上海至纯洁净系统科技股份有限公司

(上接1418版)

1、公司将严格履行审批程序，及时履行信息披露义务。在实际操作中，选择结构简单、流动性强、风险可控的金融衍生工具开展套期保值业务，为防止远期结售汇延期交割，公司加强应收账款的管理，积极催收应收账款，避免出现应收账款逾期的现象。

2、加强对公司银行账户和资金的管理，严格遵守资金划拨和使用的审批程序。公司选择具有合法经营资质的金融机构进行交易，从事外汇套期保值业务时，慎重选择公司交易人员，公司内部将会定期、不定期对实际交易合约签署及执行情况进行核查。

六、会计政策及核算原则

公司根据《企业会计准则第22号-金融工具确认和计量》《企业会计准则第24号-套期会计》《企业会计准则第37号-金融工具列报》等相关规定及其指南，对拟开展的外汇套期保值业务进行相应的核算处理，反映资产负债表及损益表相关项目。

七、监事会意见

公司开展汇率风险管理相关的金融衍生品交易业务，可以在一定程度上降低汇兑损益对公司的经营业绩带来的不确定性影响。本次开展外汇套期保值业务事项的决策程序符合法律法规及规范性文件的相关规定，不影响公司日常经营业务的开展，符合公司和全体股东的利益。因此同意公司在批准额度范围内开展外汇套期保值业务。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-043

上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于

2024年度“提质增效重回报”行动方案评估报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

为贯彻《国务院关于加强监管防范风险推动资本市场高质量发展的若干意见》（国发〔2024〕10号），落实中国证监会《上市公司监管指引第10号一一市值管理》要求，积极响应上海证券交易所《关于开展沪市公司“提质增效重回报”专项行动的倡议》，推动公司高质量发展，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2024年7月18日在上海证券交易所网站披露了2024年度“提质增效重回报”行动方案（以下简称“行动方案”）。

自行动方案发布以来，公司积极开展和落实相关工作。现将行动方案的实施进展及评估情况报告如下：

一、聚焦经营主业，持续提升核心竞争力

2024年，公司业务目前80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，在下游客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运营阶段全生命周期的产品和服务。而公司这些核心业务的布局，围绕微污染控制技术、复杂工艺控制技术、超高纯度流体控制技术等，通过数年完成了覆盖核心用户全生命周期的产品和服务组合。该组合有助于公司在半导体产业不同周期阶段，都可以有较平稳的营收和发展。

2024年公司新增订单总额为55.77亿元，其中5年以上长期订单总额为1.17亿元。在除去大宗气站、TGM、TCM等电子材料及专项服务的长交期订单的影响后，2024年新签订单与2023年相比实现了17.88%的增长。2024年新增订单中来自集成电路行业的订单额占比达84.55%，其中服务于12英寸集成电路客户占比达88.46%，且主要为产业的一线用户，包括中芯国际、华虹公司、上海华力、长鑫科技、长江存储、北电集成、燕东微、士兰微、润鹏半导体、H系等。

报告期内，公司实现收入36.05亿元，较去年同期增长14.40%，息税折旧及摊销前利润（EBITDA）3.86亿元。公司收入中泛半导体占比95.41%，集成电路占总收入的比重为85.98%，集成电路中用户为12寸晶圆厂的占比83.77%。报告期内公司的经营性现金流得到改善。近年现金流为负主要系叠加了研发高投入、长交期规模备货、在地化供应链建设、业务十倍级别扩大、不同用户不同工艺验机等现金流高流出。随着公司产品逐渐通过验证并形成批量销售、持续的在地化供应链建设取得成效，最大的平台级别的研发高投入趋缓，电子材料类现金流业务占比提升，未来公司经营性现金流将持续得到改善。

二、加大研发投入，强化技术储备优势

公司积累了深厚的技术储备，始终沿着国内先进制造业的发展方向，持续高水平的研发投入，追踪最新的技术趋势和客户需求进行产品开发和优化。

系统集成及支持设备方面，公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，公司工艺水平已能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。公司在高纯工艺系统领域已经形成从研发、设计、制造到完整供应链的较强竞争优势。

制程设备方面，公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时还可以避免兆声波的高成本。公司12英寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆高端清洗设备市场的竞争，公司高阶湿法设备多工艺已通过验证并交付，是国内能提供到28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商，在更先进节点也取得部分工艺订单。

电子材料和零部件方面，公司为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，能够为用户提供至少15年的高纯大宗气体供应，目前公司已经建成两座国产化的12英寸晶圆大宗气体供应工厂，并且为客户提供服务。

截至报告期末，集团累计申请专利845件（其中发明专利350件），已授权专利577件（其中发明专利182件），软件著作权185件，注册商标152件。公司技术实力为公司的发展提供了坚实的后盾，是公司市场竞争力进一步提升的重要保障。

