中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年半年度报告摘要

公司代码：688012 公司简称：中微公司

第一节 重要提示

1.1本半年度报告摘要来自半年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到www.sse.com.cn网站仔细阅读半年度报告全文。

1.2重大风险提示

公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“四、风险因素”部分内容。

1.3本公司董事会及董事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

1.4公司全体董事出席董事会会议。

1.5本半年度报告未经审计。

1.6董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

无

1.7是否存在公司治理特殊安排等重要事项

□适用 √不适用

第二节 公司基本情况

2.1公司简介

公司股票简况

■

公司存托凭证简况

□适用 √不适用

联系人和联系方式

■

2.2主要财务数据

单位：元 币种：人民币

■

2.3前10名股东持股情况表

单位: 股

■

2.4前十名境内存托凭证持有人情况表

□适用 √不适用

2.5截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

□适用 √不适用

2.6截至报告期末的优先股股东总数、前10名优先股股东情况表

□适用 √不适用

2.7控股股东或实际控制人变更情况

□适用 √不适用

2.8在半年度报告批准报出日存续的债券情况

□适用 √不适用

第三节 重要事项

公司应当根据重要性原则，说明报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项

□适用 √不适用

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-082

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于公司部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 本次结项的募投项目名称：中微产业化基地建设项目

● 本次节余金额为34,208.74万元，下一步使用安排是永久补充流动资金

● 本次延期的募投项目名称：中微临港总部和研发中心项目

一、募集资金基本情况

■

中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》核准了公司向特定对象发行80,229,335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，公司完成了人民币普通股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。

二、募投项目基本情况

根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资金投入金额的公告》，本次募投项目情况如下：

■

截止2026年6月30日，2020年向特定对象公开发行股票募集资金存放及使用情况如下：

单位：万元 币种：人民币

■

单位：万元 币种：人民币

■

三、本次募投项目结项及募集资金节余情况

（一）募集资金结项及节余情况

■

（二）募集资金节余的主要原因

本次募集资金节余的主要原因如下：

1、募投项目建设实施期间，经公司研究和分析，优化施工工艺，有效实现资源的合理配置；

2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，在保证项目质量的前提下，坚持合理、节约、有效、谨慎的原则，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出；

3、因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，公司对短期内出现的部分闲置募集资金进行了现金管理，有效提高了募集资金的使用效率，增加了公司收益。

（三）节余募集资金使用计划

结合公司实际经营情况，为提高资金使用效率，公司拟将该项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金（实际金额以资金转出当日计算的该项目募集资金剩余金额为准），用于日常生产经营活动。

四、本次募投项目延期具体情况及原因、对公司的影响

（一）本次部分募投项目延期的具体情况及原因

中微临港总部和研发中心项目原计划实施周期5年，项目计划分以下阶段实施完成，包括:前期准备、基地建设、设备购置与安装、员工招聘以及试运营。自募集资金到位以来，公司一直积极推进募投项目的实施，并根据实际情况，审慎规划资金的使用。截至本公告披露日，“中微临港总部和研发中心项目”主体建筑工程已顺利完工，部分功能楼层已完成内部装潢并可投入前期使用。为匹配后续业务扩容节奏以及研发人员分批入驻的统筹安排，剩余楼层将采取分批次装修、分阶段投用的精细化推进模式。为保障项目建成后整体运营效能与研发承载能力达到最优标准，经公司审慎评估与统筹规划，拟将该募投项目整体达到全面预定可使用状态的时间顺延至2027年12月。

（二）是否存在影响募集资金使用计划正常推进的情形

公司严格遵守《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定，谨慎管理和使用募集资金，截至本公告披露日，公司不存在影响募集资金使用计划正常进行的情形。

（三）保障延期后按期完成的措施

公司将严格遵守募集资金使用相关规定，规范募集资金管理与使用，并持续关注影响项目推进的各项因素，充分结合行业发展情况，科学合理决策，确保募集资金依法合规、高效使用。公司将加强对募集资金使用全过程的监督与管理，推动募投项目按期完成。

