上海至纯洁净系统科技股份有限公司2022年年度报告摘要
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
2022年年度报告摘要
公司代码：603690 公司简称：至纯科技
第一节 重要提示
1本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到www.sse.com.cn网站仔细阅读年度报告全文。
2本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
3公司全体董事出席董事会会议。
4众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
5董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
2022年度拟每10股派发现金红利1.324元（含税），并每10股派送红股2股（含税）（每股面值1元）
第二节 公司基本情况
1公司简介
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2报告期公司主要业务简介
集成电路领域，随着信息化、智能化技术的快速发展，半导体芯片及器件产品在半导体照明、新一代移动通信、智能电网、新能源汽车、消费类电子等领域得到广泛应用，集成电路市场规模实现快速增长。根据 WSTS 资料显示，全球半导体产业销售额已从 2000 年的 2,044 亿美元增长至 2021 年的 5,559 亿美元，并从中国台湾、日本、韩国向中国大陆转移。根据国际半导体设备与材料协会（SEMI） 的数据，2021年全球半导体设备市场规模达到1,030亿美元，较2020年增长42.24%，2022 年第三季度全球半导体设备出货金额达到 287.5 亿美元，环比增长 9%，同比增长 7%，其中中国大陆半导体设备出货金额占比约26.4%。
根据SEMI报告显示，中国大陆、中国台湾和韩国在2022年仍是设备支出的前三大目的地。中国大陆在继2020年首次占据榜首后，2023年将保持这个位置。尽管大多数地区的设备支出预计将在2023年减少，但在2024年将恢复增长。根据浙商证券统计数据显示，2022年中国大陆共有23座12英寸晶圆厂正在投产，总计月产能约为104.2万片，与总规划月产能156.5万片相比，产能装载率仅66.58%。预计中国大陆2022-2026年还将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能超过160万片，预计截止至2026年底，中国大陆12英寸晶圆厂的总月产能将超过276.3万片，相比目前提高165.1%。
目前全球缺芯尚无明显改善迹象，在全球集成电路制造产能持续紧张背景下，近两年我国集成电路相关领域投资活跃，实现半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅增长，中国大陆正在成为全球半导体产业扩张宝地。中国跃升全球半导体第一大市场，但自给率仅27%，中国近年出台的十三五计划，在《中国制造 2025》中明确制定目标至 2020 年晶圆自给率将达到 40%、2025 年达 50%，中国庞大资金与相关配套政策扶植下，估计未来几年半导体建设仍蓬勃发展。
公司目前80%的业务服务于集成电路领域，主营业务主要包括半导体制程设备、系统集成及支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的部件材料及专业服务。
1、制程设备
半导体设备是半导体技术迭代的基石，是半导体产业的发动机。芯片的制造过程可以分为前道工艺和后道工艺。前道工艺设备投资占总设备投资的80%以上。公司提供湿法清洗设备，包括湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后。高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备。
单片高温SPM工艺主要用在刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗，目的是把晶圆表面反应后残余的光刻胶聚合物清除干净。单片SPM工艺应用贯穿整个先进半导体的前、中段工艺，清洗工艺次数超过30道，是所有湿法工艺中应用最多的一种设备。此外SPM工艺被广泛应用在浅槽隔离（STI）、接触孔刻蚀后（CT）等高深宽结构，以及鳍式晶体管（FinFET） 、电容（capacitor）等高度复杂图形区域，故SPM 工艺被公认是28/14nm性能要求最高的工艺，也是最具挑战的湿法工艺设备。在至纯科技的单片SPM获得突破之前，所有的单片SPM设备全部由国外厂商所垄断。此外公司开发硫酸回收系统与单片SPM设备搭配使用，最高可以实现80%以上的硫酸回收，单台每年可为用户节省160~180万美金的硫酸费用，同时降低用户对危废排放的压力。公司单片清洗机台设计采用类国际一流设备的架构，拥有自己专利和技术布局。目前产品的各项工艺指标与国际大厂设备是相匹配的，并可实现37纳米以下少于20个剩余颗粒的处理。
Backside clean（晶背清洗）工艺是在芯片制造工艺中相当重要的湿法工艺。半导体生产过程中，对于污染是很重视的，尤其是金属污染。一旦有金属污染将损失巨大。半导体生产设备中，最高单价的就是光刻机，晶圆背面清洗的功能就是将背面的金属污染物清除，把颗粒洗净，让晶圆以最佳状态进入光刻机，避免光刻机因晶圆背面缺陷问题(金属和颗粒)而停机。晶圆背面清洗的重要性及步骤数量随着工艺进步和金属层的增加而增加。目前国内晶圆厂商用的最多的是由海外大厂制造的机台，而公司目前已实现Backside etch（背面蚀刻）功能，达到客户的验收标准。通过背面单片机台清洗后，可实现40纳米以上少于10个剩余颗粒的处理。同时金属污染可控制在1E+9（原子/平方厘米）以内。目前产品的各项工艺指标可对标国际大厂设备指标。截至目前，核心工序段的高阶设备累计订单量近20台。