三、重视投资者利益，践行投资者回报

公司高度重视投资者回报，致力于以良好的经营业绩为股东创造持续稳定的投资回报，坚持稳定、持续、科学的分红理念与投资者分享经营发展成果。自2017年上市以来，累计现金分红2.15亿元，同时公司积极实施股份回购方案，截至2024年末，已累计使用自有资金11,399.40万元回购公司股份395.326万股，进一步提振市场信心，维护公司投资价值。2024年度公司拟每10股派发现金红利0.5元（含税），合计拟派发现金红利1,901.50万元（含税），利润分配方案以实际权益分派公告为准。

未来，公司将继续秉持以投资者为本的理念，牢固树立回报股东意识，积极提升投资者回报能力和水平。在充分考虑公司发展阶段、经营情况、盈利水平以及资本开支等因素的基础上，充分借鉴优秀上市公司实践，努力为股东提供合理回报。

四、提升信息披露质量，加强与投资者沟通

公司始终秉持严谨、稳重的态度，严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《上海证券交易所股票上市规则》等相关法律法规和规范性文件，确保披露信息的真实、准确、完整，信息披露的及时性和公平性。公司亦致力于提升信息披露的易读性和有效性，以便投资者能够更便捷地了解公司的经营情况，从而增强公司的信息透明度。

2024年，公司紧密围绕投资者需求，结合行业特性，对信息披露内容进行优化，以确保高质量地推进信息披露相关工作。同时，公司通过股东会、投资者邮箱、上证e互动平台、投资者热线等多种渠道，加强与投资者的双向沟通交流。2024年公司组织召开了2023年度业绩说明会暨分红说明会、2024年半年度暨第三季度业绩说明会，以便投资者能够更全面地了解公司所处的行业环境、竞争格局、经营业绩及战略规划等信息，从而进一步促进公司与投资者之间建立长期、稳定的信赖关系。

五、坚持规范运作，持续提升治理水平

公司按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》《上海证券交易所股票上市规则》和中国证监会颁发的有关法规的规定，并结合公司实际情况，建立了由股东会、董事会、监事会和经理层组成的权责明确、相互制衡的公司治理架构。公司董事会设立了战略委员会、审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会，并制定了各项议事规则和管理制度。

公司高度重视独立董事监督职能，于2023年底修订了《独立董事工作制度》，并于2024年正式运行独立董事专门工作会议，保障独立董事参与公司治理和监督的权利。

2024年，公司共召开1次年度股东会、3次临时股东会，股东会审议议案均获表决通过；组织召开了12次董事会，11次监事会，对定期报告、利润分配、股权激励、股份回购等多项重大事项作出科学决策。公司董事、监事、独立董事工作勤勉尽责，公司经理层等高级管理人员严格按照董事会授权忠实履行职责，较好地维护了公司利益，有效地保证了公司治理的规范运作。

未来，公司将持续推进与评估“提质增效重回报”行动相关工作，继续努力通过稳健的经营、规范的公司治理、积极的投资者回报，切实履行上市公司的责任和义务，推动公司高质量发展，共同促进资本市场持续平稳健康发展。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-046

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于回购注销部分限制性股票

减少注册资本通知债权人的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）回购注销第四期股权激励计划部分限制性股票的相关议案，已经2025年4月27日召开的公司第五届董事会第十二次会议审议通过，详见2025年4月29日刊登于上海证券交易所网站的相关公告。根据回购注销议案，公司将回购第四期股权激励计划中68.04万股限制性股票并向中国证券登记结算有限责任公司上海分公司申请注销该部分股票。本次回购注销完成后，公司总股本将减少68.04万股，公司注册资本也相应减少68.04万元。

公司本次回购注销部分股权激励限制性股票将导致注册资本减少，根据《中华人民共和国公司法》等相关法律法规的规定，公司特此通知债权人，债权人自接到通知之日起三十日内，未接到通知的自公告之日起四十五日内，有权要求公司清偿债务或者提供相应的担保。债权人未在规定期限内行使上述权利的，本次回购注销将按法定程序继续实施。公司债权人如要求公司清偿债务或提供相应担保的，应根据《中华人民共和国公司法》等法律法规的有关规定向公司提出书面要求，并随附有关证明文件。

债权申报所需材料：公司债权人可持证明债权债务关系存在的合同、协议及其他凭证的原件及复印件到公司申报债权。债权人为法人的，需同时携带法人营业执照副本原件及复印件、法定代表人身份证明文件；委托他人申报的，除上述文件外，还需携带法定代表人授权委托书和代理人有效身份证的原件及复印件。债权人为自然人的，需同时携带有效身份证的原件及复印件；委托他人申报的，除上述文件外，还需携带授权委托书和代理人有效身份证件的原件及复印件。