（四）本次部分募投项目延期对公司的影响

本次部分募投项目延期是公司根据项目实施的实际情况做出的审慎决定，项目的延期不会对募投项目的实施造成实质性的影响。本次对部分募投项目延期不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，符合中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金管理的相关规定，不会对公司的正常经营产生不利影响，符合公司发展规划。公司后续将进一步加快推进募投项目建设进度，促使募投项目尽快达到预定可使用状态。

五、适用的审议程序及保荐人意见

（一）董事会审议情况

公司于2026年8月19日召开第三届董事会第十五次会议审议通过了《关于公司部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的议案》，同意将2020年向特定对象公开发行股票募投项目“中微产业化基地建设项目”结项，并将项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金用于日常生产经营活动；同意将募投项目“中微临港总部和研发中心项目”预定可使用状态的日期延期至2027年12月。本次事项无需提交股东会审议。

（二）保荐机构核查意见

经核查，保荐人认为：公司本次2020 年向特定对象公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的事项已经公司董事会审议通过，履行了必要的法律程序，符合中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的相关规定。

综上，保荐人对公司2020 年向特定对象公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金及部分募投项目延期的事项无异议。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年8月20日

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-080

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 投资种类：安全性高、流动性好的保本型产品（包括但不限于协定存款、通知存款、结构性存款、定期存款、大额存单等）

● 投资金额：不超过人民币73,042万元

● 已履行及拟履行的审议程序

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年8月19日召开第三届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》。独立财务顾问出具了明确的核查意见。本次事项无需提交股东会审议。

● 特别风险提示：尽管公司拟投资安全性高、流动性好的投资产品，投资风险可控，但金融市场受宏观经济影响较大，公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响，存在一定的系统性风险。

一、投资情况概述

（一）投资目的

在确保不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，降低公司财务费用，增加公司收益。

（二）投资金额

公司拟使用额度不超过73,042万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。

（三）资金来源

经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可〔2026〕1147号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A股）5,156,765股，每股发行价格为人民币290.88元，募集资金总额为人民币149,999.98 万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币148,988.12 万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字（2026）第0016号《验资报告》。上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、独立财务顾问签订了募集资金监管协议。

■

（四）投资方式

1、现金管理品种

公司将按照资金管理相关规定严格控制风险，拟使用暂时闲置的募集资金购买安全性高、流动性好的保本型产品（包括但不限于协定存款、通知存款、结构性存款、定期存款、大额存单等），投资产品的期限不超过12个月。

公司不会将闲置募集资金用于投资以股票、利率、汇率及其衍生品种、无担保债券为主要投资标的的投资产品，投资产品不得质押。

2、实施方式

在公司董事会授权的投资额度范围内，董事长行使该项投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由财务部负责组织实施。

3、信息披露

公司将按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关法规和规范性文件的要求，及时披露公司现金管理的具体情况。

4、现金管理收益的分配

公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

5、最近12个月截至目前公司募集资金现金管理情况

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二、审议程序

公司于2026年8月19日召开第三届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过73,042万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。公司本次授权暂时闲置募集资金进行现金管理的最高额度，非实际现金管理金额。公司将严格执行募集资金使用计划，在确保不影响募集资金投资项目建设计划的前提下进行现金管理，未改变募集资金的使用计划，有利于提高资金使用效率，符合公司和全体股东的利益。独立财务顾问出具了明确的核查意见。本次事项无需提交股东会审议。

三、投资风险分析及风控措施

公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理仅限于购买安全性高且流动性好、不影响公司日常经营活动的保本型投资产品。公司按照决策、执行、监督职能相分离的原则建立健全相关投资的审批和执行程序，确保投资事宜的有效开展、规范运行，以及资金安全。拟采取的具体措施如下：

