合肥芯碁微电子装备股份有限公司

（上接493版）

3.2报告期分季度的主要会计数据

单位：元 币种：人民币

■

季度数据与已披露定期报告数据差异说明

□适用 √不适用

4股东情况

4.1普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况

单位: 股

■

存托凭证持有人情况

□适用 √不适用

截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

√适用 □不适用

单位:股

■

4.2公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图

√适用 □不适用

■

4.3公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图

√适用 □不适用

■

4.4报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况

□适用 √不适用

5公司债券情况

□适用 √不适用

第三节 重要事项

1公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。

报告期内，公司实现营业收入49,224.51万元，同比增长58.74%；实现归属于上市公司股东净利润10,615.73万元，同比增长49.44%。公司主要业务增长来自于PCB及泛半导体领域业务增长，其中PCB业务同比增长47.61%；泛半导体业务增长迅速，同比增长393.49%。报告期内经营活动产生的现金流量净额3,021.87万元，同比上升150.61%，主要系营业收入规模增加，回款力度加大所致。

2公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。

□适用 √不适用

证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022一015

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

第一届监事会第十二次会议决议的公告

本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

一、监事会会议召开情况

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）第一届监事会第十二次会议于2022年4月17日以电子邮件方式发出通知，2022年4月27日在公司会议室召开。本次会议由监事会主席魏美芹召集并主持，会议应出席监事3名，实际出席监事3名。本次会议召开符合《公司法》等法律、法规及《公司章程》的有关规定。

二、监事会审议情况

（一）审议通过《关于公司2021年年度报告及摘要的议案》

根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2021年年度报告》及其摘要，对公司经营情况、财务状况等方面进行了分析总结。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年年度报告》及其摘要。

（二）审议通过《关于公司2022年一季度财务报告的议案》

根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年第一季度报告》，展现了公司2022年第一季度经营情况。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2022年第一季度报告》。

（三）审议通过《关于公司2021年度财务决算报告的议案》

鉴于公司2021年度财务报表已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，出具了标准无保留意见的审计报告。公司财务部根据2021年度的财务运行情况编制了2021年度财务决算报告。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

（四）审议通过《关于公司2021年度利润分配预案的议案》

在综合考虑了公司的行业特点、发展阶段、盈利水平等因素后，拟向全体股东每10股派发现金红利2.00元（含税）。截至2021年12月31日，公司总股本120,800,000股，以此计算合计拟派发现金红利2416万元（含税），本年度公司现金分红占公司2021年度归属于母公司净利润比例为22.76%。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年利润分配预案的公告》。

（五）审议通过《关于公司2021年度监事会工作报告的议案》

公司监事会按照《公司章程》的相关规定，根据公司监事会2021年度工作情况制订了年度工作报告。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

（六）审议通过《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构的议案》

公司聘请的2021年度审计机构为容诚会计师事务所（特殊普通合伙）。该审计机构在2021年度对公司的审计工作中，客观、公正、严谨、认真地履行了职责。拟继续聘请容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司2022年度审计机构。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于续聘会计师事务所的公告》。

（七）审议通过《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》

为提高募集资金和自有资金使用效率，公司计划使用不超过人民币30000万元（包含本数）暂时闲置募集资金和不超过10000万元（含本数）的暂时自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告》。

（八）审议通过《关于公司 2021年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》

公司2021年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告符合法律法规、《上海证券交易所科创板股票上市规则》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》等相关规定，该报告真实、客观的反映了公司2021年度募集资金的存放和实际使用情况。报告期内，公司募集资金实际投入项目与承诺投入项目一致，不存在违规使用募集资金的行为，亦不存在改变或者变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。

（九）审议通过《关于2022年度向金融机构申请综合授信额度的议案》

为满足公司生产经营需求，同意公司向金融机构申请不超过人民币 70000 万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2022年度向金融机构申请综合授信额度的公告》。