债权申报具体方式如下：

1、债权申报登记地点：上海市闵行区紫海路170号

2、申报时间：2025年4月29日起45天内（工作日9:00-11:30：13:30-17:00，双休日及法定节假日除外）

3、以邮寄方式申报的，申报日以寄出邮戳日为准；

4、联系方式：

地址：上海市闵行区紫海路170号

联系人：公司证券部

邮箱：dong_ban@pncs.cn

电话：021-80238290

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-047

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于召开2024年度

暨2025年第一季度业绩说明会的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

会议召开时间：2025年05月21日 （星期三） 15:00-16:30

会议召开地点：上海证券交易所上证路演中心（网址：https://roadshow.sseinfo.com/）

会议召开方式：上证路演中心视频直播和网络互动

投资者可于2025年05月14日 （星期三） 至05月20日 （星期二）16:00前登录上证路演中心网站首页点击“提问预征集”栏目或通过公司邮箱dong_ban@pncs.cn进行提问。公司将在说明会上对投资者普遍关注的问题进行回答。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）已于2025年4月29日发布公司2024年度报告，为便于广大投资者更全面深入地了解公司2024年度经营成果、财务状况，公司计划于2025年05月21日（星期三）15:00-16:30举行2024年度暨2025年第一季度业绩说明会，就投资者关心的问题进行交流。

一、说明会类型

本次投资者说明会以视频结合网络互动召开，公司将针对2024年度的经营成果及财务指标的具体情况与投资者进行互动交流和沟通，在信息披露允许的范围内就投资者普遍关注的问题进行回答。

二、说明会召开的时间、地点

（一）会议召开时间：2025年05月21日（星期三）15:00-16:30

（二）会议召开地点：上证路演中心

（三）会议召开方式：上证路演中心视频直播和网络互动

三、参加人员

公司董事长兼总经理、独立董事、财务总监、董事会秘书。（如有特殊情况，参会人员将可能进行调整）

四、 投资者参加方式

（一）投资者可在2025年05月21日 （星期三） 15:00-16:30，通过互联网登录上证路演中心（https://roadshow.sseinfo.com/），在线参与本次业绩说明会，公司将及时回答投资者的提问。

（二）投资者可于2025年05月14日 （星期三） 至05月20日 （星期二）16:00前登录上证路演中心网站首页，点击“提问预征集”栏目（https://roadshow.sseinfo.com/preCallQa），根据活动时间，选中本次活动或通过公司邮箱dong_ban@pncs.cn向公司提问，公司将在说明会上对投资者普遍关注的问题进行回答。

五、联系人及咨询办法

公司董事会办公室

联系电话：021-80238290

电子邮箱：dong_ban@pncs.cn

六、其他事项

本次投资者说明会召开后，投资者可以通过上证路演中心（https://roadshow.sseinfo.com/）查看本次投资者说明会的召开情况及主要内容。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-033

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

第五届监事会第十一次会议决议公告

本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

一、监事会会议召开情况

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）监事会已于2025年4月16日向全体监事发出了第五届监事会第十一次会议通知，第五届监事会第十一次会议于2025年4月27日下午以现场结合通讯方式召开，会议由监事会主席张婷女士主持，全体监事均出席会议。会议的召开符合《中华人民共和国公司法》《公司章程》的规定，所作决议合法有效。

二、监事会会议审议情况

1、审议通过了《关于2024年年度报告及其摘要的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：本次年报的编制和审议程序符合法律法规、《公司章程》等规定；本次年报的内容和格式符合中国证监会和上海证券交易所的各项规定，所包含的信息能从各个方面真实地反映出公司2024年度的经营管理和财务状况；在本报告发布前，我们未发现参与年报编制和审议的人员有违反保密规定的行为。本议案尚需提交公司股东会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2024年年度报告》及摘要。

2、审议通过了《关于2024年度监事会工作报告的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

本议案尚需提交公司股东会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2024年度监事会工作报告》

3、审议通过了《关于2024年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为该专项报告如实反映了公司2024年度募集资金实际存放与使用情况，不存在募集资金存放与使用违规的情形。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2024年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。

4、审议通过了《关于2024年度内部控制评价报告的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司内部控制评价报告真实地反映了公司内部控制的实际情况，没有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。同意公司《2024年度内部控制评价报告》所作出的结论。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《2024年度内部控制评价报告》。

5、审议通过了《关于2024年度利润分配预案的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司2024年度利润分配预案符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》和《公司章程》中对于分红的相关规定，符合公司股利分配政策，体现了公司对投资者的回报，2024年度利润分配预案具备合法性、合规性及合理性，监事会对于2024年度利润分配预案无异议，同意将该议案提交2024年年度股东会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2024年度利润分配预案的公告》。

6、审议通过了《关于2025年度授信及担保额度预计的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司为全资及控股子公司提供担保符合相关法律法规的规定，有利于提高公司整体融资效率，有利于公司及子公司的经营发展，不会影响公司持续经营能力，不存在损害公司及股东利益的行为，同意公司及子公司向银行申请授信及办理相关担保的议案，同意将该议案提交股东会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2025年度授信及担保额度预计的公告》。

7、审议通过了《关于2024年度日常关联交易实际发生情况及2025年度日常关联交易预计的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司与关联方的日常关联交易为公司正常经营业务所需的交易，有助于公司日常经营业务的开展和执行，有利于公司的持续稳定经营。关联交易的定价政策和定价依据按照公开、公平、公正的一般商业原则确定，交易价格以市场公允价为原则，是完全的市场行为，没有影响公司的独立性，没有对公司持续经营能力产生影响。公司的主要业务或收入、利润来源不完全依赖该类关联交易。上述交易不对公司资产及损益情况构成重大影响，不存在损害公司及其他股东特别是中小股东利益的情形。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2024年日常关联交易实际发生情况及2025年日常关联交易预计的公告》。

