盛美半导体设备（上海）股份有限公司

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（二）2023年6月7日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-024），根据公司其他独立董事的委托，独立董事张苏彤先生作为征集人就公司2022年度股东大会审议的2023年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

（三）2023年5月9日至2023年5月18日，公司在公司内部对本次拟激励对象的姓名和职务进行了公示，公示期共计10天，公司员工可向公司监事会提出意见。截至公示期满，公司监事会未收到任何人对本次拟激励对象提出的异议。具体内容详见公司于2023年6月22日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（四）2023年6月28日，公司召开2022年度股东大会审议通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》等相关议案。股东大会批准公司实施本激励计划，授权董事会确定限制性股票授予日，并在激励对象符合条件时向激励对象授予限制性股票并办理授予限制性股票所必需的全部事宜。具体内容详见公司于2023年6月29日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

同时，公司就内幕信息知情人在本次激励计划草案公告前6个月内买卖公司股票的情况进行了自查，未发现利用内幕信息进行股票交易的情形。具体内容详见公司于2023年6月30日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（五）2023年8月3日，公司召开第二届董事会第五次会议及第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的议案》等相关议案。具体内容详见公司于2023年8月5日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（六）2024年6月25日，公司召开第二届董事会第十一次会议及第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。具体内容详见公司于2024年6月27日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（七）2024年10月29日，公司召开第二届董事会第十五次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划已授予但尚未归属的限制性股票的议案》等议案。具体内容详见公司于2024年10月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（八）2025年8月5日，公司召开第二届董事会第二十二次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划预留授予部分已授予但尚未归属的限制性股票的议案》等议案。具体内容详见公司于2025年8月7日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（九）2026年2月26日，公司召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划已授予但尚未归属的限制性股票的议案》等议案。具体内容详见公司于2026年2月27日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（十）2026年8月6日，公司召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划已授予但尚未归属的限制性股票的议案》《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期符合归属条件的议案》《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》等议案。具体内容详见公司于2026年8月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

二、本次作废处理限制性股票的原因和数量

根据公司《激励计划》及《2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的相关规定，本次作废处理情况如下：

（一）首次授予部分

鉴于首次授予部分的12名激励对象已离职而不再具备激励对象资格，上述人员已获授但尚未归属的3.25万股限制性股票取消归属，由公司作废处理。

本激励计划首次授予部分的限制性股票激励对象均不存在2025年个人绩效考核结果为“中等（C）”、“合格（D）”或“不合格（E）”的情况。达成归属条件的437名激励对象个人层面归属比例均为100%，不存在因个人绩效考核部分达标或未达标而导致已获授但尚未归属的第二类限制性股票作废的情形。

（二）预留授予部分

鉴于预留授予部分的12名激励对象已离职而不再具备激励对象资格，上述人员已获授但尚未归属的11.55万股限制性股票取消归属，由公司作废处理。

本激励计划预留授予部分的限制性股票激励对象均不存在2024年个人绩效考核结果为“中等（C）”、“合格（D）”或“不合格（E）”的情况。达成归属条件的164名激励对象个人层面归属比例均为100%，不存在因个人绩效考核部分达标或未达标而导致已获授但尚未归属的第二类限制性股票作废的情形。

综上，本次合计需作废处理激励对象已获授但尚未归属的限制性股票为14.80万股。

三、本次作废部分限制性股票对公司的影响

公司本次作废部分限制性股票符合《上市公司股权激励管理办法》（以下简称《管理办法》）及公司《激励计划》的相关规定，不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响，不存在损害公司及全体股东利益的情形。同时也不会影响公司核心团队的稳定性和股权激励计划的继续实施，确保了公司激励机制的持续有效。公司管理层将保持专注，继续认真履行职责，努力为全体股东创造价值。

