沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年半年度报告摘要

公司代码：688037 公司简称：芯源微

第一节 重要提示

1.1本半年度报告摘要来自半年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）网站仔细阅读半年度报告全文。

1.2重大风险提示

公司已在本报告中详细阐述公司在生产经营过程中可能面临的各种风险，敬请查阅“第三节 管理层讨论与分析”之“风险因素”。敬请投资者注意投资风险。

1.3本公司董事会及董事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

1.4董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

不适用

1.5是否存在公司治理特殊安排等重要事项

□适用 √不适用

第二节 公司基本情况

2.1公司简介

公司股票简况

■

公司存托凭证简况

□适用 √不适用

联系人和联系方式

■

2.2主要财务数据

单位：元 币种：人民币

■

2.3前10名股东持股情况表

单位: 股

■

2.4前十名境内存托凭证持有人情况表

□适用 √不适用

2.5截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

□适用 √不适用

2.6截至报告期末的优先股股东总数、前10名优先股股东情况表

□适用 √不适用

2.7控股股东或实际控制人变更情况

√适用 □不适用

■

2.8在半年度报告批准报出日存续的债券情况

□适用 √不适用

第三节 重要事项

公司应当根据重要性原则，说明报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项

□适用 √不适用

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2025-059

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

第三届董事会第三次会议决议公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

一、董事会会议召开情况

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）于2025年8月28日在公司会议室以现场和通讯相结合的方式召开了第三届董事会第三次会议（以下简称“本次会议”）。本次会议的通知于2025年8月18日送达全体董事。会议应出席董事9人，实际出席董事9人，会议由董事长董博宇先生主持。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》的规定，会议决议合法、有效。

二、董事会会议审议情况

本次会议由董事长董博宇先生主持，经与会董事审议，形成决议如下：

（一）审议通过《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》

鉴于公司2024年年度利润分配方案已实施完成，根据《上市公司股权激励管理办法》、公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》及公司2023年第一次临时股东大会的授权，公司董事会对限制性股票的授予价格（含预留）作出调整，同意2023年限制性股票激励计划限制性股票的授予价格（含预留）由34.34元/股调整为34.23元/股。

本议案已经董事会薪酬与考核委员会审议通过。

具体内容详见同日刊载于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的公告》（公告编号：2025-060）。

董事王玉宝为2023年限制性股票激励计划的激励对象，系关联董事，已对本议案回避表决。

表决结果：8票同意，0票反对，0票弃权。

（二）审议通过《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》

鉴于公司2023年限制性股票激励计划首次授予的激励对象中有5名激励对象离职，根据公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，作废处理限制性股票3.5525万股。

本议案已经董事会薪酬与考核委员会审议通过。

具体内容详见同日刊载于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的公告》（公告编号：2025-061）。

表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权。

（三）审议通过《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》

根据公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》规定的归属条件，董事会认为公司2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为34.945万股，同意公司按照激励计划相关规定为符合条件的152名激励对象办理归属相关事宜。

本议案已经董事会薪酬与考核委员会审议通过。

具体内容同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的公告》（公告编号：2025-062）。

董事王玉宝为2023年限制性股票激励计划的激励对象，系关联董事，已对本议案回避表决。

表决结果：8票同意，0票反对，0票弃权。

（四）审议通过《关于公司2025年半年度报告及摘要的议案》

经审核，董事会认为：公司2025年半年度报告及摘要的编制和审议程序符合法律、行政法规、公司章程和公司内部管理制度的各项规定；半年度报告编制过程中，未发现公司参与半年度报告及摘要编制和审议的人员有违反保密规定的行为。公司严格按照上市公司相关财务制度规范运作，2025年半年度报告真实、客观、全面地反映了公司报告期内的财务状况和经营成果。董事会全体成员保证公司2025年半年度报告及摘要所披露的信息真实、准确、完整，承诺其中不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性、完整性承担个别和连带的法律责任。

本议案已经董事会审计委员会审议通过。

具体内容同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年半年度报告》《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年半年度报告摘要》。

表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权。

（五）审议通过《关于审议〈2025年半年度募集资金存放与使用情况专项报告〉的议案》

经审核，董事会认为：公司2025年半年度募集资金存放与使用情况符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关法律法规及公司《募集资金管理制度》的规定。公司对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，也不存在违规使用募集资金的情形。

本议案已经董事会审计委员会审议通过。

具体内容同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年半年度募集资金存放与使用情况专项报告》（公告编号：2025-063）。

