上海至纯洁净系统科技股份有限公司2023年年度报告摘要

公司代码：603690 公司简称：至纯科技

第一节 重要提示

1本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到www.sse.com.cn网站仔细阅读年度报告全文。

2本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

3公司全体董事出席董事会会议。

4众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。

5董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

2023年度拟每10股派发现金红利1.93元（含税）。

第二节 公司基本情况

1公司简介

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2报告期公司主要业务简介

2023 年度，公司业务保持稳步增长，公司为客户全生命周期提供产品与服务的战略布局已经逐渐成型并取得了显著经营成果。2023年度公司新增订单总额为132.93亿元，其中包含电子材料及专项服务5年-15年期长期订单金额86.61亿元，该部分长期订单的获得是公司经营战略中子战略之“将技术和产品服务化”的初步体现和成果。

自2015年起，公司紧密围绕国家发布的《中国制造2025》这一国家级顶层规划和路线图，制定了《至纯科技十年战略展望2016-2025》作为内部发展战略，公司遵循“十年展望、五年规划、三年路径、年度经营目标”的节奏，有序推动战略管理和战略实施。公司的产品业务主要集中在高纯工艺系统、核心工艺设备以及工艺材料和专项服务，服务于泛半导体领域，如集成电路、平板显示、光伏、LED等。

在2017年上市之际，公司迅速调整经营重心，将核心资源配置到集成电路领域。经过多年的努力，公司已成为国内集成电路领域高纯工艺系统的领导者、湿法设备的领先者，并成功跻身为国内28纳米及以上主流集成电路制造企业的大宗气体主要本土供应商之一。从2017年至2023年，公司年度新增订单从6.7亿元攀升至近133亿元，营业收入从3.7亿元增长到31.5亿元，EBITDA从0.8亿元增长到7.47亿元，归母净利润从0.49亿元提升至3.77亿元。

近年来，公司面临着巨大的战略机遇与挑战，主要矛盾在于日益增长的市场机遇与资源有限性之间的冲突。自2017年上市之初，公司明确提出要通过大力投入研发与提升产能建设，以匹配业务的高速增长。经过不懈努力，公司的研发投入从2017年的0.13亿元跃升至2023年的3.07亿元。在技术研发方面，公司湿法设备产品成功开发了四大平台，覆盖湿法几乎全部工艺，在仍然被国际厂商垄断的部分机台环节，公司保持了国内领先的验证及交付进度。同时，公司在系统集成领域中用到的支持设备如前驱体设备、研磨液设备、气体在线混配设备、侦测器、干式吸附式尾气处理设备、生物反应设备、发酵设备，以及部分核心零部件产品等均投入资源开发了进口替代的产品，为公司的业务拓展夯实了基础。在生产规模上，随着市场拓展的加速以及公司不断扩充新产品，生产场地从0.9万平米扩展至37万平米，固定资产及在建工程超过20亿。高强度研发投入和重资产投入，彰显了公司创新发展、可持续发展、长期发展的科创报国战略雄心和战略定力，并且在公司业务的高速增长过程中得到了充分印证。

报告期内，公司扣除非经常性损益的净利润受到财务成本、折旧费用和仍在爬坡中的业务短期亏损的影响，尚未达到理想水平，管理层也已制定切实计划降低财务成本，并且对公司不同业务间的资源分配进行调整，未来公司有信心实现净利润增长；由于新签订单持续快速增长，公司在半导体材料及零部件等原料供给紧张的背景下，为提高供应链运转效率以便加快订单交付，增加了零部件等原材料备货，同时伴随着不断投入研发、产品验证以及在地化供应链建设等需求，报告期内公司的经营性现金流流出较多，随着公司产品逐渐通过验证以及近四年持续的在地化供应链建设，同时公司加强应收款回款措施的实施，未来重点改善经营性现金流指标，以实现更为稳健的财务状况。

公司目前80%的业务服务于集成电路领域，主营业务主要包括半导体制程设备、系统集成及支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的部件材料及专业服务。

1、制程设备

半导体设备是半导体技术迭代的基石，是半导体产业的发动机。芯片的制造过程可以分为前道工艺和后道工艺。前道工艺设备投资占总设备投资的80%以上。公司提供湿法清洗设备，包括湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后。高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备。

单片高温SPM工艺主要用在刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗，目的是把晶圆表面反应后残余的光刻胶聚合物清除干净。单片SPM工艺应用贯穿整个先进半导体的前、中段工艺，清洗工艺次数超过30道，是所有湿法工艺中应用最多的一种设备。此外SPM工艺被广泛应用在浅槽隔离（STI）、接触孔刻蚀后（CT）等高深宽结构，以及鳍式晶体管（FinFET） 、电容（capacitor）等高度复杂图形区域，故SPM 工艺被公认是28/14nm性能要求最高的工艺，也是最具挑战的湿法工艺设备。在至纯科技的单片SPM获得突破之前，所有的单片SPM设备全部由国外厂商所垄断。此外公司开发硫酸回收系统与单片SPM设备搭配使用，最高可以实现80%以上的硫酸回收，单台每年可为用户节省160~180万美金的硫酸费用，同时降低用户对危废排放的压力。公司单片清洗机台设计采用类国际一流设备的架构，拥有自己专利和技术布局。目前产品的各项工艺指标与国际大厂设备是相匹配的，并可实现40纳米以下少于20个剩余颗粒的处理。