四、专项意见说明

（一）薪酬与考核委员会意见

薪酬与考核委员会认为：公司本次作废部分2023年限制性股票激励计划中已授予但尚未归属的限制性股票，符合《管理办法》等法律、法规、规范性文件和《激励计划》的相关规定，履行了必要的程序。本次作废部分限制性股票在公司2022年年度股东大会授权范围内，决策程序合法合规，不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响，亦不存在损害公司及全体股东，特别是中小股东利益的情形。因此，薪酬与考核委员会已审议并一致同意公司对相关限制性股票予以作废处理，并同意将该事项提交董事会审议。

（二）律师法律意见书的结论意见

北京市金杜律师事务所上海分所认为：截至本法律意见书出具日，本次作废已经取得现阶段必要的批准和授权；本次作废的原因符合《管理办法》和《激励计划》的相关规定。

五、上网公告附件

《北京市金杜律师事务所上海分所关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2023年限制性股票激励计划调整授予价格、首次授予部分第三个归属期归属条件成就、预留授予部分第二个归属期归属条件成就及部分限制性股票作废相关事项之法律意见书》。

特此公告。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

董事会

2026年8月8日

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盛美半导体设备（上海）股份有限公司

关于向2026年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

● 限制性股票授予日：2026年8月6日

● 限制性股票授予数量：203.0820万股，约占目前公司股本总额48,259.6689万股的0.42%

● 股权激励方式：第二类限制性股票

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）《2026年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称《激励计划》）规定的限制性股票授予条件已经成就，根据公司2025年年度股东会的授权，公司于2026年8月6日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于向2026年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》，确定以2026年8月6日为授予日，以80.97元/股的授予价格向508名激励对象授予203.0820万股限制性股票。现将有关事项说明如下：

一、限制性股票授予情况

（一）本次限制性股票授予已履行的决策程序和信息披露情况

1、2026年4月27日，公司召开第三届董事会第四次会议，审议通过了《关于公司〈2026年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》等相关议案。公司董事会薪酬与考核委员会对公司《激励计划》进行了核查并发表了相关核查意见。具体内容详见公司于2026年4月28日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告及文件。

2、2026年4月30日至2026年5月9日，公司在公司内部对本次拟激励对象名单进行了公示，公示期共计10天，公司员工可向公司董事会薪酬与考核委员会提出意见。截至公示期满，公司董事会薪酬与考核委员会未收到任何公司员工对本次拟激励对象提出的异议。具体内容详见公司于2026年6月11日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《董事会薪酬与考核委员会关于公司2026年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2026-029）。

3、2026年6月16日，公司召开2025年年度股东会，审议通过了《关于公司〈2026年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》等相关议案。股东会批准公司实施2026年限制性股票激励计划（以下简称“本激励计划”），授权董事会确定限制性股票授予日，并在激励对象符合条件时向激励对象授予限制性股票并办理授予限制性股票所必需的全部事宜。具体内容详见公司于2026年6月17日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2025年年度股东会决议公告》（公告编号：2026-031）。

同时，公司对本激励计划的内幕信息知情人在本激励计划草案公开披露前6个月内买卖公司股票的情况进行了自查，未发现利用内幕信息进行股票交易的情形。具体内容详见公司于2026年6月17日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2026年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2026-030）。

4、2026年8月6日，公司召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于调整2026年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向2026年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》等相关议案。公司董事会薪酬与考核委员会对本激励计划激励对象名单（截至授予日）进行了核查并发表了相关核查意见。具体内容详见公司于2026年8月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告及文件。

（二）本次授予事项与股东会审议通过的股权激励计划差异情况

鉴于公司2025年年度权益分派方案已实施完毕，以及本激励计划涉及的12名激励对象因离职等个人原因已不符合激励对象资格，公司于2026年8月6日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于调整2026年限制性股票激励计划相关事项的议案》，对本激励计划授予价格、授予数量、激励对象名单等相关事项进行调整。本次调整后，公司本激励计划授予价格由81.59元/股调整为80.97元/股，激励对象人数由520人调整为508人。因离职不再符合激励对象条件的激励对象原获授限制性股票数量作废失效，本激励计划授予的限制性股票数量由208.3720万股调整为203.0820万股。