公司产品如下所示：
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1.高纯系统集成及支持设备
泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放，因此高纯工艺系统在这其中发挥着重要作用。
公司为集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺系统的设计、安装、测试调试服务。高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。
在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。高纯工艺中的特气设备和系统服务于各类干法工艺机台，高纯化学品设备系统服务于各类湿法系统，专用设备和系统和机台的腔体连成一个工作面，对于良率有重要的影响。
2021年起，公司将高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等工艺支持性的设备作为单独的分类。该类设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，是和工艺良率息息相关的必要设备，相当于一个工厂的心血管系统。该类设备随着进口替代的展开，在高纯工艺系统中占比越来越高。公司已经成为国内该类设备的领先者。
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3、部件材料及专业服务
（1）基于目前国内半导体关键零部件依赖进口的大背景，公司在海宁设立了半导体模组及部件制造基地。在湿法清洗设备关键零部件技术方面，公司投入了众多资源进行自主研发和合作开发，取得了一定的技术成果，为部件制造奠定了一定的技术基础。海宁部件基地目前为客户进行刻蚀设备腔体中的结构件的精密制造。该项业务的顺利开展有利于推动我国关键半导体零部件进口替代，有利于进一步丰富及优化公司的业务结构、增强公司的综合竞争力。
（2）部件清洗及晶圆再生服务
公司在合肥设立了晶圆再生、部件清洗及表面处理产线，并建有国内首条完整阳极处理线。晶圆再生产线是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗及表面处理产线可为7纳米及以上制程的部件提供清洗及表面处理服务。
当客户设备部件出现阳极氧化层和基底暴露、表面损坏、涂层厚度低于规范标准等情况时，我们使用水刀、喷砂、阳极氧化、电浆熔射、电弧熔射等工艺对部件进行表面处理及物理、化学清洗，处理后通过量测设备进行各类指标的测量，将设备中的石英、陶瓷、不锈钢、铝等材质的部件恢复到设备原厂零部件出厂等级。目前部件再生服务已通过近十家客户在刻蚀、薄膜、扩散工艺环节部分产品的验证并正式接单。
报告期内合肥工厂还取得了合肥市级含砷处理资质、完成含砷工件专用制程线。
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阳极产线实景
（3）半导体级大宗气体整厂供气服务
公司为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少15年的高纯大宗气体整厂供应。公司已在上海嘉定建成首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂，于2022年初顺利通气并已稳定运行一年以上。
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半导体级大宗气体工厂
3公司主要会计数据和财务指标
3.1近3年的主要会计数据和财务指标
单位：元 币种：人民币
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3.2报告期分季度的主要会计数据
单位：元 币种：人民币
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季度数据与已披露定期报告数据差异说明
□适用 √不适用
4股东情况
4.1报告期末及年报披露前一个月末的普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况
单位: 股
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4.2公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
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4.3公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
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4.4报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况
□适用 √不适用
5公司债券情况
□适用 √不适用
第三节 重要事项
1公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。
参见“第三节 管理层讨论与分析”中的“三、报告期内公司从事的业务情况”。
2公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。
□适用 √不适用
证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-027