Backside clean（晶背清洗）工艺是在芯片制造工艺中相当重要的湿法工艺。半导体生产过程中，对于污染是很重视的，尤其是金属污染。一旦有金属污染将损失巨大。半导体生产设备中，最高单价的就是光刻机，晶圆背面清洗的功能就是将背面的金属污染物清除，把颗粒洗净，让晶圆以最佳状态进入光刻机，避免光刻机因晶圆背面缺陷问题(金属和颗粒)而停机。晶圆背面清洗的重要性及步骤数量随着工艺进步和金属层的增加而增加。目前国内晶圆厂商用的最多的是由海外大厂制造的机台，而公司目前已实现Backside etch（背面蚀刻）功能，达到客户的验收标准。通过背面单片机台清洗后，可实现40纳米以上少于10个剩余颗粒的处理。同时金属污染可控制在1E+9（原子/平方厘米）以内。目前产品的各项工艺指标可对标国际大厂设备指标。

公司产品如下所示：

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2、高纯系统集成及支持设备

泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放，因此高纯工艺系统在这其中发挥着重要作用。

公司为集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺系统的设计、安装、测试调试服务。高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。高纯工艺中的特气设备和系统服务于各类干法工艺机台，高纯化学品设备系统服务于各类湿法系统，专用设备和系统和机台的腔体连成一个工作面，对于良率有重要的影响。

2021年起，公司将高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等工艺支持性的设备作为单独的分类。该类设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，是和工艺良率息息相关的必要设备，相当于一个工厂的心血管系统。该类设备随着进口替代的展开，在高纯工艺系统中占比越来越高。公司已经成为国内该类设备的领先者。

部分支持设备图示及功能简介：

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3、部件材料及专业服务

（1）基于目前国内半导体关键零部件依赖进口的大背景，公司在海宁设立了半导体模组及部件制造基地。在湿法清洗设备关键零部件技术方面，公司投入了众多资源进行自主研发和合作开发，取得了一定的技术成果，为部件制造奠定了一定的技术基础。海宁部件基地目前为客户进行刻蚀设备腔体中的结构件的精密制造。该项业务的顺利开展有利于推动我国关键半导体零部件进口替代，有利于进一步丰富及优化公司的业务结构、增强公司的综合竞争力。

（2）部件清洗及晶圆再生服务

公司在合肥设立了晶圆再生、部件清洗及表面处理产线，并建有国内首条完整阳极处理线。晶圆再生产线是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗及表面处理产线可为7纳米及以上制程的部件提供清洗及表面处理服务。

当客户设备部件出现阳极氧化层和基底暴露、表面损坏、涂层厚度低于规范标准等情况时，我们使用水刀、喷砂、阳极氧化、电浆熔射、电弧熔射等工艺对部件进行表面处理及物理、化学清洗，处理后通过量测设备进行各类指标的测量，将设备中的石英、陶瓷、不锈钢、铝等材质的部件恢复到设备原厂零部件出厂等级。

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阳极产线实景

（3）半导体级大宗气体整厂供气服务

公司为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，为用户提供至少15年的高纯大宗气体整厂供应。公司已在上海嘉定建成首座完全国产化的12英寸晶圆大宗气体供应工厂，于2022年初顺利通气并已稳定运行，大宗气站新业务拓展进程顺利。

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3公司主要会计数据和财务指标

3.1近3年的主要会计数据和财务指标

单位：元 币种：人民币

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3.2报告期分季度的主要会计数据

单位：元 币种：人民币

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季度数据与已披露定期报告数据差异说明

□适用 √不适用

4股东情况

4.1报告期末及年报披露前一个月末的普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况

单位: 股

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4.2公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图

√适用 □不适用

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4.3公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图

√适用 □不适用

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4.4报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况

□适用 √不适用

5公司债券情况

□适用 √不适用

第三节 重要事项

1公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。

参见“第三节 管理层讨论与分析”中的“三、报告期内公司从事的业务情况”。

2公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。

□适用 √不适用

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2024-036

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

第五届监事会第二次会议决议公告

本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

一、监事会会议召开情况

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）监事会已于2024年4月1日向全体监事发出了第五届监事会第二次会议通知，第五届监事会第二次会议于2024年4月26日上午以现场结合通讯方式召开，会议由监事会主席张婷女士主持，全体监事均出席会议。会议的召开符合《公司法》《公司章程》的规定，所作决议合法有效。