除上述调整内容外，本激励计划其他内容与公司2025年年度股东会审议通过的内容一致。

根据公司2025年年度股东会的授权，本次调整无需提交公司股东会审议。

（三）董事会关于符合授予条件的说明、董事会薪酬与考核委员会发表的明确意见

1、董事会对本次授予是否满足条件的相关说明

根据《激励计划》中关于授予条件的规定，激励对象获授限制性股票需同时满足如下条件：

（1）公司未发生如下任一情形：

①最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；

②最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；

③上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配的情形；

④法律法规规定不得实行股权激励的；

⑤中国证监会认定的其他情形。

（2）激励对象未发生如下任一情形：

①最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

②最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；

③最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

④具有《中华人民共和国公司法》（以下简称《公司法》）规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

⑤法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

⑥中国证监会认定的其他情形。

公司董事会经过认真核查，确定公司和激励对象均未出现上述任一情形，亦不存在不能授予或不得成为激励对象的其他情形，本激励计划的授予条件已经成就。

2、董事会薪酬与考核委员会对本次授予是否满足条件的相关说明

（1）根据公司2025年年度股东会的授权，公司董事会确定本激励计划的授予日为2026年8月6日，该授予日符合《管理办法》等法律、法规、规范性文件和《激励计划》中关于授予日的相关规定。

（2）未发现公司存在《管理办法》等法律、法规、规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施股权激励计划的主体资格。

（3）列入本激励计划激励对象名单的人员均符合《公司法》等法律、法规、规范性文件和《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称《上市规则》）等法律、法规、规范性文件规定的激励对象条件，符合《激励计划》及其摘要规定的激励对象范围，其作为公司本激励计划激励对象的主体资格合法、有效。

综上，董事会薪酬与考核委员会认为公司本激励计划授予条件已经成就，同意本激励计划以2026年8月6日为授予日，以80.97元/股的授予价格向符合授予条件的508名激励对象授予限制性股票203.0820万股。

（四）本次授予的具体情况

1、授予日：2026年8月6日

2、授予数量：203.0820万股，约占目前公司股本总额的0.42%

3、授予人数：508人

4、授予价格：80.97元/股

5、股票来源：公司从二级市场回购的公司A股普通股股票或/和公司向激励对象定向发行的公司A股普通股股票

6、激励计划的有效期、归属期限和归属安排

（1）本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止，最长不超过60个月。

（2）本激励计划授予的限制性股票自授予之日起12个月后，且在激励对象满足相应归属条件后将按约定比例分次归属，归属日必须为本激励计划有效期内的交易日，但不得在下列期间内归属：

①公司年度报告、半年度报告公告前十五日内，因特殊原因推迟公告日期的，自原预约公告日前十五日起算，至公告前一日；

②公司季度报告、业绩预告、业绩快报公告前五日内；

③自可能对本公司股票及其衍生品种交易价格产生较大影响的重大事件发生之日或者进入决策程序之日，至依法披露之日；

④中国证监会及上海证券交易所规定的其他期间。

上述“重大事件”为公司依据《上市规则》的规定应当披露的交易或其他重大事项。

本激励计划授予的限制性股票的归属安排具体如下：

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激励对象根据本激励计划获授的限制性股票在归属前不得转让、用于担保或偿还债务。激励对象已获授但尚未归属的限制性股票由于资本公积金转增股本、送股等情形增加的股份同时受归属条件约束，且归属之前不得转让、用于担保或偿还债务，若届时限制性股票不得归属的，则因前述原因获得的股份同样不得归属。

在上述约定期间归属条件未成就的限制性股票，不得归属或递延至下期归属，由公司按本激励计划的规定作废失效。

在满足限制性股票归属条件后，公司将统一办理满足归属条件的限制性股票归属事宜。

7、激励对象名单及授予情况

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注：1.上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的公司股票数量累计均未超过公司股本总额的1%。公司全部在有效期内的股权激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东会时公司股本总额的20%。