（十）审议通过《关于公司2022年度董事、监事、高级管理人员薪酬方案的议案》

根据《公司法》《证券法》《公司章程》等有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件的规定，综合考虑公司的实际情况及行业、地区的薪酬水平和职务贡献等因素，经薪酬与考核委员会确认，拟制定 2022 年度公司董事、监事、高级管理人员薪酬方案。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

（十一）审议通过《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》

鉴于公司募集资金投资项目“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”，整体已达到预定可使用状态，申请将该项目予以结项。同时，为满足公司发展需要，提高募集资金使用效率，结合公司当前实际经营情况，公司拟将募投项目结项后的节余募集资金永久性补充流动资金，用于公司日常经营及业务发展。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

该议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的公告》。

（十二）审议通过《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》

公司本次对2022年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）首次授予部分激励对象名单的调整符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要的相关规定，不存在损害公司股东利益的情形。调整后的首次授予部分激励对象均符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要等相关文件所规定的激励对象条件，其作为本次激励计划首次授予部分的激励对象合法、有效。调整后，首次授予部分限制性股票的激励对象人数由212调整为206人，首次授予部分限制性股票授予数量保持不变。

除上述调整内容外，本次实施的限制性股票激励计划其他内容与公司2022年第一次临时股东大会审议通过的《2022年限制性股票激励计划（草案）》的内容一致。根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，本次调整无需提交股东大会审议。

表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的公告》。

（十三）审议通过《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》

1、对公司2022年限制性股票激励计划的首次授予条件是否成就进行核查后，监事会认为：

公司不存在《上市公司股权激励管理办法》等法律、法规和规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施股权激励计划的主体资格。

本次激励计划首次授予部分的激励对象具备《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》等法律、法规和规范性文件规定的任职资格，符合《上市公司股权激励管理办法》及《上海证券交易所科创板股票上市规则》规定的激励对象条件，符合公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要规定的激励对象范围，其作为公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象的主体资格合法、有效。

2、对本激励计划的首次授予日进行核查后，监事会认为：

公司确定本次激励计划的首次授予日符合《上市公司股权激励管理办法》以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要中有关授予日的相关规定。

因此，监事会同意以2022年4月27日为首次授予日，向符合条件的206名首次授予部分激励对象授予87.20万股限制性股票。

表决结果：同意3票，弃权0票，反对0票。

具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于向激励对象首次授予限制性股票的公告》。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会

2022年4月28日

证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022-016

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2021年度利润分配预案的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 每股分配比例：每10股派发人民币2.00元现金股利（含税）。

● 本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，具体日期将在权益分派实施公告中明确。

● 在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动的，拟维持每股分配比例不变，相应调整利润分配总额，并将另行公告具体调整情况。

● 本年度现金分红比例低于30%的原因为：公司处于快速发展阶段，需要投入大量资金用于技术研发以及市场开拓。

一、利润分配方案内容

经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计确认，截至2021年12月31日，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）期末可供分配利润为：193,273,964.40元。经董事会决议，公司2021年年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数分配利润，具体分配方案如下：

公司拟向全体股东每10股派发现金红利2.00元（含税）。截至2021年12月31日，公司总股本120,800,000股，以此计算合计拟派发现金红利24,160,000元（含税），占2021年度归属于母公司股东净利润的22.76%；不送红股、不以资本公积转增股本。

如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因可转债转股/回购股份/股权激励授予股份回购注销/重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持每股分配比例不变，相应调整利润分配总额。如后续总股本发生变化，将另行公告具体调整情况。

本次利润分配方案尚需提交2021年年度股东大会审议。

二、关于2021年度利润分配预案的情况说明

报告期内，公司盈利106,157,288.87元，母公司累计未分配利润为193,452,772.69元，上市公司拟分配的现金红利总额为24,160,000元，占本年度归属于上市公司股东的净利润比例低于30%。具体原因如下：

（一）公司所处行业情况及特点

公司产品主要应用在PCB行业、泛半导体行业的制造环节，设备的市场需求同下游PCB、泛半导体产业的繁荣程度紧密相关。公司所处行业是一个全球化程度较高的行业，其发展呈现一定的周期性。当宏观经济和终端消费市场需求变化较大时，下游厂商会调整其资本性支出和对设备的采购计划，从而对公司的营业收入和盈利产生影响。

