中微半导体设备（上海）股份有限公司
关于公司首次公开发行股票募投项目结项
并将节余募集资金永久补充流动资金的公告
（上接245版）
证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2022-020
中微半导体设备（上海）股份有限公司
关于公司首次公开发行股票募投项目结项
并将节余募集资金永久补充流动资金的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）于2022年3月30日召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第四次会议,审议通过了《关于公司首次公开发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意将首次公开发行股票募投项目结项，并将项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金用于日常生产经营活动。独立董事对本次事项发表了明确同意的独立意见，保荐机构海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”）对本次事项出具了明确的核查意见。本次事项无需提交股东大会审议。具体情况公告如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到账情况
根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“本公司”)获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币1,551,635,358.24元，扣除承销及保荐费用共计人民币87,828,416.48元(不含增值税)后，实际收到募集资金计人民币1,463,806,941.76元(以下简称“募集资金”)，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计18,104,149.00元(不含增值税)后，实际募集资金净额为人民币1,445,702,792.76元，上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)予以验证并出具了普华永道中天验字(2019)第0411号验资报告。
（二）募集资金投资项目情况
根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，本次公开发行股票所募集的资金在扣除发行费用后具体投资项目如下：
单位：万元
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二、本次结项的募投项目募集资金使用及节余情况
公司本次结项的募集资金投资项目为“高端半导体设备扩产升级项目”和“技术研发中心建设升级项目”。截至2021年12月31日，本次结项募集资金投资项目具体使用及节余情况如下：
单位：万元
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除未使用资金16.52万元外，募集资金在项目投资期间进行现金管理。截至2021年12月31日，公司募集资金专户余额为人民币43,845,669.50元(含募集资金利息收入扣减手续费净额)。
三、募集资金节余的主要原因
本次募集资金节余的主要原因如下：
1、募投项目建设实施期间，经公司研究和分析，充分利用现有厂房及设备、优化施工工艺，有效实现资源的合理配置；
2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，在保证项目质量的前提下，坚持合理、节约、有效、谨慎的原则，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出；
3、因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，公司对短期内出现的部分闲置募集资金进行了现金管理，有效提高了募资金的使用效率，增加了公司收益。
四、节余募集资金使用计划
自首次公开发行股票并上市以来，公司保持高水平研发投入，业务规模保持快速发展。公司本次“技术研发中心建设升级项目”已投资完成，各研发课题顺利进行，设备已达到可使用状态，目前公司正积极拓展相关客户。“高端半导体设备扩产升级项目”建设完成后，洁净室厂房面积得到进一步扩展，公司的生产能力和规模进一步提升，缓解了公司的产能压力。结合公司实际经营情况，为提高资金使用效率，公司拟将该项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金（实际金额以资金转出当日计算的该项目募集资金剩余金额为准），用于日常生产经营活动。待节余募集资金转出后，公司在招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海浦东分行开立的募集资金专户注销，公司在中国建设银行股份有限公司上海浦东分行的募集资金专户由于同时存放超募资金，暂不注销。相关募集资金专户注销后，公司与保荐机构、开户银行签署的《募集资金专户存储三方监管协议》随之终止。
五、专项意见
1、独立董事意见
公司本次将首次公开发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久性补充公司流动资金，用于公司日常经营活动，有利于进一步充盈公司现金流，提高资金使用效率，降低财务成本，符合公司及全体股东的利益；该事项的内容和决策程序符合《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关法律法规及公司《募集资金管理制度》的规定，不存在变相改变募集资金投向及损害公司和股东利益的情形。我们同意公司首次公开发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金。
2、监事会意见
结合公司实际经营情况，为提高资金使用效率，公司监事会同意将首次公开发行股票募投项目结项，并将项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金用于日常生产经营活动。
3、保荐机构核查意见
公司首次公开发行股票募投项目“高端半导体设备扩产升级项目”和“技术研发中心建设升级项目”结项并将节余募集资金永久补充流动资金事项，已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，履行了必要的审批程序。符合《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关法律法规及公司《募集资金管理制度》的规定，符合全体股东的利益。
综上，保荐机构对公司首次公开发行股票募投项目“高端半导体设备扩产升级项目”和“技术研发中心建设升级项目”结项并将节余募集资金永久补充流动资金事项无异议。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年3月31日
证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2022-021
中微半导体设备（上海）股份有限公司
关于续聘 2022年度会计师事务所的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示：
● 拟聘任的会计师事务所名称：普华永道中天会计师事务所（特殊普通合 伙）
一、拟聘任会计师事务所的基本情况
（一）机构信息
1、基本信息