2.本激励计划的激励对象不包括公司独立董事，也不包括单独或合计持有公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

3.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入所造成。

二、董事会薪酬与考核委员会对激励对象名单核实的情况

（一）本激励计划授予的激励对象均不存在《管理办法》第八条规定的不得成为激励对象的情形：

1、最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

2、最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；

3、最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

4、具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

5、法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

6、中国证监会认定的其他情形。

（二）本激励计划授予的激励对象为在公司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员，不包括公司独立董事，也不包括单独或合计持有公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女，符合实施股权激励计划的目的。

（三）鉴于公司2025年年度权益分派方案已实施完毕，以及本激励计划涉及的12名激励对象因离职等个人原因已不符合激励对象资格，同意对本激励计划授予价格、授予数量、激励对象名单等相关事项进行调整。本次调整后，公司本激励计划授予价格由81.59元/股调整为80.97元/股，激励对象人数由520人调整为508人。因离职不再符合激励对象条件的激励对象原获授限制性股票数量作废失效，本激励计划授予的限制性股票数量由208.3720万股调整为203.0820万股。

除上述调整内容外，本激励计划其他内容与公司2025年年度股东会审议通过的内容一致。

（四）列入本激励计划激励对象名单的人员均符合《公司法》等法律、法规、规范性文件和《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规、规范性文件规定的激励对象条件，符合《激励计划》及其摘要规定的激励对象范围，其作为公司本激励计划激励对象的主体资格合法、有效。

综上所述，董事会薪酬与考核委员会同意本激励计划授予的激励对象名单。同意本激励计划的授予日为2026年8月6日，并以授予价格80.97元/股向符合授予条件的508名激励对象授予203.0820万股限制性股票。

三、激励对象为董事、高级管理人员的，在限制性股票授予日前6个月卖出公司股份情况的说明

经公司自查，参与本激励计划的副总经理、核心技术人员王俊先生、职工代表董事杨霞云女士在本次限制性股票授予日前6个月存在卖出公司股票的行为，其卖出公司股票的具体情况如下：

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上述卖出公司股票的行为系履行此前已披露的减持计划，具体内容详见公司于2026年6月4日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《实际控制人及其一致行动人、部分董事及高级管理人员减持股份计划公告》（公告编号：2026-028）。

四、限制性股票的会计处理方法与业绩影响测算

（一）限制性股票的公允价值及确定方法

参照中华人民共和国财政部会计司《股份支付准则应用案例一一授予限制性股票》，第二类限制性股票股份支付费用的计量参照股票期权执行。根据《企业会计准则第11号一一股份支付》和《企业会计准则第22号一一金融工具确认和计量》的相关规定，公司选择Black-Scholes模型计算第二类限制性股票的公允价值，并于2026年8月6日用该模型对授予的203.0820万股第二类限制性股票进行测算。具体参数选取如下：

1、标的股价：279.10元/股（为股票授予日2026年8月6日收盘价）；

2、有效期分别为：12个月、24个月、36个月、48个月（第二类限制性股票授予之日至每期归属日的期限）；

3、历史波动率：14.32%、17.09%、15.91%、15.20%（采用上证指数最近12个月、24个月、36个月、48个月的波动率）；

4、无风险利率：1.1635%、1.2547%、1.2686%、1.3306%（分别采用中债国债1年期、2年期、3年期、4年期到期收益率）；

5、股息率：0%。

（二）预计限制性股票实施对各期经营业绩的影响

公司按照会计准则的规定确定授予日第二类限制性股票的公允价值，并最终确认本激励计划的股份支付费用，该等费用将在本激励计划的实施过程中按归属安排的比例摊销。由本激励计划产生的激励成本将在经常性损益中列支。