表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权。

（六）审议通过《关于〈2025年度“提质增效重回报”行动方案〉的半年度评估报告的议案》

为践行以“投资者为本”的发展理念，维护公司全体股东利益，基于对公司未来发展前景的信心、对公司价值的认可以及切实履行社会责任，公司于2025年4月26日发布了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年度“提质增效重回报”行动方案》（以下简称“《行动方案》”）。为进一步落实有关工作安排，切实维护全体股东利益，公司对《行动方案》半年度的执行情况进行全面评估并编制了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于〈2025年度“提质增效重回报”行动方案〉的半年度评估报告》。

本议案已经董事会战略与可持续发展委员会审议通过。

具体内容同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年度“提质增效重回报”行动方案的半年度评估报告》。

表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权。

（七）审议通过《关于会计政策、会计估计变更的议案》

公司本次会计政策、会计估计变更是根据《企业会计准则第20号一企业合并》《企业会计准则第33号一合并财务报表》以及《企业会计准则第28号一一会计政策、会计估计变更和差错更正》的相关规定，并结合北方华创科技集团股份有限公司统一会计政策、会计估计的要求进行的合理变更，执行变更后的会计政策、会计估计能够提升集团合并财务信息的可比性和可靠性，此次变更不涉及对公司已披露的财务报告进行追溯调整，也不会对公司以往各年度财务状况和经营成果产生影响，不存在损害公司及股东、特别是中小股东利益的情况。因此，公司董事会同意本次会计政策、会计估计变更事项。

本议案已经董事会审计委员会审议通过。

具体内容同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于会计政策、会计估计变更的公告》（公告编号：2025-064）。

表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权。

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2025年8月29日

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2025-063

沈阳芯源微电子设备股份有限公司2025年

半年度募集资金存放与使用情况专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金的金额及到账情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335号）同意注册，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“本公司”、“公司”）向社会公开发行人民币普通股（A股）21,000,000股，每股面值为人民币1元，每股发行价为人民币26.97元，应募集资金总额为566,370,000.00元，根据有关规定扣除发行费用60,625,896.22元后，实际募集资金净额为505,744,103.78元。以上募集资金已于2019年12月10日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字[2019]8294号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号），公司于2022年6月向特定对象发行人民币普通股股票8,045,699股，每股面值1元，发行价格为人民币124.29元/股，募集资金总额为人民币999,999,928.71元，扣除不含税的发行费用人民币9,915,093.67元，实际募集资金净额为人民币990,084,835.04元。以上募集资金已于2022年6月8日到位，募集资金到位情况已由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具容诚验字[2022]110Z0008号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。

（二）募集资金本报告期使用金额及期末余额情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

2025年上半年度，本公司2019年首次公开发行股票募集资金使用情况为：对募集资金项目投入0.00元。2025年上半年度，公司使用募集资金0.00元，募集资金专用账户利息收入为2,728.11元，募集资金专用账户2025年6月30日余额合计为6,062,304.21元。具体明细如下：

单位：人民币元

■

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

2025年上半年度，本公司2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况为：对募集资金项目投入1,422,600.00元，其中：高端晶圆处理设备产业化项目（二期）1,422,600.00元。2025年上半年度，公司使用募集资金1,422,600.00元，支付银行手续费（不含增值税）32.70元，募集资金专用账户利息收入为359,145.90元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资收益1,636,624.68元，募集资金专用账户2025年6月30日余额合计为241,703,031.41元。具体明细如下：

单位：人民币元

■

二、募集资金管理情况

公司根据《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于2019年4月24日召开2019年第三次临时股东大会，审议通过了《关于制定〈募集资金管理办法〉的议案》，于2024年6月17日召开2023年年度股东大会，审议通过了《关于修订〈募集资金管理制度〉的议案》，于2025年6月23日召开2025年第二次临时股东大会，审议通过了《关于修订〈募集资金管理制度〉的议案》。《沈阳芯源微电子设备股份有限公司募集资金管理制度》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。

1、2019年首次公开发行股票募集资金

公司于2019年12月11日分别在中信银行沈阳和平支行（账号8112901012900643057）、中国建设银行沈阳城内支行（账号21050139000800001255）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110111）开设账户作为募集资金专项账户。2019年12月11日，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）签署《募集资金专户存储三方监管协议》。

2021年9月8日，公司因2021年年度向特定对象发行A股股票变更保荐机构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”）承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司监管指引第2号一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》的履行不存在问题。截至2024年12月31日，公司均严格按照该《募集资金专户存储三方监管协议》的规定存放和使用募集资金。