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“普华永道中天”）前身为1993年3月28日成立的普华大华会计师事务所，经批准于2000年6月更名为普华永道中天会计师事务所有限公司；经2012年12月24日财政部财会函[2012]52号批准，于2013年1月18日转制为普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）。注册地址为中国（上海）自由贸易试验区陆家嘴环路1318号星展银行大厦507单元01室。
普华永道中天是普华永道国际网络成员机构，拥有会计师事务所执业证书，也具备从事H股企业审计业务的资质，同时也是原经财政部和证监会批准的具有证券期货相关业务资格的会计师事务所。此外，普华永道中天也在US PCAOB（美国公众公司会计监督委员会）及UK FRC（英国财务汇报局）注册从事相关审计业务。普华永道中天在证券业务方面具有丰富的执业经验和良好的专业服务能力。
普华永道中天的首席合伙人为李丹。截至2021年12月31日，普华永道中天合伙人数为257人，注册会计师人数为1401人，其中自2013年起签署过证券服务业务审计报告的注册会计师人数为346人。
普华永道中天经审计最近一个会计年度（2020年度）业务收入总额为人民币61.15亿元，审计业务收入为人民币56.92亿元，证券业务收入为人民币28.61亿元。
普华永道中天的2020年度A股上市公司财务报表审计客户数量为103家，上市公司财务报表审计收费为人民币5.84亿元，主要行业包括制造业，金融业，交通运输、仓储和邮政业，房地产业及批发和零售业等，与本公司同行业(制造业)的A股上市公司审计客户共5家。
2、投资者保护能力
在投资者保护能力方面，普华永道中天已按照有关法律法规要求投保职业保险，职业保险累计赔偿限额和职业风险基金之和超过人民币2亿元，职业风险基金计提或职业保险购买符合相关规定。普华永道中天近3年无因执业行为在相关民事诉讼中承担民事责任的情况。
3、诚信记录
普华永道中天及其从业人员近三年未因执业行为受到刑事处罚、行政处罚以及证券交易所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分；普华永道中天也未因执业行为受到证监会及其派出机构的行政监管措施。普华永道中天四名初级员工因其个人投资行为违反独立性相关规定，于2019年收到上海证监局对其个人出具的警示函，上述个人行为不影响普华永道中天质量控制体系的有效性或涉及审计项目的执业质量，该四名人员随后均已从普华永道中天离职。根据相关法律法规的规定，上述行政监管措施不影响普华永道中天继续承接或执行证券服务业务和其他业务。
（二）项目成员信息
1、项目成员信息
项目合伙人及签字注册会计师：林晓帆，注册会计师协会执业会员，2005年起成为注册会计师，2002年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，2002年起开始在本所执业，近3年已签署或复核4家上市公司审计报告。
质量复核合伙人：傅文轩，注册会计师协会执业会员，2004年起成为注册会计师，1999年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，1999年起开始在本所执业，近3年已签署或复核6家上市公司审计报告。
签字注册会计师：胡玉琢，注册会计师协会执业会员，2014年起成为注册会计师，2011年起开始从事上市公司审计，2021年起开始为本公司提供审计服务，2011年起开始在本所执业，近3年已签署或复核2家上市公司审计报告。
2、项目成员的独立性和诚信记录情况
就拟聘任普华永道中天为中微公司的2022年度审计机构，项目合伙人及签字注册会计师林晓帆先生、质量复核合伙人傅文轩先生及签字注册会计师胡玉琢先生最近3年未受到任何刑事处罚及行政处罚，未因执业行为受到证券监督管理机构的行政监督管理措施，未因执业行为受到证券交易所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分。
（三）审计收费
2021年度审计费用为人民币320万元。本期审计费用按照市场公允合理的定价原则与会计师事务所协商确定。
二、拟续聘会计事务所履行的程序
（一）审计委员会的履职情况
公司董事会审计委员会在认真审阅了《关于续聘公司2022年度审计机构的议案》后，同意续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构，并同意授权公司管理层按照市场情况，综合考虑参与审计工作的项目组成员的经验、级别、投入时间和工作质量综合确定2022年度审计费用。
（二）独立董事的事前认可情况和独立意见
1、独立董事事前认可意见
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）具有从事证券、期货相关业务执业资格和为上市公司提供审计服务的经验和能力。在2021年的审计工作中，审计团队严谨敬业，计划安排详细，派驻的审计人员具有良好的职业操守，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果，同意继续聘任普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构，同意将该议案提交公司第二届董事会第五次会议审议。
2、独立董事独立意见：
普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）具有从事证券、期货相关业务执业资格和为公司提供审计服务的经验和能力。在2021年的审计工作中，审计团队严谨敬业，计划安排详细，派驻的审计人员具有良好的职业操守，审计工作经验丰富，熟悉公司的经营发展情况，其为公司出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果，我们同意继续聘任普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构，同意将该议案提交公司股东大会审议。
（三）董事会及监事会的审议和表决情况
公司于2022年3月30日召开第二届董事会第五次会议及第二届监事会第四次会议，审议通过《关于续聘公司2022年度审计机构的议案》，同意续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构，并提请股东大会授权公司管理层按市场价格洽谈确定审计报酬。
（四）生效日期
本次续聘会计师事务所事项尚需提交公司股东大会审议，并自公司股东大会审议通过之日起生效。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年3月31日
证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2022-018
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2021年度募集资金存放与实际使用情况
专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