8、审议通过《关于续聘公司2025年度审计机构的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：众华会计师事务所（特殊普通合伙）具有证券、期货等相关业务执业资格，具备多年为上市公司提供审计服务的经验与能力，能够为公司提供真实、公允的审计服务，满足公司2025年度审计工作的要求。公司审议续聘审计机构的程序合法合规，不存在损害公司和股东利益的情形。

本议案尚需提交公司股东会审议。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于续聘公司2025年度审计机构的公告》。

9、审议通过《关于第四期股权激励部分股票期权、限制性股票行权及解锁条件未成就的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经审核，监事会认为：公司2024年业绩未能达到第四期股权激励设定的业绩考核目标，第四期股权激励首次授予第三个行权期的股票期权、第四期股权激励首次授予第三个解锁期的限制性股票、第四期股权激励预留授予第二个行权期的股票期权、第四期股权激励预留授予第二个解锁期的限制性股票未达到行权/解锁条件，相应股票期权及限制性股票由公司另行审议回购/注销。本次股权激励相关事项审议及表决程序合法、合规，未损害公司及全体股东利益。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于第四期股权激励部分股票期权、限制性股票行权及解锁条件未成就的公告》。

10、审议通过《关于回购注销第三、四期股权激励计划中部分股票期权和限制性股票的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

公司本次回购/注销部分股票期权和限制性股票的数量确定符合公司《第三期股票期权与限制性股票激励计划》和《第四期股票期权与限制性股票激励计划》的相关规定，公司董事会审议回购/注销相关股票期权和限制性股票的程序符合《上市公司股权激励管理办法》等相关规定，公司监事会同意回购/注销不符合行权条件的股票期权和限制性股票。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于回购注销第三、四期股权激励计划中部分股票期权和限制性股票的公告》。

11、审议通过《关于2024年度计提信用减值、资产减值损失及核销资产的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经核查，监事会认为：公司本次计提信用减值、资产减值损失及核销资产的决策程序合法合规，符合《企业会计准则》及公司相关制度的规定，符合公司实际情况，同意本次计提信用减值、资产减值损失及核销资产。

详情请见同日在上海证券交易所网站上披露的《关于2024年度计提信用减值、资产减值损失及核销资产的公告》。

12、审议通过了《2025年第一季度报告》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经核查，监事会认为：公司2025年第一季度报告的编制和审议程序规范合法，符合法律法规、公司章程和公司内部管理制度的各项规定，内容真实、准确、完整；公司2025年第一季度报告的内容和格式符合中国证监会和上海证券交易所的各项规定，所包含的信息真实客观反映了公司本年度的财务状况和经营成果；未发现参与2025年第一季度报告编制和审议的人员存在违反保密规定的行为。

13、审议通过了《关于2025年度外汇套期保值业务计划的议案》

表决结果：同意3票，反对0票，弃权0票。

经核查，监事会认为：公司开展汇率风险管理相关的金融衍生品交易业务，可以在一定程度上降低汇兑损益对公司的经营业绩带来的不确定影响。本次开展外汇套期保值业务事项的决策程序符合法律法规及规范性文件的相关规定，不影响公司日常经营业务的开展，符合公司和全体股东的利益。因此同意公司在批准额度范围内开展外汇套期保值业务。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司监事会

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-034

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于2024年度利润分配预案的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 每股分配比例：每股派发现金红利0.05元（含税）

● 本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，具体日期将在权益分派实施公告中明确。若在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动，拟维持现金分红总额不变，相应调整每股分配比例，并将在相关公告中披露。

● 公司未触及《上海证券交易所股票上市规则》（以下简称《股票上市规则》）第9.8.1条第一款第（八）项规定的可能被实施其他风险警示的情形。

一、利润分配预案内容

（一）利润分配预案的具体内容

经众华会计师事务所（特殊普通合伙）审计，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）2024年度归属于上市公司股东的净利润为23,597,485.84元，母公司累计未分配利润为930,535,641.43元。经董事会决议，2024年度利润分配预案如下：

公司2024年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数分配利润，向全体股东每股派发现金红利0.05元（含税）。截至公告披露日，公司总股本383,644,650股（其中公司回购账户3,343,941股不参与利润分配），合计拟派发现金红利19,015,035.45元（含税），占归属于上市公司股东的净利润比例为80.58%。

如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因可转债转股、回购股份、股权激励授予股份回购注销、重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持现金分红总额不变，相应调整每股现金分配比例，并将在相关公告中披露。

本次利润分配预案尚需提交2024年年度股东会审议。

（二）是否可能触及其他风险警示情形

■

注：公司2022年、2023年回购股份已于2025年2月12日注销完毕，详见公司2025年2月12日披露于上海证券交易所网站的《关于注销部分已回购股份的实施公告》（公告编号：2025-014）。