截至2025年6月30日，募集资金存储情况如下：

单位：人民币元

■

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

2022年6月7日，公司分别在平安银行沈阳分行（账号15912666666677）、中信银行沈阳南站支行（账号8112901011100849786）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110858）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月16日，分别与平安银行股份有限公司沈阳分行、中信银行股份有限公司沈阳分行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和保荐机构中金公司签署《募集资金专户存储三方监管协议》。

2022年6月7日，公司在招商银行上海自贸试验区临港新片区支行（账号121942302510107）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月27日，公司董事会同意使用募集资金25,000.00万元向全资子公司上海芯源微企业发展有限公司进行增资，用于实施募投项目“上海临港研发及产业化项目”。2022年7月27日，公司与全资子公司上海芯源微企业发展有限公司、保荐机构中金公司以及全资子公司募集资金专项账户开户银行（招商银行上海自贸试验区临港新片区支行）签订了《募集资金专户存储四方监管协议》。

上述《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》与证券交易所制定的《监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的履行不存在问题。截至2025年6月30日，公司均严格按照《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。

截至2025年6月30日，募集资金存储情况如下：

单位：人民币元

■

三、本报告期募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目的资金使用情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

截至2025年6月30日，本公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币38,731.60万元，具体使用情况详见附表1：2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

截至2025年6月30日，本公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币77,985.90万元，具体使用情况详见附表2：2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况对照表。

（二）募投项目先期投入及置换情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

在2019年首次公开发行股票募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入14,034,042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入389,400.00元，使用自筹资金支付发行费用人民币2,597,169.81元。

公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金17,020,611.81元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2020]110Z0064号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至2020年12月31日，上述自筹资金17,020,611.81元已用募集资金置换完毕。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

在2021年度向特定对象发行A股股票募集资金到位前，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为31,738,839.36元，其中对“上海临港研发及产业化”募集资金项目累计投入31,738,839.36元。

公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31,738,839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2022]110Z0153号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至2022年12月31日，上述自筹资金31,738,839.36元已用募集资金置换完毕。

（三）对闲置募集资金进行现金管理情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

截至2025年6月30日，公司使用2019年首次公开发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

公司于2023年6月9日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过50,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过30,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

公司于2025年4月25日召开第二届董事会第二十九次会议及第二届监事会第二十七次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过25,000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。

截至2025年6月30日，公司使用2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00万元，无投资相关产品的情况。

（四）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。

公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。

公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2024年6月17日，公司召开2023年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。

公司使用部分超募资金永久补充流动资金仅在与主营业务相关的生产经营中使用；在超募资金永久补充流动资金后的12个月内，不进行高风险投资或对外提供财务资助。公司最近12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。

截至2025年6月30日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为11,490.00万元。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

不适用。

（五）使用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8,000.00万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,800.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2023年8月24日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币5,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

公司于2023年8月28日召开第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定时限内实际使用了人民币5,400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2024年8月20日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币5,400.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。

截至2025年6月30日，公司使用2019年首次公开发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币0.00万元。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

截至2025年6月30日，公司暂未使用2021年度向特定对象发行A股股票募集资金暂时补充流动资金。

（六）募集资金使用的其他情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。

公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年12月31日。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预定可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。

公司于2024年2月21日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使用部分超募资金通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股（A股）股份，拟用于回购的资金总额不低于人民币1,000万元（含）、不超过人民币2,000万元（含），并在未来适宜时机用于员工持股计划或股权激励计划，回购期限为自公司董事会审议通过本次回购股份方案之日起6个月内。截至2024年6月30日，公司累计回购公司股份102,607股，支付的资金总额为人民币10,008,325.19元（不含印花税、交易佣金等交易费用）。

2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金

公司于2023年4月17日召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更符合公司经营发展的需要，能够促进募集资金投资项目顺利实施，未实质改变募集资金的投资方向及内容，不会对募集资金投资项目产生实质性影响，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形。

公司于2024年10月22日召开第二届董事会第二十六次会议及第二届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，综合考虑当前募投项目的实施进度等因素，公司决定对“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目达到预定可使用状态的日期调整至2026年12月8日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预定可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。

四、变更募投项目的资金使用情况

截至2025年6月30日，本公司募集资金投资项目未发生变更情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并对募集资金使用情况及时地进行了披露，不存在募集资金使用及管理的违规情形。

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2025年8月29日

附表1：

2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表

单位：万元

■

注1：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。

注2：“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，在公司原有研发资源的基础上，通过配置先进的研究设备、实验设备和测试检验设备，引进一批专业技术人才，建立了与公司发展战略相匹配的研发平台，极大地提升了公司的技术创新能力。