根据中国证监会《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》和《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》等相关规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会编制了2021年度（以下简称“报告期”或“本报告期”）募集资金存放与实际使用情况专项报告如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到账情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币155,163.54万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,782.84万元后，实际收到募集资金计人民币146,380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计1,810.41万元后，实际募集资金净额为人民币144,570.28万元（以下简称“首发募集资金”），上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第0411号验资报告。
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》核准了公司向特定对象发行80,229,335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，公司完成了人民币普通股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。
（二）募集资金使用及结余情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
截至2021年12月31日，公司首发募集资金专户余额为人民币4,384.57万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
■
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2021年12月31日，公司再融资募集资金专户余额为人民币167,701.42万元（含募集资金利息收入扣减手续费净额）。具体情况如下：
■
二、募集资金管理情况
中微公司已按照《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《关于进一步加强股份有限公司公开募集资金管理的通知》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》等相关规定的要求制定《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》（以下简称“募集资金管理办法”），对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。该办法已经中微公司2019年度第一次临时股东大会审议通过。
1、2019年首次公开发行股票募集资金
截至2021年12月31日，尚未使用的首发募集资金存放专项账户的余额如下：
■
本公司依照规定对IPO募集资金采取了专户存储管理，开立了IPO募集资金专户，并于2019年7月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海金桥支行、中信银行股份有限公司上海分行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2021年12月31日，尚未使用的再融资募集资金存放专项账户的余额如下：
■
本公司依照规定对再融资募集资金采取了专户存储管理，开立了再融资募集资金专户，并分别于2021年4月与保荐机构海通证券股份有限公司、募集资金专户监管银行招商银行股份有限公司上海分行营业部、中信银行股份有限公司上海浦东分行、上海浦东发展银行股份有限公司张江科技支行及中国建设银行股份有限公司上海浦东分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
三、本报告期募集资金的实际使用情况
1．募集资金投资项目(以下简称“募投项目”)的资金使用情况
本报告期本公司募集资金实际使用情况详见附表1 IPO募集资金使用情况对照表和附表2 再融资募集资金使用情况对照表。
2．募投项目先期投入及置换情况
（1）2019年首次公开发行股票募集资金
本报告期本公司不存在募投项目先期投入和置换情况。
（2）2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
2021年8月24日，公司第一届董事会第二十二次会议和第一届监事会第十六次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用本次发行募集资金置换预先投入的自筹资金合计人民币33,326.67 万元，其中预先投入到募投项目的自筹资金为33,105.98万元，预先支付发行费用的自筹资金为 220.69 万元。上述置换符合监管要求。
3．闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过通知存款、结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过 12 个月。
（1）2019年首次公开发行股票募集资金
2020年6月30日，公司第一届董事会第十三次会议及第一届监事会第九次会议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意在不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，拟使用额度不超过1,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限为自该次董事会审议通过之日起不超过 12 个月，在决议有效期内本公司可在不超过上述额度及决议有效期内循环滚动使用。
截至2021年12月31日，本公司使用闲置IPO募集资金进行现金管理的情况如下：
■
（2）2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
2021年7月9日，公司第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次会议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过8, 000,000,000 元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自该次董事会审议通过起12个月内，在决议有效期内本公司可在不超过上述额度及决议有效期内循环滚动使用。
截至2021年12月31日，公司使用闲置再融资募集资金进行现金管理的情况如下：
■
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
截至2021年12月31日，公司不存在变更募集资金投资项目的情况。
五、募集资金投资项目已对外转让或置换情况
截至2021年12月31日，公司不存在募集资金投资项目对外转让或置换情况。
六、募集资金使用及披露中存在的问题
公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。
七、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见
经鉴证，普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）认为：上述募集资金存放与实际使用情况专项报告在所有重大方面按照中国证券监督管理委员会公告[2022]15号《上市公司监管指引第2号-上市公司募集资金管理和使用的监管要求(2022年修订)》、上海证券交易所颁布的《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号一规范运作》及《上海证券交易所上市公司自律监管指南第1号 公告格式一第十六号 上市公司募集资金存放与实际使用情况的专项报告》编制，并在所有重大方面如实反映了中微公司2021年度募集资金存放与实际使用情况。