二、公司履行的决策程序

（一）董事会会议的召开、审议和表决情况

公司于2025年4月27日召开第五届董事会第十二次会议，审议通过了此次利润分配预案，同意本次利润分配预案并同意将该议案提交公司2024年年度股东会审议。

（二）监事会意见

公司2024年度利润分配预案符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》和《公司章程》中对于分红的相关规定，符合公司股利分配政策，体现了公司对投资者的回报，2024年度利润分配预案具备合法性、合规性及合理性。监事会对于2024年度利润分配预案无异议。

三、相关风险提示

1、本次利润分配预案结合了公司发展阶段、未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。

2、本次利润分配预案尚需提交2024年度股东会批准，敬请广大投资者注意投资风险。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-036

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于续聘公司2025年度审计机构的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 拟聘任会计师事务所名称：众华会计师事务所（特殊普通合伙）

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年4月27日召开第五届董事会第十二次会议及第五届监事会第十一次会议，审议通过了《关于续聘公司2025年度审计机构的议案》，同意续聘众华会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2025年度财务审计机构和内部控制审计机构，本议案尚需提交公司股东会审议，现将有关事项公告如下：

一、拟聘任会计师事务所的基本情况

（一）机构信息

1、基本信息

众华会计师事务所（特殊普通合伙）的前身是1985年成立的上海社科院会计师事务所，于2013年经财政部等部门批准转制成为特殊普通合伙企业。众华会计师事务所（特殊普通合伙）注册地址为上海市嘉定工业区叶城路1630号5幢1088室。众华会计师事务所（特殊普通合伙）自1993年起从事证券服务业务，具有丰富的证券服务业务经验。

2、人员信息

众华会计师事务所（特殊普通合伙）首席合伙人为陆士敏先生，2024年末合伙人人数为68人，注册会计师共359人，其中签署过证券服务业务审计报告的注册会计师超过180人。

3、业务规模

众华会计师事务所（特殊普通合伙）2024年经审计的业务收入总额为人民币56,893.21万元，审计业务收入为人民币47,281.44万元，证券业务收入为人民币16,684.46万元。

众华会计师事务所（特殊普通合伙）上年度（2024年）上市公司审计客户数量73家，审计收费总额为人民币9,193.46万元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）提供服务的上市公司中主要行业为制造业，房地产业、信息传输、软件和信息技术服务业等。众华会计师事务所（特殊普通合伙）提供审计服务的上市公司中与至纯科技同行业客户共4家。

4、投资者保护能力

按照相关法律法规的规定，众华会计师事务所（特殊普通合伙）购买职业保险累计赔偿限额20,000万元，能够覆盖因审计失败导致的民事赔偿责任，符合相关规定。

近三年在执业行为相关民事诉讼中承担民事责任的情况：

宁波圣莱达电器股份有限公司证券虚假陈述责任纠纷案：因圣莱达虚假陈述，浙江省高级人民法院判决众华会计师事务所（特殊普通合伙）需与圣莱达承担连带赔偿责任，宁波市中级人民法院在最新一案中判决众华会计师事务所（特殊普通合伙）对圣莱达的偿付义务在40%范围内承担连带赔偿责任。截至2024年12月31日，涉及众华会计师事务所（特殊普通合伙）的赔偿已履行完毕。

5、诚信记录

众华会计师事务所（特殊普通合伙）最近三年受到行政处罚2次、行政监管措施4次、自律监管措施3次，未受到刑事处罚和纪律处分。25名从业人员近三年因执业行为受到行政处罚3次、行政监管措施12次、自律监管措施3次，未有从业人员受到刑事处罚和纪律处分。

（二）项目成员信息

1、基本信息

（1）项目合伙人：孙红艳，2006年成为注册会计师，2006年开始从事上市公司审计工作，2006年开始在众华会计师事务所（特殊普通合伙）执业，2021年开始为本公司提供审计服务。近三年签署的上市公司审计报告有2家。

（2）签字注册会计师：朱鼎臣，2019年成为注册会计师，2016年开始从事上市公司审计工作，2019年开始在众华会计师事务所（特殊普通合伙）执业，2025年开始为本公司提供审计服务。

（3）项目质量复核合伙人：黄恺，2007年成为注册会计师，2007年开始从事上市公司审计工作，2005年开始在众华会计师事务所（特殊普通合伙）执业，2025年开始为本公司提供审计服务。近三年复核的上市公司审计报告有1家。

2、诚信记录

项目合伙人近三年因执业行为收到警示函1次，签字注册会计师近三年未签署过上市公司、未受过处罚。除此之外，项目合伙人、签字注册会计师、项目质量控制复核人近三年无执业行为受到刑事处罚，无受到证监会及其派出机构、行业主管部门的行政处罚、监督管理措施，无受到证券交易场所、行业协会等自律组织的自律监管措施、纪律处分等情况。

3、独立性

拟签字注册会计师孙红艳、朱鼎臣，质量复核人黄恺符合独立性要求，不存在可能影响独立性的情形。

4、审计收费

该项费用系基于众华提供审计服务所投入的专业服务，综合考虑项目团队专业能力和经验以及投入项目的工作时间协商确定。

2024年度审计费用为人民币132.50万元（其中年度财务报表审计费用106万元，内控审计费用26.50万元），较上一年审计费用上涨了21.20万元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）的审计服务收费是按照业务的责任轻重、繁简程度、工作要求等因素确定，审计费用上涨的原因为审计范围增加。