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
关于2022年度利润分配预案的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
重要内容提示：
● 每股分配比例
A股每10股派发现金红利1.324元（含税），并每10股派送红股2股（含税）（每股面值1元）
● 本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，具体日期将在权益分派实施公告中明确
● 若在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动，拟维持现金分红总额不变，相应调整每股现金分红比例，同时维持每股送转比例不变，相应调整送转总额，并将在相关公告中披露。
一、利润分配预案内容
经众华会计师事务所（特殊普通合伙）审计，截至2022年12月31日，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）母公司累计未分配利润为525,302,446.07元。经董事会决议，公司2022年年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数分配利润。本次利润分配预案如下：
1、公司拟向全体股东每10股送2股（每股面值1元）。以截至2022年12月31日总股本321,079,574股（其中公司回购账户1,157,600股不参与送股）为基数，共送股63,984,394.8股，本次送股后，公司总股本将增加至385,063,968.8股。（最终以中国证券登记结算有限责任公司上海分公司登记结果为准）
2、公司拟向全体股东每10股派发现金红利1.324元（含税）。以截至2022年12月31日总股本321,079,574股（其中公司回购账户1,157,600股不参与利润分配）为基数，合计拟派发现金红利42,519,596.53元（含税）。同时公司2022年已实施的股份回购金额44,994,320.00元视同现金分红，因此，公司2022年度实际累计现金分红为87,513,916.53元，占归属于上市公司股东的净利润比例为30.98%。
如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因可转债转股、回购股份、股权激励授予股份回购注销、重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持现金分红总额不变，相应调整每股现金分红比例，同时维持每股送转比例不变，相应调整送转总额，并将在相关公告中披露。
本次利润分配预案尚需提交股东大会审议。
二、公司履行的决策程序
（一）董事会会议的召开、审议和表决情况
公司于2023年4月6日召开第四届董事会第三十二次会议审议通过了此次利润分配预案，同意本次利润分配预案并同意将该议案提交公司2022年年度股东大会审议。
（二）独立董事意见
结合公司股本、财务状况、发展计划及资金需求等因素，公司独立董事认为公司2022年度利润分配预案兼顾了股东合理回报及公司可持续发展的需要，现金分红水平具有合理性，符合公司利润分配政策，有利于维护股东的长远利益。同意将该议案提交股东大会审议通过后实施。
（三）监事会意见
公司2022年度利润分配预案符合《公司法》《证券法》和《公司章程》中对于分红的相关规定，符合公司股利分配政策，体现了公司对投资者的回报，2022年度利润分配预案具备合法性、合规性及合理性。监事会对于2022年度利润分配预案无异议。
四、相关风险提示
1、本次利润分配预案结合了公司发展阶段、未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。
2、本次利润分配预案尚需提交2022年度股东大会批准，敬请广大投资者注意投资风险。
特此公告。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会
2023年4月8日
证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-032
上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于
2022年度计提信用及资产减值准备的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）第四届董事会第三十二次会议、第四届监事会第三十次会议审议通过了《关于2022年度计提信用及资产减值准备的议案》,该议案无需提交股东大会审议。根据《企业会计准则》及公司会计政策的相关规定，基于谨慎性原则，公司对各项需要计提减值的资产进行了评估，并对预计可收回金额低于其账面价值的各项资产计提减值准备。
公司2022年计提各项信用减值准备合计人民币11,121.45万元，资产减值准备754.89万元。 具体如下：
单位：人民币万元
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一、计提减值准备对公司的影响
2022年度公司合并报表计提信用减值准备11,121.45万元，计提资产减值准备754.89万元，减少利润总额11,876.34万元。
二、计提信用及资产减值准备的具体说明
1、信用减值准备
公司于资产负债表日对应收款项预计可收回金额进行判断，无论是否存在重大融资成分，公司均按照整个存续期的预期信用准备计量。当单项应收票据及应收账款无法以合理成本评估预期信用准备的信息时，公司依据信用风险特征将其划分为若干组合，在组合基础上计算预期信用准备。如果有客观证据表明某项应收票据及应收账款已经发生信用减值，则本公司对该应收票据及应收账款单项计提坏账准备并确认预期信用准备。对于划分为组合的应收票据及应收账款，本公司参考历史信用准备经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用准备率，计算预期信用准备。当单项其他应收款无法以合理成本评估预期信用准备的信息时，本公司依据信用风险特征将其他应收款划分为若干组合，在组合基础上计算预期信用准备。经测试，2022年计提信用减值准备共计11,121.45万元。