在全球贸易争端不断、世界经济增长放缓、疫情影响尚未结束、国内经济下行压力加大的背景下，PCB、泛半导体产业及其设备行业呈现震荡发展态势，公司需留存一定资金应对复杂的环境变化。

（二）公司发展阶段和自身经营模式

公司主要通过向下游PCB、泛半导体领域的客户销售PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统，并提供相应的周期性设备维保服务实现营业收入及利润。

目前公司处于快速发展阶段，需要投入大量资金用于技术研发以及市场开拓等。

（三）公司盈利水平及资金需求

2021年度公司实现归属于上市公司股东的净利润为106,157,288.87元，母公司实现的净利润为106,294,722.58元，公司盈利能力不断增强，整体财务状况向好。

公司始终秉承“成为国产光刻机世界品牌”的奋斗目标，在“依托自有核心技术，加大研发力度，开拓新型应用领域”及“整合行业资源，打造高端装备产业供应链”的战略发展方向下，公司不断对现有产品进行改进和升级，满足客户对高性能直接成像设备及直写光刻设备的需求，积极融入全球化的竞争格局。在此过程中，公司将继续吸引国内及国际一流技术人才，持续投入研发力量。同时，为适应经营规模的快速发展，公司将进一步提升质量管控和内部管理水平，不断做大做强，为全体股东创造较好的投资回报。在此过程中，公司需要更多的资金以保障上述目标的实现。

（四）公司现金分红水平较低的原因

目前公司正处于快速发展的重要阶段，经营规模不断扩大，需要大量资金的支持。

（五）公司留存未分配利润的确切用途以及预计收益情况

公司2021年度剩余未分配利润将累积滚存至下一年度，以满足公司生产经营和项目研发带来的营运资金的需求。公司将继续严格按照相关法律法规和《公司章程》等规定，综合考虑与利润分配相关的各种因素，从有利于公司发展和投资者回报的角度出发，积极履行公司的利润分配政策，与广大投资者共享公司发展的成果。

三、公司履行的决策程序

（一）董事会会议的召开、审议和表决情况

公司于2022年4月27日召开了第一届董事会第十七次会议，审议通过了《关于公司2021年度利润分配预案的议案》，同意公司拟定的利润分配方案并将该议案提交2021年年度股东大会审议。

（二）独立董事意见

独立董事认为：公司董事会拟定的2021年度利润分配预案符合公司实际情况，兼顾了公司与全体股东的利益，不存在损害投资者利益的情况，符合相关法律法规及《公司章程》的规定，有利于公司持续、稳定、健康发展。同意该议案并将该议案提交2021年年度股东大会审议。

（三）监事会意见

公司于2022年4月27日召开第一届监事会第十二次会议审议通过了《关于公司2021年度利润分配预案的议案》，该议案与公司发展规划相符，有利于公司的正常经营和健康发展，具备合法性、合规性、合理性，符合公司及全体股东的利益。同意该议案并将该议案提交2021年年度股东大会审议。

四、相关风险提示

（一）本次利润分配方案结合了公司发展阶段、未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。

（二）本次利润分配方案尚需提交公司2021年年度股东大会审议通过后方可实施。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2022年 4月28日

证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022-017

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

关于使用暂时闲置募集资金和

自有资金进行现金管理的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2022年4月27日召开了第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币30,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过10,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。公司监事会、独立董事和保荐机构海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）对上述事项出具了明确的同意意见。现将有关事项公告如下：

一、募集资金基本情况

公司首次公开发行股票并在科创板上市的注册申请于2021年2月1日经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（证监许可〔2021〕350号《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》）。公司向社会公众公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，每股面值1元，发行价格为每股人民币15.23元，本次发行募集资金总额459,983,283.04元；扣除发行费用后，募集资金净额为416,358,195.95元。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次公开发行新股的资金到位情况进行了审验，并于2021年3月30日出具了容诚验字［2021］230Z0034号《验资报告》。