1、公司将根据经营安排和资金投入计划选择相适应的现金管理产品种类和期限等，确保不影响公司日常经营活动的正常进行。

2、在实施期间及时分析和跟进现金管理品种的投向、项目进展情况，一旦发现或判断有不利因素，将及时采取措施，控制投资风险。

3、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。

4、公司必须严格按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》以及《中微公司：募集资金管理制度》等有关规定办理相关现金管理业务。

四、投资对公司的影响

1、公司运用部分闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募集资金投资项目的进度和确保资金安全的前提下进行的，不影响公司募集资金投资项目的开展。

2、公司通过对暂时闲置的募集资金进行现金管理，可以提高资金使用效率，增加公司收益。

五、中介机构意见

经核查，独立财务顾问认为，公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项已经公司董事会审议通过，履行了必要的审批程序；公司通过投资安全性高、流动性好的保本型产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号一一规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。

综上所述，独立财务顾问对公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理事项无异议。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年8月20日

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-079

中微半导体设备（上海）股份有限公司

关于使用募集资金置换预先投入募投项目及

已支付发行费用的自筹资金的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

重要内容提示：

● 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）本次使用募集资金置换预先已投入募集资金投资项目的自筹资金共计人民币6,004.51万元。本次募集资金置换事项符合募集资金到账后6个月内进行置换的规定。

一、募集资金基本情况

经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》（证监许可〔2026〕1147号）核准，同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份募集配套资金不超过15亿元的注册申请。

公司本次募集配套资金发行人民币普通股（A股）5,156,765 股，每股发行价为人民币290.88元，募集资金总额为人民币1,499,999,803.20元，扣除本次发行费用人民币10,118,562.20元，实际募集资金净额为人民币1,489,881,241.00元。上述资金到位情况已经由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具了《验资报告》（普华永道中天验字（2026）第0016号）。公司已开立募集资金专项账户，对募集资金实行专户存储，并与账户开设银行、独立财务顾问签订了募集资金监管协议。

二、募集资金投资项目情况

根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书》，公司本次向不超过三十五名特定对象发行股份募集资金总额不超过150,000万元，具体投入项目情况如下：

单位： 万元

■

三、自筹资金预先投入募投项目情况

为了保障本次募投项目“发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金”的顺利推进，公司在募集资金到位前，根据募投项目的实际进展情况使用自筹资金进行了预先投入。截至2026年7月31日，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资额为人民币6,004.51万元，本次拟使用募集资金置换预先投入金额为人民币6,004.51万元，具体情况如下：

单位：万元

■

上述事项已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具的《中微半导体设备（上海）股份有限公司截至2026年7月31日止以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告及鉴证报告》（普华永道中天特审字(2026)第0892号）鉴证。

四、本次募集资金置换的审议程序

公司于2026 年8月19日召开第三届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用共计6,004.51万元的募集资金置换预先已投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金。该事项无需通过股东会审议。

本次募集资金置换时间未超过募集资金到账后6个月，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号一一规范运作》等法律法规以及《公司章程》等规章制度的规定。

五、专项意见说明

（一）会计师事务所鉴证意见

普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司截至2026年7月31日止以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告及鉴证报告》（普华永道中天特审字(2026)第0892号），认为：上述以自筹资金预先投入募集资金投资项目情况及支付发行费用报告在所有重大方面如实反映了中微公司截至2026年7月31日止，以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况。

（二）独立财务顾问核查意见

经核查，独立财务顾问认为：公司本次使用募集资金置换预先投入的自筹资金事项已履行了必要的审议程序，会计师事务所出具了专项鉴证报告，置换时间距募集资金到账时间不超过6个月，未改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号一一规范运作》等有关规定，相关决策和审议程序合法、合规。

综上所述，独立财务顾问对公司本次使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的事项无异议。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年8月20日

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-077

中微半导体设备（上海）股份有限公司关于公司

募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

根据中国证监会《上市公司募集资金监管规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》和《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会编制了2026年半年度（以下简称“报告期”或“本报告期”）募集资金存放与实际使用情况专项报告如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账情况

