有研硅：中国半导体硅材料领域“破冰者”

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有研硅主营业务收入主要由半导体硅抛光片和刻蚀设备用硅材料两部分组成。其中，刻蚀设备用硅材料的业务占比近年来取得较快发展，由2019年的38.15%提升至2022年上半年的50.23%。2021年，有研硅在刻蚀材料的全球市场份额达到16%。未来，公司将不断实现技术升级、产品迭代，进一步提升市场占有率

◎记者 王子霖

2022年11月10日，科创板半导体板块再添“新丁”，专注半导体硅材料领域的有研硅登陆上交所科创板。

有研硅起源于有研集团半导体硅材料研究室，是国内最早开展硅片产业化的骨干单位。早在2000年即建成国内首条6英寸硅抛光片生产线实现批量供应，并率先实现了8英寸硅片的产业化，成为国内半导体硅材料领域“破冰者”，为下游集成电路工厂的需求提供了有力保障。

此后，公司不断突破半导体硅材料制造领域的重要技术，获得了国内外主流半导体企业客户的认可。2017年，再生晶圆制造企业RS Technologies（下称“RST”）与有研集团结缘。此后，RST通过参与公司混合所有制改革的方式，成为有研硅外资控股股东。

“四年多来，RST和有研集团建立了良好合作关系，管理团队稳定，有研硅实现了快速发展。研发和产业化均取得了骄人的成绩。”RST董事长，上市公司实际控制人方永义表示，RST作为全球最大的再生晶圆制造企业之一，能够与有研硅产生极强的协同效应，相信未来有研硅定会成为世界一流半导体企业。日前，有研硅实控人方永义和总经理张果虎接受了上海证券报记者专访。

8英寸与12英寸科学布局

“过去几年12英寸硅片保持了很高的出货量，市场份额占比最高，但我们注意到在12英寸硅片出货量增长的同时，8英寸硅片出货量也保持了相当的增速。”谈到8英寸硅片与12英寸硅片的“取舍”时，总经理张果虎表示。

“以2021年为例，12英寸和8英寸硅片出货片数分别同比增长12.85%和16.87%，8英寸出货量达到每月近600万片。”张果虎认为，8英寸出货量保持高增速的主要原因是8英寸硅片在特色芯片产品上拥有性价比优势，比如车用IGBT、MEMS、射频及功率器件等领域优势明显，且随着下游新的应用场景不断涌现，8英寸硅片在特色芯片上应用领域将进一步拓宽。

据介绍，基于对下游市场的认知，多年来有研硅坚持技术领先，开发出功率半导体用8英寸重掺抛光片、数字集成电路用8英寸低微缺陷硅抛光片、车规IGBT用8英寸轻掺硅抛光片、超平坦SOI用8英寸硅抛光片、MEMS用8英寸抛光片等产品，积极应对下游8英寸晶圆厂的需求，公司产品特色突出，产能利用率高。募投项目完成之后，规模合理，能够很好满足下游客户需求，有助于进一步提升公司竞争能力。

谈到12英寸硅片的开发计划时，张果虎表示，12英寸硅片项目投资大、技术难度大、市场验证周期长，实现良好的经济回报周期长，公司对12英寸硅片项目面临的诸多挑战有清醒认识。通过参股山东有研艾斯布局12英寸硅片产业，一方面可以用较少的投入加快发展速度、追赶国内外同行，另一方面可以允许12英寸项目用一段时间做好技术开发、产品开发、客户开发，为未来的发展打好产业基础。

“目前12英寸产品的技术水平已可以达到28nm技术节点以下，1万片/月产线已经满负荷运行出货，积极推进多家客户的认证。”张果虎告诉记者，德州产业基地建设正按计划推进，预计明年10月完成10万片/月产线建设并将快速达产，之后会根据市场拓展情况不断进行产能扩充，最终实现30万片/月的产能目标。

硅片与刻蚀材料“双轮驱动”

有研硅主营业务收入主要由半导体硅抛光片和刻蚀设备用硅材料两部分组成，其中，刻蚀设备用硅材料的业务占比近年来取得较快发展，由2019年的38.15%提升至2022年上半年的50.23%。

谈到刻蚀材料是否会成为公司未来的侧重点时，方永义表示，半导体硅抛光片和刻蚀设备用硅材料目前所处的市场地位有所不同，公司未来将在两项业务上统筹规划、共同发展，力争同步实现扩大销售规模、提升市场占有率。

“公司最初仅涉及硅抛光片业务，在发展硅抛光片业务的国际化发展期间，公司陆续接触到国际知名半导体产业链上企业，于2005年发掘了刻蚀设备用硅材料的市场需求及业务机会，由于该等业务的产品、技术、关键生产设备与硅抛光片用单晶技术存在相通和可借用之处。”谈到公司与刻蚀材料的“渊源”时，张果虎表示。

据介绍，公司借用当时的抛光片业务基础及优势切入了刻蚀设备用硅材料的相关业务，于2005年在国内率先开展了集成电路刻蚀设备用硅材料的研发、产业与销售，从此与国外知名设备厂及零部件加工厂建立了稳定长期合作关系，实现了半导体硅片与刻蚀设备用硅材料两大主营业务的同步发展。

“目前公司对于半导体硅抛光片、刻蚀设备用硅材料两类主要产品的发展规划是同步推进的。”谈到募投项目时，张果虎补充道。他告诉记者，公司将根据募投项目计划完成8英寸硅片及刻蚀设备用硅材料的扩产，同时参股公司将加快12英寸硅片的发展。在目前阶段，刻蚀设备用硅材料业务占比有一定程度的提高，但总体来看，硅片市场空间更大。

刻蚀材料方面，张果虎表示，有研硅作为世界排名前列的刻蚀设备厂商的核心供应商，未来也将不断实现技术升级、产品迭代，进一步提升市场占有率。据介绍，2021年有研硅在刻蚀材料的全球市场份额达到16%。

打造世界一流半导体企业

据了解，有研硅的外资控股股东RST与有研集团结缘于2017年。彼时，有研硅通过混合所有制改革，引入了具有国际半导体产业经验和市场渠道的投资方RST，为有研硅产业发展赋能。同时，有研集团发挥央企优势持续大力支持，在产业政策、人才培养、团队建设等方面提供保障。混改后的有研硅更加高效、更加市场化，迸发出崭新活力。

“RST作为全球最大的再生晶圆制造企业，拥有广泛的全球客户资源，与全球知名的芯片制造企业建立了长期稳定的合作关系，我们一直希望利用RST的客户资源进入硅片制造领域。基于与有研集团及有研硅多年良好合作关系，2017年RST积极参与有研硅的改制，并与2018年初正式牵手有研硅，成为公司控股股东。”方永义介绍。

资料显示，RST主要从事对集成电路制造厂生产使用过的测试硅片（控片）及仿真硅片（档片）的再生加工，产业分布于日本、美国等半导体产业发达的国家和地区，拥有广泛而优质的原材料供应商和客户资源，覆盖了全球主要的半导体芯片制造商。

对于双方未来的合作，方永义介绍，RST将持续协助有研硅提高现场管理能力，充实研发实力。同时，将利用海外市场渠道，帮助有研硅产品进入海外市场。“实际上，在这方面已经取得非常好的成果，未来无论8英寸还是12英寸硅片，我们都会加强市场协同，强化全球市场布局、参与国际竞争。”他告诉记者，RST对有研硅的产品非常有信心，相信未来有研硅会成为世界一流半导体企业。