八、保荐机构对公司年度募集资金存放与使用情况所出具专项核查报告的结论性意见
经核查，保荐机构认为：公司2021年度募集资金的存放与使用符合《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》以及《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》等法律法规和规范性文件的规定；公司2021年度对募集资金进行了专户存储和专项使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形。公司本年度募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
综上，保荐机构对中微公司2021年度募集资金存放与使用情况无异议。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年3月31日
附件1：首发募集资金使用情况对照表：
金额单位：人民币万元
■
附件2：再融资募集资金使用情况对照表：
金额单位：人民币万元
■
证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2022-022
中微半导体设备（上海）股份有限公司
关于召开2021年年度股东大会的通知
本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示：
● 股东大会召开日期：2022年4月27日
● 本次股东大会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统
一、召开会议的基本情况
（一）股东大会类型和届次
2021年年度股东大会
（二）股东大会召集人：董事会
（三）投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式
（四）现场会议召开的日期、时间和地点
召开日期时间：2022年4月27日 14 点 30分
召开地点：上海市浦东新区泰华路188号中微公司二号楼三楼2303会议室
（五）网络投票的系统、起止日期和投票时间。
网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统
网络投票起止时间：自2022年4月27日
至2022年4月27日
采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。
（六）融资融券、转融通、约定购回业务账户和沪股通投资者的投票程序
涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一规范运作》等有关规定执行。
（七）涉及公开征集股东投票权
无
二、会议审议事项
本次股东大会审议议案及投票股东类型
■
股东大会将听取独立董事2021年年度述职报告。
1、说明各议案已披露的时间和披露媒体
本次提交股东大会审议的议案已经公司第二届董事会第五次会议、第二届监事会第四次会议审议通过。相关公告已于2022年3月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及《中国证券报》、《上海证券报》、《证券时报》、《证券日报》予以披露。公司将在2021年年度股东大会召开前，在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)登载《2021年年度股东大会会议资料》。
2、特别决议议案：无
3、对中小投资者单独计票的议案：3、4、7、9、10
4、涉及关联股东回避表决的议案：4、7、9
应回避表决的关联股东名称：议案4：4.05 GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）；4.06 ZHI YOU DU（杜志游）；4.07 GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）。议案7：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）、ZHI YOU DU（杜志游）。议案9：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）、ZHI YOU DU（杜志游）。
5、涉及优先股股东参与表决的议案：无
三、股东大会投票注意事项
（一）本公司股东通过上海证券交易所股东大会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：vote.sseinfo.com）进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。
（二）同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。
（三）股东对所有议案均表决完毕才能提交。
四、会议出席对象
（一）股权登记日下午收市时在中国登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东大会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。
■
（二）公司董事、监事和高级管理人员。
（三）公司聘请的律师。
（四）其他人员
五、会议登记方法
（一）登记手续：
1、法人股东：应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。法定代表人出席会议的，应出示法人股东股票账户卡、本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场。
2、个人股东：个人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明、股票账户卡；委托代理他人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。
（二）登记时间：2022年4月22日（上午9:30－11:30 下午1:30－4:00）。
（三）登记地点：上海市金桥出口加工区南区泰华路188号董事会办公室
（四）登记方式：可采用电话登记、现场登记、信函或传真方式登记
（五）注意事项：股东请在参加现场会议时携带上述证件。
六、其他事项
（一）会议联系方式
联系人：胡潇
电话： +86-21-6100 1199
传真： +86-21-6100 2205
地址：上海市金桥出口加工区南区泰华路188号董事会办公室
（二）会议费用情况：本次股东大会会期半天，与会股东所有费用自理
（三）出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2022年3月31日
附件1：授权委托书
附件1：授权委托书
授权委托书
中微半导体设备（上海）股份有限公司：
兹委托 先生（女士）代表本单位（或本人）出席2022年4月27日召开的贵公司2021年年度股东大会，并代为行使表决权。
委托人持普通股数：
委托人持优先股数：
委托人股东帐户号：
■
委托人签名（盖章）： 受托人签名：
委托人身份证号： 受托人身份证号：
委托日期： 年 月 日
备注：
委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。