2、资产减值准备
公司存货成本高于其可变现净值的，计提存货跌价准备，计入当期损益。公司确定存货的可变现净值，以取得的确凿证据为基础，并且考虑持有存货的目的、资产负债表日后事项的影响等因素。为执行销售合同或者劳务合同而持有的存货，其可变现净值以合同价格为基础计算。持有存货的数量多于销售合同订购数量的，超出部分的存货的可变现净值以一般销售价格为基础计算。
公司在确定与合同成本有关的资产的减值准备时，首先对按照其他相关企业会计准则确认的、与合同有关的其他资产确定减值准备；然后根据其账面价值高于本公司因转让与资产相关的商品预期能够取得的剩余对价以及为转让该相关商品估计将要发生的成本这两项的差额的，超出部分应当计提减值准备，并确认为资产减值准备。
经测试，2022年计提资产减值准备共计754.89万元。
三、独立董事关于公司计提减值准备的意见
公司本次计提信用及资产减值准备事项是基于谨慎性原则，符合《企业会计准则》和公司相关制度的规定，并履行了相应的决策程序。本次计提信用及资产减值准备能够真实公允地反映公司的实际资产、财务状况。同意本次计提信用及资产减值准备事项。
四、审计委员会关于公司计提减值准备的意见
审计委员会认为：公司本次计提信用及资产减值准备符合《企业会计准则》和公司会计政策的规定，能够更加真实公允地反映公司2022年度财务状况及经营成果，有助于向投资者提供更加准确的会计信息，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情况。
五、监事会关于公司计提减值准备的意见
监事会认为：公司本次计提信用及资产减值准备的决策程序合法合规，符合《企业会计准则》及公司相关制度的规定，符合公司实际情况，同意本次计提信用及资产减值准备。
特此公告。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会
2023年4月8日
证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-035
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
关于第三期股权激励首次授予的股票期权
第二个行权期行权条件成就的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
重要内容提示:
● 本次股票期权拟行权数量：120.336 万份
● 行权股票来源：公司向激励对象定向发行的本公司人民币A股普通股股票
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年4月6日召开第四届董事会第三十二次会议、第四届监事会第三十次会议，审议通过了《关于第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的议案》，公司第三期股权激励计划（以下简称“本次计划”）首次授予股票期权第二个行权期行权条件已经成就，现将有关情况公告如下：
一、本次计划批准及实施情况
（一）本次计划已履行的决策程序
1、公司于2020年10月30日分别召开了第三届董事会第四十次会议、第三届监事会第三十一次会议，审议通过了《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理公司第三期股票期权与限制性股票激励计划相关事宜的议案》等议案，公司独立董事对此发表了独立意见。
2、2020年11月13日，公司内部公示了激励对象名单，公示时间自2020年11月13日起至2020年11月25日止。在公示期间，公司未接到任何人对公司本次激励对象提出的异议。监事会对激励对象名单进行了核查，并于2020年11月25日出具了《监事会关于公司第三期股权激励对象名单审核及公示情况的说明》。
3、公司于2020年12月1日召开2020年第三次临时股东大会，审议通过了《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理公司第三期股票期权与限制性股票激励计划相关事宜的议案》，并对本次激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告进行了公告。
4、2021年1月13日，公司分别召开了第三届董事会第四十二次会议和第三届监事会第三十二次会议，审议通过了《关于调整公司第三期股权激励计划相关事项的议案》《关于首次向激励对象授予第三期股权激励股票期权与限制性股票的议案》，公司监事会对公司本次股权激励计划的调整事项进行了核查并发表了意见。公司独立董事对此发表了独立意见，公司监事会对调整后的激励对象名单再次进行了核实。上海博行律师事务所出具了本次调整及授予相关内容的法律意见书。2021 年 1 月 26 日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成43万股限制性股票、466.2万份股票期权的授予登记工作。
5、2021年4月29日，公司召开了第四届董事会第三次会议，审议通过了《关于回购注销第一、二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的方案》，决定因4名激励对象离职、1名激励对象2020年度考核不合格，将回购注销第一期限制性股票激励计划预留授予的尚未解锁的3万股限制性股票、注销第二期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的14.5万份股票期权及预留授予的尚未行权的3万份股票期权、注销第三期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的2.5万份股票期权。