公司董事会提请股东会授权公司董事会及其授权人士根据2025年度具体审计要求和审计范围与众华协商确定相关审计费用。

二、拟续聘会计师事务所履行的程序

（一）审计委员会的履职情况

公司董事会审计委员会已对众华会计师事务所（特殊普通合伙）的专业胜任能力、投资者保护能力、独立性和诚信状况等进行了充分了解和审查，认为众华会计师事务所（特殊普通合伙）在对公司2024年度财务报告进行审计的过程中，严格遵照中国注册会计师审计准则的规定，履行了必要的审计程序，收集了适当、充分的审计证据，审计结论符合公司的实际情况。公司拟续聘众华会计师事务所（特殊普通合伙）的计划不存在损害公司、全体股东特别是中小股东的合法权益。

（二）董事会的审议和表决情况

公司第五届董事会第十二次会议以5票同意，0票反对，0票弃权审议通过了《关于续聘公司2025年度审计机构的议案》，同意续聘众华会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2025年度审计机构。本事项尚需提交公司股东会审议。

（三）监事会的审议和表决情况

公司第五届监事会第十一次会议以3票同意，0票反对，0票弃权审议通过了《关于续聘公司2025年度审计机构的议案》，监事会认为：众华会计师事务所（特殊普通合伙）具有证券、期货等相关业务执业资格，具备多年为上市公司提供审计服务的经验与能力，能够为公司提供真实、公允的审计服务，满足公司2025年度审计工作的要求。公司审议续聘审计机构的程序合法合规，不存在损害公司和股东利益的情形。

（四）生效日期

本次聘任会计师事务所事项尚需提交公司股东会审议，并自公司股东会审议通过之日起生效。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-038

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于2024年度日常关联交易实际发生情况

及2025年度日常关联交易预计的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 本次2024年度日常关联交易实际发生情况及2025年度日常关联交易预计事项已经公司第五届董事会第十二次会议审议通过，因关联交易金额在董事会审批范围内，无需提交股东大会审议

● 公司与关联方产生的日常关联交易是基于正常业务往来，遵循了公开、公平、公正的原则，双方价格均按照市场公允价计算，不会对关联方形成依赖，对公司的独立性没有影响。

一、日常关联交易基本情况

（一）日常关联交易履行的审议程序

公司第五届董事会第十二次会议审议通过《关于2024年度日常关联交易实际发生情况及2025年度日常关联交易预计的议案》，关联董事蒋渊女士回避表决。公司独立董事召开专门会议，发表了同意的意见。该议案无需提交公司股东会审议。

（二）2024年度日常关联交易的预计和执行情况

■

公司2024年年度关联交易遵循了公平、公正的市场原则与关联人开展业务合作，交易价格参照市场价格确定，交易过程遵循了公平合理的原则，价格公允合理，未损害公司及中小股东的利益，公司对2024年度日常关联交易预计进行了测算，但由于市场、客户需求及生产经营实际情况等因素影响，使得关联交易预计与实际发生情况存在了一定差异，上述2024年度实际发生额已经董事会审议，独立董事召开专门会议发表了同意的意见。

（三）2025年度日常关联交易预计金额和类别

■

二、关联方介绍和关联关系

（一）关联人基本情况及关联关系

钛珂科技（上海）有限公司

（曾用名：上海江尚实业有限公司）

企业类型：有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）

法定代表人：陈盛云

注册资本：16,500万元人民币

成立日期：2015年9月10日

注册地址：上海市闵行区紫海路88号

经营范围：一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；创业空间服务；企业管理；物联网技术研发；数字技术服务；企业管理咨询；信息技术咨询服务；非居住房地产租赁；会议及展览服务；食品销售（仅销售预包装食品）；互联网销售（除销售需要许可的商品）；物业管理；停车场服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

钛珂科技（上海）有限公司的执行董事兼总经理陈盛云先生为公司实际控制人蒋渊女士的配偶，与公司构成关联关系。

主要财务指标：该公司截至2024年12月31日资产总额16,961.71万元，负债总额956.97万元，净资产16,004.74万元，2024年度实现营业收入788.14万元，净利润为-199.59万元。（以上数据未经审计）

（二）关联人履约能力分析

公司认为上述各关联人财务及资信状况良好，具有良好的履约能力，在关联交易中均能履行合同约定。

三、关联交易的主要内容和定价政策

公司与上述关联方的交易主要为租赁办公场地等。公司与关联方之间发生的关联交易，均在平等自愿、公平公允的原则下进行，关联交易定价公允，不存在损害公司及股东，特别是中小股东利益的情形。

