中科仪：“泵”出硬核新动能
| ||
|
◎记者 韩远飞
一台干式真空泵，要在充斥着腐蚀性气体和粉尘的晶圆产线上，连续数年保持每分钟上万转的运转而不“掉链子”——这个被称为“半导体设备心脏”的部件，过去长期被海外巨头所垄断，国内晶圆厂没有国产选项。如今，中科仪的产品已进入国内头部晶圆厂的先进制程产线批量应用。
今年4月，中科仪登陆北交所，成为北交所时隔三年重启网下询价的首家发行企业，募集资金8.43亿元投向干式真空泵产业化等项目。2026年半年报，公司推出“10派4”的分红方案，用业绩与回报交出上市后的第一份答卷。
从1958年中国科学院真空科学仪器研制单位起步，到院所转制后直面市场，再到产业化落地干式真空泵，直至登陆资本市场——中科仪用六十余年走完这场跨越时代的产业攻坚，也蹚出一条科研院所技术积淀产业化、资本化的完整路径。近日，上海证券报记者与北京证券交易所“北交所万里行”调研团队一起走进中科仪，对话公司董事长郭东民。
攻克国产干泵技术高地
干式真空泵被称为半导体设备的心脏，刻蚀、沉积等几乎所有核心工艺都离不开它。过去很长一段时间，国内干泵市场几乎完全被海外巨头占据，国内晶圆厂没有国产选项，采购、维保、备件全部受制于海外。
“当年敢啃这块硬骨头：首先是国家产业安全的迫切需要；其次，我们有几十年真空技术积淀，干泵本质属于高端真空装备赛道，我们有底层技术基础。”郭东民回忆称，当年公司承接了两个国家科技重大专项，上级要求：只能成功，不能失败。
整个干泵从原理样机到工程样机，再到晶圆厂验证、小批量、产业化落地，前后历经二十余年。攻关最艰难的时刻，是早期进入头部晶圆厂验证阶段。样机在实验室各项指标达标，但放到真实产线复杂工况下，频繁出现故障。产线工况和实验室完全不一样，腐蚀性工艺气体、颗粒磨损，样机反复出现寿命、稳定性问题。
“验证窗口来之不易，一旦反复出现问题，就会失去客户信任。”郭东民表示，那段时间研发团队驻扎晶圆厂现场，24小时轮班盯设备，拆解失效部件，反复分析失效机理，从材料选型、结构设计、工艺装配全链条一轮轮调整，无数次改图纸、改零部件，熬过很长一段只有投入看不到产出的阶段，才逐步满足产线要求。
这背后是中科仪管理团队和技术团队的坚持和传承。郭东民表示，中科仪所取得的成绩离不开原董事长雷震霖、李昌龙带领的班子留下的技术根基、治理框架和行业资源，也离不开现任总经理王光玉带领团队刻苦攻关积淀下的客户信任。如今，中科仪已成为国内唯一实现先进制程批量应用，唯一覆盖清洁、中等、苛刻全工艺场景的国产干泵企业，沉淀1500多项关键核心工艺技术，并与多家头部晶圆厂建立了循序渐进的验证合作关系。“半导体设备的客户信任，不是靠谈判拿到的，而是靠一台台设备长期稳定运行的数据一点点积累的。”郭东民说。
围绕真空技术构建高端装备矩阵
干泵也是中科仪的“心脏”，但并非其真空装备的全部。翻开公司的产品图谱，一条围绕真空技术的高端装备矩阵已然成形。
在科研领域，中科仪的真空科学仪器设备早已支撑起国家重大科技基础设施的运转。公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件加速器、储存环真空盒、光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位之一。
公司还成功研制了第一台国产分子束外延设备（MBE），在科研用MBE设备研制领域居于国内领先，为我国科研、国防单位顺利开展基础前沿科学、量子技术、红外探测、激光器、5G通信等提供了可靠保障。
自第一台MBE诞生以来，公司先后完成了六代MBE设备的研制。MBE是一种在超洁净超高真空条件下，将分子和原子束直接射向衬底，从而在衬底上生长外延层的技术，是国际公认的制备最高端半导体薄膜材料的设备。在中科仪展厅，FW-VI型MBE设备与国外产品的参数对比醒目，“达到国际先进水平”是对产品的概括评价，也成为中科仪深耕真空领域实现技术突围的鲜明注脚。
资本助力赋能持续创新
创新发展离不开资本市场的助力。今年4月，中科仪登陆北交所。选择北交所，核心在于其专精特新硬科技的定位与公司属性高度匹配——认可长期研发投入，尊重硬科技企业发展规律。本次公司募集资金8.43亿元，投向干式真空泵产业化等三大项目，目前正按计划稳步推进，部分产线已逐步释放产能。
郭东民表示，上市带来的变化是实实在在的：公司治理更规范，人才激励有了资本市场工具，品牌信用大幅提升，“询价发行让市场充分博弈，更真实反映公司价值”。
AI算力与存储行业周期共振，带动半导体设备需求大增。2026年上半年，公司营收同比增长。更令投资者关注的是，上市后的首份半年报，公司推出“10派4”的分红方案。“作为国有控股上市公司，既要持续投入研发抓技术攻关，也要积极回馈股东。”郭东民说。
对于未来，郭东民给出的关键词是“自立自强”：围绕洁净真空和超高真空技术这一核心，坚持干式真空泵与真空仪器设备双轮驱动，以技术高端化、产能规模化、市场全球化三大抓手，在细分市场发展成为半导体设备核心部件和真空技术领域的领军企业。
如果把中科仪放进更大的产业坐标系，公司的意义早已超出一家上市公司的范畴。
在沈阳浑南区，中科仪与拓荆科技、芯源微、富创精密、和研科技、新松半导体等企业共同构成集成电路装备的“6+N”产业体系。沈阳集成电路产业集群重点企业在细分领域已形成相当规模，研发出薄膜沉积、涂胶显影、划磨、真空干泵、机械手、精密零部件等整机和核心部件产品，辽宁由此成为中国半导体设备最有特色的区域之一。
从实验室里的第一代真空仪器，到晶圆产线上日夜运转的干泵，再到北交所的敲钟时刻，中科仪的历程，正是中国高端装备企业成长路径的一个缩影。如今，这颗半导体设备的“心脏”仍在加速，“自立自强”是中科仪对未来的回答，也是这家企业走向全球的底气。