2026年至2030年限制性股票成本摊销情况如下：

单位：万元

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注：1.上述计算结果并不代表最终的会计成本，实际会计成本与归属数量相关，激励对象在归属前离职、公司业绩考核或个人绩效考核达不到对应标准的会相应减少实际归属数量从而减少股份支付费用。同时，公司提醒股东注意可能产生的摊薄影响。

2.上述对公司经营成果影响的最终结果将以会计师事务所出具的年度审计报告为准。

3.以上合计数与各明细数相加之和在尾数上如有差异，系四舍五入所致。

公司以目前信息初步估计，限制性股票费用的摊销对有效期内各年净利润有所影响。但同时此次限制性股票激励计划实施后，将进一步提升员工的凝聚力、团队稳定性，并有效激发管理团队的积极性，从而提高经营效率，提升公司的内在价值。

五、法律意见书的结论性意见

北京市金杜律师事务所上海分所认为：截至本法律意见书出具日，本次授予已经取得现阶段必要的批准和授权；本次授予确定的授予日和授予对象符合《管理办法》和《激励计划》的相关规定；本次授予的授予条件已经满足；公司实施本次授予符合《管理办法》及《激励计划》的相关规定。

六、上网公告附件

（一）《董事会薪酬与考核委员会关于公司2026年限制性股票激励计划激励对象名单的核查意见（截至授予日）》；

（二）《2026年限制性股票激励计划激励对象名单（截至授予日）》；

（三）《北京市金杜律师事务所上海分所关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2026年限制性股票激励计划调整授予价格、激励对象名单、授予数量及向激励对象授予限制性股票相关事项之法律意见书》。

特此公告。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

董事会

2026年8月8日

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盛美半导体设备（上海）股份有限公司

关于2023年限制性股票激励计划首次授予

部分第三个归属期、预留授予部分第二个

归属期符合归属条件的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

● 限制性股票拟归属数量：266.9625万股（首次授予部分241.6250万股、预留授予部分25.3375万股）

● 归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“盛美上海”）于2026年8月6日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期符合归属条件的议案》《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》。根据《2023年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称《激励计划》）的规定和公司2022年年度股东大会授权，公司董事会认为2023年限制性股票激励计划（以下简称“本激励计划”）首次授予部分第三个归属期、预留授予部分第二个归属期所规定的归属条件已经成就，现将具体情况公告如下：

一、本激励计划批准及实施情况

（一）本激励计划方案及履行的程序

1、本激励计划主要内容

（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

（2）授予数量：首次授予1,064.85万股，占目前公司股本总额的2.21%；预留授予139.10万股，占目前公司股本总额的0.29%。

（3）授予价格（调整后）：47.88元/股，即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股47.88元获得公司A股普通股股票。

（4）激励人数：本激励计划激励对象包括董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员，其中首次授予508人、预留授予193人。

（5）具体归属安排如下：

本激励计划首次授予的限制性股票的归属安排具体如下：

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本激励计划预留授予的限制性股票的归属安排具体如下：

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（6）任职期限和业绩考核要求

① 激励对象满足各归属期任职期限要求

激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。

② 公司层面业绩考核要求

本激励计划授予的限制性股票考核年度为2023年-2026年四个会计年度，每个会计年度考核一次。根据各考核年度所使用的营业收入增长率累计值（A）、各考核年度的专利申请数（B）进行考核，根据各考核年度业绩指标的完成情况确定公司层面归属比例，各年度业绩考核目标安排如下表所示：

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综合上述公司层面业绩考核要求，公司层面归属比例=X*80%+Y*20%。

注：1、“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；

2、“营业收入增长率”=当年度营业收入相较于上一年度营业收入增长率；

3、对标企业指Gartner公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

4、对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入增长率累计值（计算方法同盛美上海各考核年度所使用的营业收入增长率累计值）之和除以五；