为规范公司募集资金管理，保护投资者的权益，根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》要求，公司已经与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

二、募集资金投资项目情况

由于公司首次公开发行实际募集资金净额少于拟投入的募集资金金额，公司召开第一届董事会第十次会议和第一届监事会第六次会议审议通过了《关于调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》。截至2021年12月31日，公司募集资金已使用148,306,821.81元，募集资金投资项目具体情况如下表所示：

单位：万元

■

因募集资金投资有一定的周期性，截至目前，部分募集资金存在暂时闲置的情形。

三、使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的相关情况

（一）投资目的

为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。

（二）投资产品品种

募集资金投资安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

自有资金将投资于安全性高、流动性好、中低风险的投资产品（包括不限于银行、证券公司等金融机构发行的金融产品或结构性存款等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

（三）投资额度及期限

公司计划使用不超过人民币30,000万元（包含本数）的暂时闲置募集资金和不超过10,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月。在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

（四）实施方式

公司授权管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。

（五）信息披露

公司将依据上海证券交易所的相关规定，及时履行信息披露义务；不会变相改变募集资金用途。

（六）现金管理收益的分配

公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用。

四、对公司的影响

本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理是在符合国家法律法规，确保不影响公司募集资金投资项目的进度，有效控制投资风险的前提下进行的，将不会影响公司日常经营和募集资金投资项目的正常开展，亦不会影响公司主营业务的正常发展，不存在损害公司和股东利益的情形。

通过对暂时闲置募集资金和自有资金进行适度、适时的现金管理，可以提高募集资金和自有资金使用效率，增加公司现金资产收益，为公司股东谋取更多的投资回报。

五、风险控制措施

（一）投资风险

本次现金管理方式是购买安全性高、流动性好的金融机构的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证、银行、证券公司等金融机构发行的金融产品或结构性存款等），该类投资产品主要受货币政策等宏观经济政策的影响。公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量地介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。

（二）风险控制措施

1、公司将严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司《募集资金使用管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。

2、严格筛选合作对象，选择信誉好、规模大、经营效益好、资金运作能力强的金融机构所发行的安全性高、流动性好的投资产品，并明确投资产品的金额、期限、投资品种、双方的权利义务及法律责任等。

3、公司财务中心建立台账管理，对资金运用情况建立健全完整的会计账目，做好资金使用的账务核算工作。

4、监事会、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。

六、专项意见说明

（一）监事会意见

监事会认为，为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。同意计划使用不超过人民币30000万元（包含本数）暂时闲置募集资金和不超过10000万元（含本数）的暂时自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

（二）独立董事意见

独立董事认为：公司在确保公司募投项目所需资金和保证募集资金安全的前提下对暂时闲置募集资金适时进行现金管理，有利于提高募集资金使用效率，获得一定的投资收益。本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理履行了必要的审议程序，符合中国证监会、上海证券交易所关于募集资金使用的相关规定，不会影响募集资金投资项目建设和募集资金使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，也不会对公司生产经营造成不利影响。

（三）保荐机构核查意见

经核查，保荐机构认为，公司本次使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，公司已履行了现阶段相应的法律程序；公司通过投资安全性高、流动性好的理财产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号一一规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理事项无异议。

七、上网公告文件

1、《独立董事对公司第一届董事会第十七次会议相关事项的独立意见》

2、《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理的核查意见》

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2022年4月28日

证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022-018

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

关于2022年度向金融机构申请综合

授信额度的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2022年4月27日召开了第一届董事会第十七次会议，审议通过了《关于2022年度向金融机构申请综合授信额度的议案》，同意公司在授权期限内向金融机构申请不超过人民币70,000.00 万元的综合授信额度。具体内容如下：

为促进公司持续发展，满足公司生产经营需求，公司拟向金融机构申请不超过人民币70,000.00 万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。实际融资金额应在授信额度内，并以金融机构与公司实际发生的融资金额为准，实际融资金额将视公司运营资金的实际需求决定。以上综合授信额度的授信期限自股东大会审议通过之日起，至下一年度股东大会召开之日止，在授信期限内，授信额度可循环使用且单笔融资不再上报董事会或股东大会审议。