附表2：

2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况对照表

单位：万元

■

注3：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2025-062

沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于

2023年限制性股票激励计划首次授予部分

第二个归属期符合归属条件的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

● 限制性股票拟归属数量：34.945万股。

● 归属股票来源：沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）向激励对象定向发行公司A股普通股。

一、本次股权激励计划批准及实施情况

（一）本次股权激励计划方案及履行的程序

1、本次股权激励计划主要内容

（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

（2）授予数量：授予158万股限制性股票，约占公司2023年限制性股票激励计划草案（以下简称“本激励计划”）公告时公司股本总额13,744.8931万股的1.15%。其中首次授予126万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.92%；预留32万股，约占本激励计划草案公告时公司股本总额的0.23%。

（3）授予价格：34.23元/股（调整后），即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股34.23元的价格购买公司向激励对象增发的公司A股普通股股票。

（4）激励人数：首次授予的激励对象总人数为160人。

（5）激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

■

激励对象根据本激励计划获授的限制性股票在归属前不得转让、用于担保或偿还债务。激励对象已获授但尚未归属的限制性股票由于资本公积金转增股本、送股等情形增加的股份同时受归属条件约束，且归属之前不得转让、用于担保或偿还债务，若届时限制性股票不得归属的，则因前述原因获得的股份同样不得归属。

（6）任职期限和业绩考核要求

①激励对象满足各归属期任职期限要求

激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。

②满足公司层面业绩考核要求

本激励计划首次授予限制性股票考核年度为2023-2026年四个会计年度，每个会计年度考核一次。对各考核年度的营业收入累计值定比基数（2022年营业收入值）的年度累计营业收入增长率（A）及各考核年度营业收入同比增长率（B）进行考核，根据上述指标的每年对应的完成情况核算公司层面归属比例（X），业绩考核目标及归属比例安排如下：

■

注：1、上述“营业收入”以经会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据。

2、对标企业指Gartner公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

3、各年度营业收入累计值为自2023年度起各年度营业收入和，例如：2023年营业收入累计值为2023年营业收入值，2024年营业收入累计值为2023年度与2024年度营业收入之和，以此类推；

4、对标企业营业收入增长率平均水平=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比2022年度的累计营业收入增长率（同芯源微各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；

5、如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在芯源微董事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在芯源微董事会审议归属条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据；

若公司未满足上述业绩考核目标，则所有激励对象对应考核当年计划归属的限制性股票全部取消归属，并作废失效。

③满足激励对象个人层面绩效考核要求

激励对象个人层面绩效考核按照公司现行的相关规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为优秀、良好、合格、不合格四个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象实际归属的股份数量：

■

如果公司满足当年公司层面业绩考核要求，激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属的权益作废失效处理，不可递延至以后年度。

2、本次限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

（1）2023年7月28日，公司召开第二届董事会第十四次会议，会议审议通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于公司〈2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

同日，公司召开第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于公司〈2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》以及《关于核实公司〈2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单〉的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

（2）2023年7月29日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-049），根据公司其他独立董事的委托，独立董事宋雷先生作为征集人就2023年第一次临时股东大会审议的公司2023年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

（3）2023年7月29日至2023年8月8日，公司对本激励计划首次授予的激励对象名单在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2023年8月9日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会关于公司2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的审核意见及公示情况说明》（公告编号：2023-052）。

（4）2023年8月14日，公司召开2023年第一次临时股东大会，审议并通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》《关于公司〈2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法〉的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》，并于2023年8月15日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于2023年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2023-054）。

（5）2023年8月14日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于调整公司2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对该事项发表了独立意见，认为授予条件已经成就，激励对象主体资格合法有效，确定的授予日符合相关规定。监事会对授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。

（6）2024年5月21日，公司召开第二届董事会第二十二次会议与第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。监事会对授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。

（7）2024年8月15日，公司召开第二届董事会第二十四次会议与第二届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格及授予数量的议案》《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》，公司董事会薪酬与考核委员会对此发表了同意的意见，公司监事会对本次拟归属的激励对象名单进行了核实，律师出具相应法律意见。

（8）2025年5月27日，公司召开第二届董事会第三十一次会议与第二届监事会第二十九次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》，公司董事会薪酬与考核委员会对此发表了同意的意见，公司监事会对本次拟归属的激励对象名单进行了核实，律师出具相应法律意见。

（9）2025年8月28日，公司召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》，公司董事会薪酬与考核委员会对此发表了同意的意见，并对本次拟归属的激励对象名单进行了核实，律师出具相应法律意见。

（下转278版）