盛美半导体设备（上海）股份有限公司
关于归还临时补充流动资金的闲置募集资金的公告

证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2026-020

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

关于归还临时补充流动资金的闲置募集资金的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

● 截至2026年5月20日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）已累计归还临时补充流动资金的闲置募集资金人民币249,999,701.17元。

一、募集资金临时补充流动资金情况

公司于2025年6月26日召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监事会第二十次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目建设进度的前提下，使用不超过人民币25,000.00万元（含本数）的闲置募集资金临时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效，在有效期内上述额度可以滚动循环使用。具体内容详见公司于2025年6月27日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）上披露的《关于使用部分闲置募集资金临时补充流动资金的公告》（公告编号：2025-044）。

根据上述决议，公司在规定期限内实际使用了人民币249,999,701.17元闲置募集资金临时补充流动资金，并对资金进行了合理的安排与使用，没有影响募集资金投资计划的正常进行。具体情况如下：

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二、归还募集资金的相关情况

2026年5月20日，公司已将上述临时补充流动资金的249,999,701.17元闲置募集资金归还至募集资金专用账户，该笔资金使用期限未超过12个月。截至本公告披露日，公司用于临时补充流动资金的闲置募集资金已全部归还。

公司已将上述募集资金的归还情况通知了公司的保荐机构及保荐代表人。

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特此公告。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司

董事会

2026年5月22日