6、2021 年 10 月 8 日，公司分别召开了第四届董事会第八次会议、第四届监事会第七次会议审议通过了《关于向激励对象授予第三期股权激励预留权益的议案》，确定 2021 年 10 月 8 日为授予日，股票期权的行权价格为 48.83 元/份。公司独立董事和监事会对本次向激励对象授予预留权益事宜发表了同意的意见。2021年10月15日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成90万股股票期权的授予登记工作。
7、2022年4月28日，公司召开了第四届董事会第十八次会议，审议通过《关于调整第二期首次、预留授予及第三期首次授予的股票期权行权价格的议案》，因公司实施了2020年度利润分配，每股派发现金红利为 0.16363元（含税），故第二期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由18.4244元/份调整为18.26077元/份，第二期股权激励计划预留授予的股票期权行权价格由33.074元/份调整为32.91037元/份，第三期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由35.52元/份调整为35.35637元/份。
同时审议通过了《关于回购注销第二、三期股权激励计划中部分限制性股票、股票期权的方案》，决定因13名激励对象离职，根据《第二期股票期权与限制性股票激励计划》《第三期股票期权与限制性股票激励计划》的规定，公司将注销第二期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的9.1万份股票期权及预留授予的尚未行权的3万份股票期权、注销第三期股票期权与限制性股票激励计划首次授予的尚未行权的14.3万份股票期权、回购注销第三期股票期权与限制性股票激励计划授予的尚未解除限售的3万股限制性股票。
8、2022年7月5日，公司召开了第四届董事会第二十一次会议、第四届监事会第二十次会议，审议通过了《关于第三期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》《关于公司第三期股权激励授予的限制性股票第一个解锁期解锁条件成就的议案》《关于注销第三期股权激励计划中部分股票期权的议案》等议案，独立董事对此发表了同意的独立意见，监事会对此发表了审核意见。
2022年7月18日，第三期股权激励第一个解锁期的12万股限制性股票解锁上市流通。
2022年11月7日至2023年1月12日，公司第三期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期已全部行权结束，新增非限售流通股1,292,700 股。
9、2022年10月27日，公司召开了第四届董事会第二十五次会议、第四届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于第三期股权激励预留授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》，独立董事对此发表了同意的独立意见，监事会对此发表了审核意见。
（二）第三期股票期权的历次授予情况
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（三）股票期权授予后的调整情况
2022年4月28日，公司召开了第四届董事会第十八次会议，审议通过《关于调整第二期首次、预留授予及第三期首次授予的股票期权行权价格的议案》，因公司实施了2020年度利润分配，每股派发现金红利为 0.16363元（含税），故第三期股权激励计划首次授予的股票期权行权价格由35.52元/份调整为35.35637元/份。
（四）股权激励计划的行权情况
2022年10月27日，公司召开了第四届董事会第二十五次会议、第四届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于第三期股权激励预留授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》，第三期股权激励预留授予的股票期权第一个行权期行权条件成就，104名激励对象于2022年11月7日至2023年1月12日完成本次行权，合计129.27万股。
2023年4月6日，公司召开了第四届董事会第三十二次会议、第四届监事会第三十次会议，审议通过了《关于公司第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的议案》，公司第三期股权激励计划首次授予股票期权第二个行权期行权条件已经成就，同意符合条件的96名激励对象合计120.336万份股票期权办理相关行权事宜。
本次为公司第三期股权激励首次授予股票期权的第二个行权期。
二、本次计划首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的说明
（一）首次授予的股票期权第二个等待期已届满
公司第三期股票期权激励计划首次授予权益的授权日为2021年1月13日。根据《第三期股票期权与限制性股票激励计划（草案）》的规定，激励对象获授的全部股票期权适用不同的等待期，均自授权日起计。授权日与首次可行权日之间的间隔不得少于12个月，第二个行权期行权期间为自授权日起 24 个月后的首个交易日起至授权日起36个月内的最后一个交易日当日止。截至本公告日，第二个等待期已届满，本次可行权数量占获授权益数量比例为30%。
（二）首次授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的说明