1、2019年首次公开发行股票募集资金

根据中国证券监督管理委员会于2019年7月1日签发的证监许可[2019]1168号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行人民币普通股53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，股款以人民币缴足，计人民币155,163.54万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,782.84万元后，实际收到募集资金计人民币146,380.69万元，再扣除发行中介及其他发行费用人民币合计1,810.41万元后，实际募集资金净额为人民币144,570.28万元（以下简称“首发募集资金”），上述资金于2019年7月16日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2019）第0411号验资报告。

2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金

中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》核准了公司向特定对象发行80,229,335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，公司完成了人民币普通股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费用共计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。

3、发行股份购买资产并募集配套资金

中国证券监督管理委员会于2026年5月11日出具证监许可[2026]1147号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复》核准了公司向特定对象发行5,156,765股人民币普通股A股股票。截至2026年6月17日止，公司完成了人民币普通股A股5,156,765股的发行，每股发行价格为人民币290.88元，股款以人民币缴足，合计人民币149,999.98万元，扣除承销及保荐费用共计人民币954.00万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币149,045.98万元，再扣除其他发行费用人民币合计57.86万元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币148,988.12万元（以下简称“配套募集资金”），上述资金于2026年6月17日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）予以验证并出具了普华永道中天验字（2026）第0016号验资报告。

（二）募集资金使用及结余情况

募集资金基本情况表

单位：万元 币种：人民币

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单位：万元 币种：人民币

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单位：万元 币种：人民币

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二、募集资金管理情况

中微公司已按照《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定的要求制定《中微公司：募集资金管理制度》，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况的监督等进行了规定。

募集资金存储情况表

单位：万元 币种：人民币

■

单位：万元 币种：人民币

■

单位：万元 币种：人民币

■

三、本报告期募集资金的实际使用情况

（一）募集资金投资项目资金使用情况

本报告期公司募集资金实际使用情况详见附表1募集资金使用情况对照表。

（二）募投项目先期投入及置换情况

公司于2025年8月28日召开第三届董事会第六次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换的议案》，同意公司及子公司作为实施主体在募投项目实施期间，根据实际情况先行使用自有资金支付募投项目所需资金，在履行内部相关审批程序后定期以募集资金等额置换。本报告期公司募投项目先期投入及置换情况见下表：

募集资金置换先期投入表

单位：万元 币种：人民币

■

单位：万元 币种：人民币

■

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

本报告期公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

公司为提高募集资金使用效益，将部分暂时闲置募集资金通过通知存款、结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。

公司于2026年3月30日召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过180,000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自前次募集资金现金管理的授权到期之日起12个月内有效，在不超过上述额度及有效期内，可循环滚动使用。

募集资金现金管理审核情况表

单位：万元 币种：人民币

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募集资金现金管理明细表

单位：万元 币种：人民币

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单位：万元 币种：人民币

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（五）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况

本报告期公司不存在使用超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）或回购本公司股份并注销的情况。

（六）节余募集资金使用情况

结合公司实际经营情况，为提高资金使用效率，公司拟将再融资募集资金中微产业化基地建设项目结项后的节余募集资金永久补充流动资金（实际金额以资金转出当日计算的该项目募集资金剩余金额为准），用于日常生产经营活动。

（七）募集资金使用的其他情况

本报告期公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募投项目的资金使用情况

本报告期公司募集资金投资项目不存在变更、对外转让或置换情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已经披露的募集资金相关信息及时、真实、准确、完整；已使用的募集资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。

特此公告。

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

2026年8月20日

附表1：

募集资金使用情况对照表

单位：万元 币种：人民币

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单位：万元 币种：人民币

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单位：万元 币种：人民币

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注1：公司发行股份购买资产并募集配套资金拟投入项目中包含了“支付中介机构费用”项目，因此募集资金总额未扣除发行费用。

注2：“本年度投入募集资金总额”包括募集资金到账时扣除的承销费用。

（下转135版）