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微导纳米:用硬科技开辟“芯天地”

2024-03-22 来源:上海证券报
  微导纳米总部外景

◎记者 王玉晴

走在微导纳米的荣誉墙前,公司首席技术官黎微明特意在一项原子层沉积(ALD)技术的荣誉证书前停下了脚步,向上海证券报记者介绍了这项技术对公司科技创新的重要性。

如果说微导纳米的产品体系像是一个星系,位于中心的“太阳”就是原子层沉积这一核心技术。黎微明告诉记者,ALD技术在集成电路行业应用已久,而微导纳米创立时先是将ALD首创应用于光伏行业,然后再进入集成电路行业。现在,光伏和集成电路构成了公司薄膜沉积设备的主要下游市场。而在公司的研究院内,为更多战略性新兴产业孵化的新应用正在“孕育”阶段。

“不仅要追赶,更要在追赶中创新。”黎微明表示,身处半导体行业重要发展阶段,微导纳米不仅肩负重大使命,更要追求更高质量发展。

ALD技术应用广泛

赋能光伏和集成电路产业

在微导纳米之前,全球尚未有企业将原子层薄膜沉积技术应用在光伏行业。微导纳米通过自主创新,实现了这一首创性应用,为公司发展奠定基础。

今年,光伏电池新技术路线TOPCon以席卷之势成为市场主流。多位行业人士接受记者采访预测,TOPCon在2024年光伏行业的市占率有望从2023年的20%左右跃升至70%至80%。而原主流路线PERC电池的生产商,正紧锣密鼓将有改造潜力的产线升级为TOPCon产能。

微导纳米对光伏迭代跟踪紧密,在TOPCon设备市场已占据领先地位。2023年,公司在开发行业内首条GW级PE-Poly TOPCon电池工艺整线的基础上,进一步推出全新的TOPCon 2.0整线工艺技术。把握了新技术的关键首创,微导纳米自然也享受到了新技术的红利。公司ALD产品连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。

在大步拓展光伏市场之后,微导纳米又进入原子层沉积技术的另一重要应用领域集成电路行业,开拓出一片“芯天地”。“目前的先进半导体制程以及未来小于2纳米的制程,都需要ALD技术进行镀膜。因为器件结构越小、越三维化,对镀膜的要求越高,而只有ALD技术可以满足集成电路制造最尖端的要求。”黎微明强调了ALD技术对集成电路行业的重要性。

微导纳米是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28纳米节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商,已与国内多家厂商建立了深度合作关系,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体(第三代半导体)、新型显示(硅基OLED)等诸多细分应用领域,多项设备关键指标达到国际先进水平。

“ALD其实还有很广阔的应用前景,在锂离子电池、燃料电池、光学器件等具有前瞻性、战略性的行业,我们都正在培育ALD技术应用。”黎微明说,“我们秉持的理念就是‘创新驱动,引领未来’。”

不仅追赶 更要创新

一家能够做技术原创应用的企业,核心技术人员都要具有过硬的本领。而黎微明在荷兰的半导体公司从事过多年研究工作,参与过ALD技术导入集成电路生产的全过程。

1994年,黎微明从赫尔辛基大学硕士毕业后,开启了原子层沉积技术研究生涯。2000年博士毕业后,黎微明迈入原子层沉积技术的产业化应用领域。在延续摩尔定律的大背景下,他任职的公司率先将高介电常数材料引入到半导体行业,对半导体行业发展起到了至关重要的作用。2015年,黎微明从芬兰回国,与几位创始人共同创办了微导纳米。

科创企业的成长需要技术带头人,更离不开研发团队、资金投入等综合实力。黎微明告诉记者,目前公司研发人员占比超过总人数的30%,在每一个应用领域内,都有一名研发带头人。2022年,微导纳米研发投入超过1.38亿元,研发投入占营收比例超过20%。

“我们经常讲‘兵马未动,粮草先行’,其实装备对具有战略意义的产业是非常重要的。很多行业都是因为装备实现突破,整个行业才有了进一步发展。”黎微明表示,中国企业虽然在集成电路领域处于追赶全球先进技术阶段,但是在追赶的同时,微导纳米更加注重创新突破。人工智能、自动驾驶等新技术将带来巨大的市场,微导纳米已将大量资源投入新兴集成电路市场,以捕捉“芯市场”中的新机遇。

在红海中找到蓝海

各种场合都要打赢

商场如战场,科创板上市公司能够以硬科技立身资本市场,不仅需要技术人员攻坚克难,更离不开管理层的谋篇布局。

“一家装备制造商能够发展壮大,首先一定要具有大局观,要立足于国家的战略所需,业务布局要符合时代的节拍和未来产业的规划,助力实现先进制造和先进服务业的深度融合和加强。”微导纳米总经理周仁向记者表示,公司将紧跟国家指引的方向,加快发展新质生产力。

周仁特别强调了顺应市场变化的重要性:“我们要洞察市场的变化并及时应对,在红海中找出蓝海,重点开发能够为客户带来价值的创新性、差异性的产品。”

在周仁看来,所有的战略落地最关键的还是人。在集聚优秀人才方面,公司坚持“进得来,留得住,上得去”的人才战略。

谈及“带兵打仗”,周仁强调:“要在各种场合都能打赢。”

“以光伏价格战为例,其实考验的是生存能力。我鼓励团队要在各种场合都能打赢,这样才能把兵练出来。”周仁表示,经过国内光伏设备产业的激烈竞争,公司产品也能够以更强的竞争力走向国际市场。

微导纳米最新发布的2023年业绩快报显示,公司2023年营业总收入16.83亿元,同比增长145.82%;归母净利润2.57亿元,同比增长374.47%。

“这是公司创新理念、技术和执行力的结果。”周仁表示,公司将努力保持在ALD设备领域国内领先的行业地位,未来将持续加大在存量和增量市场的技术、产品开发力度,增强公司抵御单一市场波动的风险,同时助力中国产业技术走向全球最前沿。