5、当公司营业收入增长率累计值（A）及对标企业算数平均增长率均为负数时，业绩考核目标中的“对标企业算术平均增长率*0.8≦A〈对标企业算术平均增长率”应替换为“对标企业算术平均增长率*1.2≦A〈对标企业算术平均增长率”，“A〈对标企业算术平均增长率*0.8”应替换为“A〈对标企业算术平均增长率*1.2”；

6、如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在盛美上海董事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在盛美上海董事会审议归属条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据；

7、“专利”指公司及下属子公司在全球范围内申请并受理的全部类型的专利。

③ 激励对象个人层面绩效考核要求

激励对象个人层面绩效考核按照公司相关规定组织实施，并依照激励对象的考核评级确定其实际归属的股份数量。

激励对象的等级评定结果划分为优秀（A）、良好（B）、中等（C）、合格（D）、不合格（E）共五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

■

激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属的，作废失效，不可递延至下一年度。

2、本激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

（1）2023年4月26日，公司召开第二届董事会第四次会议及第二届监事会第四次会议，审议通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》等相关议案。具体内容详见公司于2023年4月27日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（2）2023年6月7日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-024），根据公司其他独立董事的委托，独立董事张苏彤先生作为征集人就公司2022年度股东大会审议的2023年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

（3）2023年5月9日至2023年5月18日，公司在公司内部对本次拟激励对象的姓名和职务进行了公示，公示期共计10天，公司员工可向公司监事会提出意见。截至公示期满，公司监事会未收到任何人对本次拟激励对象提出的异议。具体内容详见公司于2023年6月22日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（4）2023年6月28日，公司召开2022年度股东大会审议通过了《关于公司〈2023年限制性股票激励计划（草案）〉及其摘要的议案》等相关议案。股东大会批准公司实施本激励计划，授权董事会确定限制性股票授予日，并在激励对象符合条件时向激励对象授予限制性股票并办理授予限制性股票所必需的全部事宜。具体内容详见公司于2023年6月29日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

同时，公司就内幕信息知情人在本激励计划草案公告前6个月内买卖公司股票的情况进行了自查，未发现利用内幕信息进行股票交易的情形。具体内容详见公司于2023年6月30日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（5）2023年8月3日，公司召开第二届董事会第五次会议及第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的议案》等相关议案。具体内容详见公司于2023年8月5日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（6）2024年6月25日，公司召开第二届董事会第十一次会议及第二届监事会第十一次会议，审议通过了《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。具体内容详见公司于2024年6月27日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（7）2024年10月29日，公司召开第二届董事会第十五次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划已授予但尚未归属的限制性股票的议案》等议案。具体内容详见公司于2024年10月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（8）2025年8月5日，公司召开第二届董事会第二十二次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划预留授予部分已授予但尚未归属的限制性股票的议案》等议案。具体内容详见公司于2025年8月7日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（9）2026年2月26日，公司召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划已授予但尚未归属的限制性股票的议案》等议案。具体内容详见公司于2026年2月27日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（10）2026年8月6日，公司召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于作废部分2023年限制性股票激励计划已授予但尚未归属的限制性股票的议案》《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期符合归属条件的议案》《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》等议案。具体内容详见公司于2026年8月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的相关公告。

（二）限制性股票历次授予情况

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注：1、公司2022年度、2023年度、2024年度、2025年度权益分派实施方案已实施完毕，因此授予价格由50.15元/股调整为47.88元/股；

2、本激励计划预留限制性股票266.15万股，实际预留授予139.10万股限制性股票。剩余未授予的限制性股票127.05万股作废失效，未来不再授予。

（三）激励对象各期限制性股票归属情况

截至本公告披露日，公司2023年限制性股票激励计划限制性股票的归属情况如下：

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二、限制性股票归属条件说明

（一）董事会就限制性股票归属条件是否成就的审议情况

公司2026年8月6日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期符合归属条件的议案》《关于2023年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》。根据公司2022年年度股东大会授权，董事会认为：根据本激励计划的规定，本激励计划首次授予部分第三个归属期、预留授予部分第二个归属期所规定的归属条件已经成就，合计本次可归属数量为266.9625万股。同意公司按照本激励计划的相关规定为符合条件的合计518名激励对象（因首次授予激励对象与预留授予激励对象有83人重复，所以二者人数加总与符合条件合计人数存在差额）办理归属相关事宜。董事HUI WANG、王坚、杨霞云为本激励计划的激励对象，已回避对上述两项议案的表决。

