通过《2020年度董事会工作报告》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度董事会工作报告》。
5、审议通过《2020年度独立董事述职报告》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度独立董事述职报告》。
6、审议通过《2020年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。
7、审议通过《2020年度财务决算报告》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
8、审议通过《关于公司2021年度日常关联交易预计的议案》
表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票，关联董事蒋渊、赵浩回避表决。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于公司2021年度日常关联交易预计的公告》。
9、审议通过《关于公司2021年度新增授信及担保额度预计的议案》
表决结果：同意4票，反对0票，弃权0票，关联董事赵浩回避表决。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于公司2021年度新增授信及担保额度预计的公告》。
10、审议通过《关于公司2021年度金融衍生品交易计划的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于公司2021年度金融衍生品交易计划的公告》。
11、审议通过《2020年度利润分配预案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2020年度利润分配预案的公告》。
12、审议通过《2020年度内部控制评价报告》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度内部控制评价报告》。
13、审议通过《关于续聘公司2021年度审计机构的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于续聘公司2021年度审计机构的公告》。
14、审议通过《2020年度董事会审计委员会履职情况报告》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度董事会审计委员会履职情况报告》。
15、审议通过《2020年度企业社会责任报告》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2020年度企业社会责任报告》。
16、审议通过《关于计提信用及资产减值准备的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于计提信用及资产减值准备的公告》。
17、审议通过《关于调整第二期首次授予的股票期权行权价格的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于调整第二期首次授予的股票期权行权价格的公告》。
18、审议通过《关于第二期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第二期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的公告》。
19、审议通过《关于回购注销第一、二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于回购注销第一、二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的公告》。
20、审议通过《关于修订〈公司章程〉的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
根据《中华人民共和国证券法》的最新修订并结合公司实际，拟对《公司章程》的部分条款进行修订。具体修订条款如下：
■
本议案尚需提交公司股东大会审议。
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《上海至纯洁净系统科技股份有限公司章程》。
21、审议通过《关于修订〈信息披露管理制度〉的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
根据《中华人民共和国证券法》、《上市公司信息披露管理办法》的最新修订并结合公司实际，拟对《信息披露管理制度》的部分条款进行修订。具体修订条款如下：
■
详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《上海至纯洁净系统科技股份有限公司信息披露管理制度》。
22、审议通过《关于修订〈内幕信息知情人登记管理制度〉的议案》
表决结果：同意5票，反对0票，弃权0票。
(下转852版)
一、 重要提示
1.1 公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
1.2 公司全体董事出席董事会审议季度报告。
1.3 公司负责人蒋渊、主管会计工作负责人陆磊及会计机构负责人（会计主管人员）陆磊保证季度报告中财务报表的真实、准确、完整。
1.4 本公司第一季度报告未经审计。
二、 公司主要财务数据和股东变化
2.1 主要财务数据
单位：元 币种：人民币
■
非经常性损益项目和金额
√适用 □不适用
单位：元 币种：人民币
■
2.2 截止报告期末的股东总数、前十名股东、前十名流通股东（或无限售条件股东）持股情况表
单位：股
■
■
■
■
■
2.3 截止报告期末的优先股股东总数、前十名优先股股东、前十名优先股无限售条件股东持股情况表
□适用 √不适用
三、 重要事项
3.1 公司主要会计报表项目、财务指标重大变动的情况及原因
√适用 □不适用
■
3.2 重要事项进展情况及其影响和解决方案的分析说明
□适用 √不适用
3.3 报告期内超期未履行完毕的承诺事项
□适用 √不适用
3.4 预测年初至下一报告期期末的累计净利润可能为亏损或者与上年同期相比发生重大变动的警示及原因说明
□适用 √不适用
公司名称 上海至纯洁净系统科技股份有限公司
法定代表人 蒋渊
日期 2021年4月29日
2021年第一季度报告
公司代码：603690 公司简称：至纯科技