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综上所述，公司董事会认为，第三期股权激励计划首次授予的股票期权第二个行权期的行权条件已经成就。根据公司2020年第三次临时股东大会的授权，同意公司按照第三期股权激励计划的相关规定为符合行权条件的96名激励对象办理首次授予的股票期权第二个行权期相应份额的相关行权事宜。
三、本次行权的具体情况
（一）授权日：2021年1月13日
（二）行权数量：120.336万份
（三）行权人数：96人
（四）行权价格：35.35637元/股
（五）行权方式：自主行权，已聘请中信建投证券股份有限公司作为自主行权主办券商
（六）股票来源：公司向激励对象定向发行 A 股普通股股票
（七）行权安排：首次授予的股票期权第二个行权期行权截止日期为2024年1月12日，行权所得股票可于行权日（T日）后的第二个交易日（T+2）日上市交易。
（八）激励对象名单及本次可行权情况
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注：实际行权数量以中国证券登记结算有限责任公司上海分公司登记为准。
四、监事会对激励对象名单的核实情况
公司监事会认为，公司层面 2022年度业绩已达到考核目标，各激励对象个人层面绩效考核结果合规、真实。根据公司《第三期股票期权与限制性股票激励计划》的有关规定，公司第三期股权激励首次授予的股票期权第二个行权期的行权条件已成就；本次可行权的激励对象行权资格合法、有效，满足本次激励计划第二个行权期的行权条件；本次行权安排（包括行权期、行权条件等事项）符合相关法律、法规和规范性文件的有关规定。同意符合行权条件的96名激励对象在规定的行权期内采取自主行权的方式行权。
五、股权激励股票期权费用的核算及说明
根据《企业会计准则第 11 号一一股份支付》和《企业会计准则第 22 号一一 金融工具确认和计量》，依据股票授予日的公允价值，将股权激励成本计入管理费用。本次激励对象采用自主行权方式进行行权。公司在授权日采用 Black-Scholes 期权定价模型确定股票期权在授权日的公允价值，根据股票期权的会计处理方法，在授权日后，不需要对股票期权进行重新评估，即行权模式的选择不会对股票期权的定价造成影响。
公司在授权日授予股票期权后，已在对应的等待期根据会计准则对本次股票期权行权相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次股票行权不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。
六、法律意见书的结论性意见
上海博行律师事务所认为，公司本次股票期权行权的各项条件已成就，本次行权己取得必要的批准和授权，符合《管理办法》等相关法律、法规和规范性文件及《上海至纯洁净系统科技股份有限公司第三期股票期权与限制性股票激励计划》的规定，公司尚需按照《上市公司股权激励管理办法》等法律、法规及规范性文件的规定及时履行信息披露义务并办理行权事宜。
特此公告。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会
2023年4月8日
证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2023-036
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
关于第四期股权激励首次授予的股票期权
第一个行权期行权条件成就的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
重要内容提示:
● 本次股票期权拟行权数量：38.472万份
● 行权股票来源：公司向激励对象定向发行的本公司人民币A股普通股股票
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年4月6日召开第四届董事会第三十二次会议、第四届监事会第三十次会议，审议通过了《关于第四期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的议案》，公司第四期股权激励计划（以下简称“本次计划”）首次授予股票期权第一个行权期行权条件成就，现将有关情况公告如下：
一、本次计划批准及实施情况
（一）本次计划已履行的决策程序
1、公司于2022年2月7日分别召开了第四届董事会第十五次会议、第四届监事会第十四次会议，审议通过了《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第四期股票期权与限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第四期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理公司第四期股票期权与限制性股票激励计划相关事宜的议案》等议案，公司独立董事对此发表了独立意见。
2、2022年2月9日，公司内部公示了激励对象名单，公示时间自2022年2月9日起至2022年2月18日止。在公示期间，公司未接到任何人对公司本次激励对象提出的异议。监事会对激励对象名单进行了核查，并于2022年2月22日出具了《监事会关于公司第四期股权激励对象名单审核及公示情况的说明》。
3、公司于2022年2月28日召开2022年第一次临时股东大会，审议通过了《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第四期股票期权与限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于〈上海至纯洁净系统科技股份有限公司第四期股票期权与限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理公司第四期股票期权与限制性股票激励计划相关事宜的议案》，并对本次激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告进行了公告。