公司董事会授权公司管理层根据实际经营情况需要，在关联交易预计额度内办理相关具体事宜及签署相关协议和文件。

四、关联交易目的和对上市公司的影响

公司与关联方的日常关联交易为公司正常经营业务所需的交易，有助于公司日常经营业务的开展和执行，有利于公司的持续稳定经营。该等关联交易的定价政策和定价依据按照公开、公平、公正的一般商业原则确定，交易价格以市场公允价为原则，是完全的市场行为，没有影响公司的独立性，没有对公司持续经营能力产生影响。公司的主要业务或收入、利润来源不依赖该类关联交易。上述交易不对公司资产及损益情况构成重大影响，不存在损害公司及其他股东特别是中小股东利益的情形。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-035

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

关于2025年度授信及担保额度预计的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 被担保人名称：上海至纯系统集成有限公司、珐成制药系统工程（上海）有限公司、上海波汇信息科技有限公司、合肥至汇半导体应用技术有限公司、广州市浩鑫洁净工程技术有限公司、上海至纯半导体设备有限公司、上海智临精密制造有限公司、上海至嘉半导体气体有限公司、上海砺致科技有限公司、江苏至纯系统集成有限公司、江苏启微半导体设备有限公司、合肥至微半导体有限公司、上海至纯电子材料有限公司、至微半导体（上海）有限公司、上海泛楒立光电设备有限公司、浙江至纯精密制造有限公司、上海艾璞思精密设备有限公司、上海波汇科技有限公司、天津至汇光电技术有限公司

● 担保额度预计及已实际为其提供的担保余额：公司2024年度为合并报表范围内子公司向银行等机构融资提供担保额度预计为850,000万元，截至公告披露日公司对全资及控股子公司提供的实际担保余额为309,116.72万元。公司预计2025年度为子公司担保总额度为850,000万元。

● 本次担保无反担保

● 无逾期对外担保情况

一、担保情况概述

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”“至纯科技”）于2025年4月27日召开第五届董事会第十二次会议，审议通过了《关于2025年度授信及担保额度预计的议案》，该议案尚需提交公司股东会审议。

为保证公司发展及生产经营需要，公司及子公司将根据实际需要向商业银行及非银行金融机构申请综合授信，2025年度预计综合授信总额不超过人民币130亿元，此金额为各商业银行及非银行金融机构授予公司总的融资最高额度，不代表公司实际融资金额。综合授信品种包括但不限于：贷款/抵押贷款、银行保函、备用信用证、贸易信用证、贴现、汇票承兑、融资租赁等。授信期限内，授信额度可循环使用。

为提高子公司运作效率，公司拟为下属子公司提供担保总额不超过85亿元，其中为资产负债率超过70%的子公司担保额度预计为79.50亿元，为资产负债率低于70%的子公司担保额度预计为5.50亿元。同时公司及子公司拟通过自有房产及土地等资产抵押进行融资业务。

上述担保事项是基于对目前业务情况的预计。根据可能的变化，由公司管理层在上述预计担保额度内，根据实际情况审批并调剂具体的融资担保事宜。调剂方式为被担保方为资产负债率低于70%的控股子公司的担保额度可调剂给其他资产负债率低于70%的控股子公司使用，资产负债率高于70%的控股子公司的担保额度可调剂给其他资产负债率高于70%的控股子公司使用。调剂范围为公司所有全资及控股子公司（不限于下表中的子公司，包括期间新增子公司）。

被担保子公司预计担保额如下：

■

上述向银行申请综合授信及担保事项尚需提交股东会审议。担保额度及股东会授权期限自2024年年度股东会审议通过之日起至下一年度股东会审议该事项时止。

二、被担保人基本情况

本公司全资及控股子公司基本情况详见附表。

三、担保协议的主要内容

公司将在担保发生时在核定额度内签署担保协议。

四、董事会意见

第五届董事会第十二次会议审议通过《关于2025年度授信及担保额度预计的议案》，该事项有利于提高公司整体融资效率，满足公司各业务板块日常经营资金需求。公司各子公司生产经营稳定，无逾期担保事项，担保风险可控，不存在损害公司及股东利益的情形。同时，为提高工作效率、及时办理相关业务，提请股东会授权公司董事会在上述额度范围内授权董事长或其指定代理人代表公司办理相关融资申请事宜，并签署相应文件。担保额度及股东会授权期限自2024年年度股东会审议通过之日起至下一年度股东会审议该事项时止。

五、公司累计对外担保数量及逾期担保数量

截至该事项董事会决议日，公司及其控股子公司无对外担保；截至公告披露日，公司对全资及控股子公司提供的实际担保余额为309,116.72万元，占公司最近一期经审计净资产63.99%，无逾期担保。

特此公告。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月29日

附表：

被担保人基本情况表

单位：万元

■

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-037

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

2024年年度募集资金存放与实际使用情况的

专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、上海证券交易所《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》及相关格式指引等规定，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“本公司”）编制的2024年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告如下：

一、募集资金基本情况

2020年11月12日中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020号）的核准，公司非公开发行不超过78,005,377股新股，截至2020年12月23日，公司本次非公开发行人民币普通股47,749,661股，发行价格28.79元/股，实际募集资金总额为人民币1,374,712,740.19元，扣除各项不含税发行费用人民币20,184,669.49元后，募集资金净额为人民币1,354,528,070.70元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2020年12月23日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众会字（2020）第8380号]。