（二）关于本激励计划首次授予部分激励对象第三个归属期符合归属条件的说明

1、根据归属时间安排，首次授予部分激励对象已进入第三个归属期

根据本激励计划的相关规定，首次授予部分激励对象的第三个归属期为“自授予之日起36个月后的首个交易日至授予之日起48个月内的最后一个交易日止”。本激励计划首次授予日为2023年8月3日，因此激励对象首次授予的第三个归属期为2026年8月4日至2027年8月3日。

2、符合归属条件的说明

根据公司2022年年度股东大会的授权、公司《激励计划》和《2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的相关规定，本激励计划首次授予部分的限制性股票第三个归属期的归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：

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综上所述，本激励计划首次授予部分第三个归属期共计437名激励对象达到归属条件，可归属限制性股票数量共计241.6250万股。

（三）关于本激励计划预留授予部分激励对象第二个归属期符合归属条件的说明

1、根据归属时间安排，预留授予部分激励对象已进入第二个归属期

根据本激励计划的相关规定，预留授予部分激励对象的第二个归属期为“自预留授予部分限制性股票授予之日起24个月后的首个交易日至预留授予部分限制性股票授予之日起36个月内的最后一个交易日止”。本激励计划预留授予日为2024年6月25日，因此激励对象预留授予的第二个归属期为2026年6月26日至2027年6月25日。

2、符合归属条件的说明

根据公司2022年年度股东大会的授权、公司《激励计划》和《2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的相关规定，本激励计划预留授予部分的限制性股票第二个归属期的归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：

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综上所述，本激励计划预留授予部分第二个归属期共计164名激励对象达到归属条件，可归属限制性股票数量共计25.3375万股。

（四）对部分未达到归属条件的限制性股票的处理方法

公司对于部分未达到归属条件的限制性股票作废处理，具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于作废部分2023年限制性股票激励计划已授予但尚未归属的限制性股票的公告》（公告编号：2026-038）。

（五）薪酬与考核委员会意见

薪酬与考核委员会认为：根据《上市公司股权激励管理办法》《公司法》《证券法》及公司《激励计划》的相关规定，公司2023年限制性股票激励计划首次授予部分第三个归属期、预留授予部分第二个归属期的归属条件已经成就。经核查，本次符合首次授予部分第三个归属期归属条件的激励对象共437名、符合预留授予部分第二个归属期归属条件的激励对象共164名，该等主体资格合法有效，可归属的限制性股票数量合计为266.9625万股。公司按照本激励计划的相关规定，为符合条件的激励对象办理归属相关事宜的审议和表决程序合法合规，不存在损害公司及股东利益的情形。因此，薪酬与考核委员会同意公司在归属期内实施本次限制性股票的归属登记事宜。

三、本次归属的具体情况

（一）首次授予部分第三个归属期

1、首次授予日：2023年8月3日

2、归属数量（调整后）：241.6250万股

3、归属人数（调整后）：437人

4、授予价格（调整后）：47.88元/股（公司2022年度、2023年度、2024年度、2025年度权益分派实施方案已实施完毕，因此授予价格由50.15元/股调整为47.88元/股）

5、股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

6、激励对象名单及归属情况

首次授予部分第三个归属期可归属具体情况：

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注：1、上述董事、高级管理人员、核心技术人员任职情况较《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的公告》（公告编号：2023-037）中披露情况存在差异，系公司于2025年11月完成董事会换届选举及高级管理人员聘任所致，据此已对本次归属限制性股票的董事、高级管理人员名单及职务信息作相应更新，前述激励对象原获授限制性股票数量未作调整，详情见公司已披露的相关公告；