二、监事会会议审议情况

1、审议通过了《关于2023年年度报告及其摘要的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：本次年报的编制和审议程序符合法律法规、《公司章程》等规定；本次年报的内容和格式符合中国证监会和上海证券交易所的各项规定，所包含的信息能从各个方面真实地反映出公司2023年度的经营管理和财务状况；在本报告发布前，我们未发现参与年报编制和审议的人员有违反保密规定的行为。本议案尚需提交公司股东大会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2023年年度报告》及摘要。

2、审议通过了《关于2023年度监事会工作报告的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

本议案尚需提交公司股东大会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2023年度监事会工作报告》

3、审议通过了《关于2023年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为该专项报告如实反映了公司2023年度募集资金实际存放与使用情况，不存在募集资金存放与使用违规的情形。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2023年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。

4、审议通过了《关于2023年度内部控制评价报告的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司内部控制评价报告真实地反映了公司内部控制的实际情况，没有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。同意公司《2023年度内部控制评价报告》所作出的结论。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2023年度内部控制评价报告》。

5、审议通过了《关于2023年度利润分配预案的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司2023年度利润分配预案符合《公司法》《证券法》和《公司章程》中对于分红的相关规定，符合公司股利分配政策，体现了公司对投资者的回报，2023年度利润分配预案具备合法性、合规性及合理性，监事会对于2023年度利润分配预案无异议，同意将该议案提交2023年年度股东大会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2023年度利润分配预案的公告》。

6、审议通过了《关于2024年度授信及担保额度预计的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司为全资及控股子公司提供担保符合相关法律法规的规定，有利于提高公司整体融资效率，有利于公司及子公司的经营发展，不会影响公司持续经营能力，不存在损害公司及股东利益的行为，同意公司及子公司向银行申请授信及办理相关担保的议案，同意将该议案提交股东大会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2024年度授信及担保额度预计的公告》。

7、审议通过了《关于2023年度日常关联交易实际发生情况及2024年度日常关联交易预计的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司与关联方的日常关联交易为公司正常经营业务所需的交易，有助于公司日常经营业务的开展和执行，有利于公司的持续稳定经营。关联交易的定价政策和定价依据按照公开、公平、公正的一般商业原则确定，交易价格以市场公允价为原则，是完全的市场行为，没有影响公司的独立性，没有对公司持续经营能力产生影响。公司的主要业务或收入、利润来源不完全依赖该类关联交易。上述交易不对公司资产及损益情况构成重大影响，不存在损害公司及其他股东特别是中小股东利益的情形。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2023年日常关联交易实际发生情况及2024年日常关联交易预计的公告》。

8、审议通过《关于续聘公司2024年度审计机构的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：众华会计师事务所（特殊普通合伙）具有证券、期货等相关业务执业资格，具备多年为上市公司提供审计服务的经验与能力，能够为公司提供真实、公允的审计服务，满足公司2024年度审计工作的要求。公司审议续聘审计机构的程序合法合规，不存在损害公司和股东利益的情形。

本议案尚需提交公司股东大会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于续聘公司2024年度审计机构的公告》。

9、审议通过《关于第三期股权激励预留授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司层面2022年度业绩已达到考核目标，各激励对象个人层面绩效考核结果合规、真实。根据公司《第三期股票期权与限制性股票激励计划》的有关规定，公司第三期股权激励预留授予的股票期权第二个行权期的行权条件已成就；本次可行权的激励对象行权资格合法、有效，满足本次激励计划预留授予第二个行权期的行权条件；本次行权安排（包括行权期、行权条件等事项）符合相关法律法规和规范性文件的有关规定。同意符合行权条件的激励对象在规定的行权期内采取自主行权的方式行权。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第三期股权激励预留授予的股票期权第二个行权期行权条件成就的公告》。

10、审议通过《关于第三、四期股权激励部分股票期权、限制性股票行权及解锁条件未成就的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司2023年业绩未能达到第三、四期股权激励设定的业绩考核目标，第三期股权激励首次授予第三个行权期的股票期权、第三期股权激励第三个解锁期的限制性股票、第三期股权激励预留授予第三个行权期的股票期权、第四期股权激励首次授予第二个行权期的股票期权、第四期股权激励首次授予第二个解锁期的限制性股票、第四期股权激励预留授予第一个行权期的股票期权、第四期股权激励预留授予第一个解锁期的限制性股票未达到行权/解锁条件，相应股票期权及限制性股票由公司另行审议回购/注销。本次股权激励相关事项审议及表决程序合法、合规，未损害公司及全体股东利益。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第三、四期股权激励部分股票期权、限制性股票行权及解锁条件未成就的公告》。

11、审议通过《关于回购注销第二、三、四期股权激励计划中部分股票期权和限制性股票的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

(下转482版)