截至2024年12月31日，本公司募集资金使用及结存情况如下：

■

二、募集资金管理情况

为规范公司募集资金管理，保护中小投资者的权益，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》（以下简称“《募集资金管理制度》”），对募集资金的存放、使用及监督等方面均做出了具体明确的规定。

根据中国证监会《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法律、法规及公司《募集资金管理制度》的规定，公司于2020年12月29日分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行、国泰君安证券股份有限公司签订了《募集资金专户存储三方监管协议》（以下简称“《三方监管协议》”），明确各方的权利和义务。上述《三方监管协议》与上海证券交易所公布的相关范本不存在重大差异。公司严格按照《三方监管协议》以及相关法律法规的规定存放、使用和管理募集资金，并履行了相关义务，未发生违法违规的情形。

募集资金专户的具体情况如下表所示：

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注1：公司于2023年12月25日召开2023年第三次临时股东大会审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，并已重新签订三方监管协议，变更后新项目的开户行为兴业银行股份有限公司上海卢湾支行，专户账号为216120100100259971。

注2：公司于2022年4月12日公告，经公司第四届董事会第十六次会议、第四届监事会第十五次会议审议通过将本次发行“光电子材料及器件制造基地建设项目”的实施主体由天津波汇、科谱半导体两个实施主体变更为由天津波汇实施，该募投项目的实施内容、实施方案均保持不变。变更后募集资金存放于上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-天津波汇账户中。科谱半导体后续已于2022年12月完成出售。

三、本年度募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目的资金使用情况

报告期内，募集资金承诺投资项目、承诺投资总额无重大变化，具体详见附表1。

（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况

报告期内，公司未进行募集资金投资项目先期投入及置换。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况

2024年1月24日，公司召开第四届董事会第四十五次会议、第四届监事会第四十次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币30,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月，实际补充流动资金金额为30,000.00万元。截至2024年10月29日，公司已将上述用于暂时补充流动资金的募集资金30,000.00万元全部归还至公司募集资金专用账户。

公司于2024年5月7日分别召开第五届董事会第三次会议、第五届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》。将闲置募集资金中不超过人民币12,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过6个月，截至2024年11月6日，公司已将上述用于暂时补充流动资金的募集资金12,000.00万元全部归还至公司募集资金专用账户。

2024年10月29日公司召开第五届董事会第九次会议及第五届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币29,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

公司不存在用闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品的情况。

（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。

（七）节余募集资金使用情况

公司于2024年12月5日召开第五届董事会第十次会议、第五届监事会第九次会议审议通过《关于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》。公司结合2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“光电子材料及器件制造基地建设项目”节余的募集资金永久补充流动资金。鉴于公司募集资金投资项目“光电子材料及器件制造基地建设项目”已建设完毕并达到预定可使用状态，为了提高资金使用效率，公司已将节余募集资金3,096.77万元（实际从募集资金专户转出的金额与议案审议金额之间的差额为结息所致）永久补充流动资金，用于公司日常生产经营活动。

四、变更募投项目的资金使用情况

2023年12月7日召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第三十八次会议审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》。公司结合2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。该募投项目变更事项已经2023年第三次临时股东大会审议通过。具体变更情况详见附表2。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已按《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关法律法规的规定及时、真实、准确、完整地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务，公司募集资金使用及披露不存在重大问题。

六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见

会计师事务所认为，至纯科技的专项报告在所有重大方面按照中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、上海证券交易所《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》及相关格式指引等规定编制，反映了至纯科技2024年度的募集资金存放与实际使用情况。公司对募集资金进行专户储存和专项使用及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。

七、保荐人或独立财务顾问对公司年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见

经核查，保荐机构认为，公司2024年度募集资金存放和使用情况符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上，保荐机构对公司2024年度募集资金存放和使用情况无异议。

附表1：募集资金使用情况对照表（2020年非公开发行股票）

附表2：变更募集资金投资项目情况表

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会

2025年4月27日

附表1：

募集资金使用情况对照表

（2020年非公开发行股票）

单位：万元

■

注1：“本年度投入募集资金总额”包括募集资金到账后“本年度投入金额”及剩余募集资金永久补充流动资金金额。

注2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。

注3：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法应与承诺效益的计算口径、计算方法一致。

注4：2023年12月7日经公司第四届董事会第四十二次会议审议通过，“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，调整后的投资总额为截止至变更时实际发生的投资金额。

注5：“半导体湿法清洗设备扩产项目”系实施主体江苏启微新增产能项目，无法单独核算效益。目前该项目已建设完毕，但由于2022年后国际贸易摩擦和地缘政治等因素，公司重点服务的下游领域扩产计划推迟，导致公司半导体湿法清洗设备新签订单及设备交付进度不达预期，项目实施主体江苏启微总体收入及利润均未达到预期水平。

注6：“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额与剩余募集资金永久补充流动资金之间的差异为利息收入所致。

注7：由于项目变更，调整后的投资总额合计与募集资金净额135,571.27万元的差异为利息收入所致。

注8：由于项目投产时间较短，暂无法计算效益情况。 附表2：

变更募集资金投资项目情况表

单位：万元

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