4、2022年4月11日，公司分别召开了第四届董事会第十六次会议和第四届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司第四期股权激励计划相关事项的议案》《关于首次向激励对象授予第四期股权激励股票期权与限制性股票的议案》，公司监事会对公司本次股权激励计划的调整事项进行了核查并发表了意见。公司独立董事对此发表了独立意见，公司监事会对调整后的激励对象名单再次进行了核实。上海博行律师事务所出具了本次调整及授予相关内容的法律意见书。
5、公司分别于2022年4月26日和2022年6月10日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成公司第四期股票期权与限制性股票激励计划首次授予所涉及的132万份股票期权和108万股限制性股票的登记工作。
6、2023年2月8日，公司第四届董事会第三十次会议、第四届监事会第二十九次会议审议通过了《关于向激励对象授予第四期股权激励预留权益的议案》，确定2023年2月8日为授予日，以19.14元/股的授予价格授予10名激励对象27万股限制性股票，以38.27元/股的行权价格授予15名激励对象33万份股票期权。公司独立董事和监事会对本次向激励对象授予预留权益事宜发表了同意的意见。上述股票期权与限制性股票于2023年2月27日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司完成登记。
（二）第四期股票期权的历次授予情况
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（三）股票期权授予后的调整情况
第四期股权激励首次授予的股票期权行权价格未进行过调整。
（四）股权激励计划的行权情况
本次为公司第四期股权激励首次授予股票期权的第一个行权期。
二、本次计划首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的说明
（一）首次授予的股票期权第一个等待期即将届满
公司第四期股票期权激励计划首次授予权益的授权日为2022年4月11日。根据《第四期股票期权与限制性股票激励计划（草案）》的规定，激励对象获授的全部股票期权适用不同的等待期，均自授权日起计。授权日与首次可行权日之间的间隔不得少于12个月，第一个行权期行权期间为自授权日起12个月后的首个交易日起至授权日起24个月内的最后一个交易日当日止，首次授予的股票期权第一个等待期于2023年4月11日届满，本次可行权数量占获授权益数量比例为30%。
（二）首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就的说明
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综上所述，公司董事会认为，第四期股权激励计划首次授予的股票期权第一个行权期行权条件成就。根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，同意公司在首次授予的股票期权第一个等待期届满后，按照期股权激励计划的相关规定为符合行权条件的60名激励对象办理首次授予的股票期权第一个行权期相应份额的相关行权事宜。
三、本次行权的具体情况
（一）授权日：2022年4月11日
（二）行权数量：38.472万份
（三）行权人数：60人
（四）行权价格：46.50元/股
（五）行权方式：自主行权，已聘请中信建投证券股份有限公司作为自主行权主办券商
（六）股票来源：公司向激励对象定向发行 A 股普通股股票
（七）行权安排：首次授予的股票期权第一个行权期行权截止日期为2024年4月10日，行权所得股票可于行权日（T日）后的第二个交易日（T+2）日上市交易。
（八）激励对象名单及本次可行权情况
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注：实际行权数量以中国证券登记结算有限责任公司上海分公司登记为准。
四、监事会对激励对象名单的核实情况
公司监事会认为，公司层面 2022年度业绩已达到考核目标，各激励对象个人层面绩效考核结果合规、真实。根据公司《第四期股票期权与限制性股票激励计划》的有关规定，公司第四期股权激励首次授予的股票期权第一个行权期的行权条件成就；本次可行权的激励对象行权资格合法、有效，满足本次激励计划第一个行权期的行权条件；本次行权安排（包括行权期、行权条件等事项）符合相关法律、法规和规范性文件的有关规定。同意符合行权条件的60名激励对象在规定的行权期内采取自主行权的方式行权。
五、股权激励股票期权费用的核算及说明
根据《企业会计准则第 11 号一一股份支付》和《企业会计准则第 22 号一一 金融工具确认和计量》，依据股票授予日的公允价值，将股权激励成本计入管理费用。本次激励对象采用自主行权方式进行行权。公司在授权日采用 Black-Scholes 期权定价模型确定股票期权在授权日的公允价值，根据股票期权的会计处理方法，在授权日后，不需要对股票期权进行重新评估，即行权模式的选择不会对股票期权的定价造成影响。
公司在授权日授予股票期权后，已在对应的等待期根据会计准则对本次股票期权行权相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次股票行权不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。
六、法律意见书的结论性意见
(下转142版)