为确保公司向银行申请授信额度的工作顺利进行，董事会同意提请股东大会授权公司董事长代表公司签署上述授信额度内的一切与授信有关的法律文件（包括但不限于签署授信、借款合同、质押/抵押合同以及其他法律文件），并办理相关手续，由此产生的法律、经济责任全部由本公司承担。

上述事项尚需提交2021年年度股东大会审议。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2022年4月28日

证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022-021

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2021年年度募集资金存放与使用情况的

专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》(证监会公告[2012]44号)及《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法(2013年修订)》(上证公字[2013]13号)的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2021年年度募集资金存放与使用情况的专项报告说明如下：

一、募集资金基本情况

根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，募集资金总额人民币459,983,283.04元，募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021年3月29日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。

截至2021年12月31日，募集资金存放银行产生利息共计人民币6,657,768.40（含活期利息）元，已使用募集资金金额为人民币148,306,821.81元，本年度已使用募集资金金额为人民币148,306,821.81元，现金管理理财结算户余额为人民币255,000,000.00元（含活期余额20,000,000.00元），募集资金存储账户余额为人民币19,710,106.66元。

二、募集资金存放和管理情况

公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。

公司、保荐机构海通证券股份有限公司、上海浦东发展银行股份有限公司合肥高新区支行、中信银行合肥分行营业部、中国建设银行股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农业银行合肥分行营业部签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三方监管协议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。

公司于2021年4月22日召开的公司第一届董事会第十一次会议、2021年5月14日召开的2020年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。公司2021年6月15日召开的公司第一届董事会第十二次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，公司在履行相关审议程序后对募集资金进行现金管理。

截至2021年12月31日，募集资金存放情况如下表所示：

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三、2021年年度募集资金的实际使用情况

（一）募投项目的资金使用情况

报告期内，公司实际使用募集资金148,306,821.81元，具体募集资金使用情况见附表。

募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异的，也不存在无法单独核算效益的情形。

（二）募投项目先期投入及置换情况

2021年6月15日召开的公司第一届董事会第十二次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币58,213,358.72元置换预先投入募投项目的自筹资金。截至2021年6月30日，公司已完成对预先投入募投项目的自筹资金的置换。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

截至2021年12月31日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。

（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况

公司于2021年4月22日召开的公司第一届董事会第十一次会议、2021年5月14日召开的2020年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过人民币30000万元（包含本数）的闲置募集资金在确保不影响募集资金投资计划进度、不影响公司正常生产经营及确保资金安全的情况下进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于保本型理财产品、结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单、协定存款等），期限不超过12个月。

截至2021年12月31日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：

单位：元

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（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

截至2021年12月31日，公司无此种情形。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

截至2021年12月31日，公司无此种情形。

（七）节余募集资金使用情况

截至2021年12月31日，公司无此种情形。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

截至2021年12月31日，无此类情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资金管理的违规情形。

六、会计师事务所对公司2021年年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见

会计师事务所认为，芯碁微装《2021年度募集资金存放与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了芯碁微装2021年度募集资金实际存放与使用情况。

七、保荐机构对公司2021年年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见

经核查，保荐机构认为，公司2021年度募集资金的存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至2021年12月31日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。保荐机构对芯碁微装2021年度募集资金存放与使用情况无异议。

八、公司存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运用的，应在专项报告分别说明

公司不存在两次以上融资且当年存在募集资金运用的情况。

九、上网公告附件

（一）海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2021年度募集资金存放与使用情况的核查意见；

（二）容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对合肥芯碁微电子装备股份有限公司2021年度募集资金存放及使用情况鉴证报告。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2022年4月28日

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证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022-023

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

关于调整2022年限制性股票激励计划

首次授予部分相关事项的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）于2022年4月27日召开的第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》。现将公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“《激励计划（草案）》”或“本次激励计划”）首次授予部分调整的有关事项公告如下：

一、本次股权激励计划已履行的相关决策程序和信息披露情况

（下转495版）