2、上表中已剔除因离职丧失激励对象资格的12名激励对象所获授的限制性股票数量。

（二）预留授予部分第二个归属期

1、预留授予日：2024年6月25日

2、归属数量（调整后）：25.3375万股

3、归属人数（调整后）：164人

4、授予价格（调整后）：47.88元/股（公司2022年度、2023年度、2024年度、2025年度权益分派实施方案已实施完毕，因此授予价格由50.15元/股调整为47.88元/股）

5、股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

6、激励对象名单及归属情况

预留授予部分第二个归属期可归属具体情况：

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注：1、上述董事、高级管理人员、核心技术人员任职情况较《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象授予预留部分限制性股票的公告》（公告编号：2024-034）中披露情况有差异系公司副总经理、核心技术人员SOTHEARA CHEAV因达到法定退休年龄，辞去职务及选举职工代表董事杨霞云所致，详情见公司已披露的相关公告；

2、上表中已剔除因离职丧失激励对象资格的12名激励对象所获授的限制性股票数量。

四、董事会薪酬与考核委员会对激励对象名单的核实情况

董事会薪酬与考核委员会核查后认为：本激励计划首次授予部分第三个归属期除12名激励对象因离职丧失激励对象资格不符合归属条件外，本次拟归属的激励对象共437名，对应限制性股票归属数量为241.6250万股；预留授予部分第二个归属期除12名激励对象因离职丧失激励对象资格不符合归属条件外，本次拟归属的激励对象共164名，对应归属数量为25.3375万股。本次拟归属的所有激励对象均符合《公司法》《证券法》等法律、法规、规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规、规范性文件规定的激励对象条件，符合本激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

董事会薪酬与考核委员会同意本次符合归属条件的首次授予部分437名激励对象、预留授予部分164名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量合计为266.9625万股。上述事项符合相关法律、法规、规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

五、归属日及买卖公司股票情况的说明

公司将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份变更登记手续当日确定为归属日。

经公司自查，参与本激励计划的董事、高级管理人员：HUI WANG、王坚、陈福平、LISA YI LU FENG、罗明珠、王俊、杨霞云在本公告披露日前6个月均存在本激励计划的限制性股票归属登记行为，具体内容详见公司于2026年5月7日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期、预留授予部分第一个归属期第二批次归属结果暨股票上市公告》（公告编号：2026-019）。

此外，上述董事、高级管理人员在本公告披露日前6个月均存在卖出公司股票的行为，系依据公司已披露的减持计划进行的交易，具体内容详见公司于2026年6月4日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《实际控制人及其一致行动人、部分董事及高级管理人员减持股份计划公告》（公告编号：2026-028）。

根据中国证券监督管理委员会自2026年4月7日起施行的《关于短线交易监管的若干规定》第六条第一款第（七）项规定，因上市公司、新三板挂牌公司股权激励限制性股票授予、登记或者股票期权行权导致证券数量变动的，不构成短线交易，但利用信息优势等，谋取非法利益的除外。基于上述规定，参与本激励计划的董事、高级管理人员本次归属不构成短线交易。

六、限制性股票费用的核算及说明

公司根据《企业会计准则第11号一一股份支付》和《企业会计准则第22号一一金融工具确认和计量》，确定限制性股票授予日的公允价值，在授予日后不需要对限制性股票进行重新评估，公司将在授予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。

公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本次限制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

七、法律意见书的结论性意见

北京市金杜律师事务所上海分所认为：截至本法律意见书出具日，本次归属已经取得现阶段必要的批准和授权；本次归属的归属条件已经成就。

八、上网公告附件

《北京市金杜律师事务所上海分所关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2023年限制性股票激励计划调整授予价格、首次授予部分第三个归属期归属条件成就、预留授予部分第二个归属期归属条件成就及部分限制性股票作废相关事项之法律意见书》。

特此公告。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

董事会

2026年8月8日