沈阳芯源微电子设备股份有限公司

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三、重视提高股东回报，分享公司发展红利

公司高度重视股东的投资回报，努力为股东创造长期可持续的价值回报。公司积极实施现金分红并开展回购，增强投资者信心，推动公司股价同公司价值增长相匹配。2024年7月，公司实施了2023年年度权益分派，公司2023年年度以实施权益分派股权登记日登记的公司总股本扣除公司回购专用证券账户中股份为基数分配利润及以资本公积转增股本，向全体股东每10股派发现金红利2.0元（含税），合计派发现金红利人民币27,616,820.80元（含税），同时以资本公积转增股本每10股转增4.5股，合计转增62,137,847股。

2024年2月1日，公司发布了《关于提议公司回购、自然人股东及核心员工增持暨公司“提质增效重回报”行动方案的公告》，公司董事长兼总裁宗润福先生提议公司使用部分超募资金通过集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股（A股）股份，回购金额不低于人民币1,000万元（含），不超过人民币2,000万元（含）。同时，公司部分自然人股东及核心员工拟通过集中竞价交易等方式增持公司股份，增持金额合计不低于人民币2,200万元，不超过人民币3,500万元。公司于2024年7月，实施完毕了上述行动方案，具体情况如下：

2024年2-4月，公司五名自然人股东及核心员工累计增持总金额已达到2,280.66万元，增持均价为100.36元/股，本次自然人股东及核心员工增持计划已实施完毕；

2024年2-7月，公司以集中竞价交易方式累计回购公司股份102,607股，占公司总股本的0.07%，回购成交的最高价为108.54元/股，最低价为93.90元/股，支付的资金总额为人民币1,000.83万元（不含印花税、交易佣金等交易费用），本次回购股份方案实施完毕。

未来，公司将在符合国家相关法律、法规、规章、规范性文件及《公司章程》利润分配相关规定的前提下，根据所处发展阶段，结合业务现状、未来发展规划以及行业发展趋势，继续匹配好资本开支、经营性资金需求与现金分红/股份回购的关系，充分重视对投资者的投资回报，实行积极、可持续的利润分配政策，落实打造“长期、稳定、可持续”的股东价值回报机制。

四、持续完善公司治理，提升规范性运作水平

2024年上半年，公司持续完善公司治理和内部控制制度，防范内外部风险，提高公司运营的规范性，保障股东权益，具体情况如下：

1、完善内控建设，加强内部审计和风险控制

2024年上半年，公司持续完善内控建设，结合公司实际情况，进一步提升公司的内部控制管理体系。公司将完善风险预警和应对机制，定期开展内部审计和风险评估，确保公司稳健、合规运营。

2、深化公司治理，强化“关键少数”责任

2024年上半年，公司积极响应独立董事制度改革相关要求，根据《上市公司独立董事管理办法》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号一规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，对《公司章程》《股东大会议事规则》等16项治理制度进行了修订且制定了《会计师事务所选聘制度》；为确保独立董事的履职效能，公司设立了独立董事专门会议机制并制定了《独立董事专门会议制度》，进一步强化了独立董事对公司的监督体系，促进公司治理结构的完善和优化，提高规范运作水平，不断加强公司治理能力建设，强化大股东、董监高等“关键少数”合规意识，切实推动公司高质量发展。

3、加强董事会建设，安排董监高培训

公司积极组织公司董监高参与上交所、证监局等监管机构举办的相关培训，并安排董监高参加专业机构和公司内部专业人员的培训，推动公司董监高在尽职履责的同时，持续学习最新法律，学习掌握证券市场相关法律法规、熟悉证券市场知识、理解监管动态，不断强化自律和合规意识，推动公司持续规范运作。2024年上半年，公司安排董监高参与了2次上述培训活动。

4、为独立董事创造良好的工作环境，强化其监督机制

公司为便于独立董事开展工作，指定证券投资部作为沟通服务机构，专门负责会议议案材料编制、信息反馈等工作。公司及时向独立董事汇报经营情况和重大事项，并提交相关文件，为独立董事开展工作提供便利，切实保障独立董事的知情权，强化独立董事对公司的监督作用。

五、持续提升信息披露质量，加强投资者关系管理

公司高度重视投资者关系管理工作，严格遵守信息披露相关规定，高质量开展信息披露工作，维护广大投资者的合法权益。一方面，公司加强信息披露全方位管控，构建较为完善的信息披露管理体系，保障经营管理的透明度和规范性；另一方面，公司坚持以投资者需求为导向，积极推进自愿性信息披露，重视披露内容的针对性、易读性、有效性，积极打造多渠道、多形式的投资者关系管理机制。

2024年上半年，公司通过上市公司公告、公司官网及微信公众号、投资者交流会、业绩说明会、接待投资者现场调研、上证e互动、电话、邮件等多种渠道，将公司经营成果、财务状况等情况及时、公开、透明地传达给市场参与各方。报告期内，公司在上海证券交易所路演中心举办了1场业绩说明会，累计发布4份《投资者关系活动记录表》。同时，公司通过上证e互动平台回复了中小投资者提出的17条问题。公司通过以上举措多途径、全方位、及时传达公司的投资价值，在确保合规的前提下帮助投资者充分了解公司所处行业、战略规划、业务发展等信息，增强投资者对公司的信心和信任，吸引更多的投资者特别是中长期资金参与，努力夯实资本市场高质量发展基础。

六、持续评估完善行动方案，维护公司市场形象

综上所述，报告期内，公司严格执行此前制定的《行动方案》，并取得了一定进展。公司将持续评估《行动方案》的具体举措，及时履行信息披露义务。公司将继续专注主业，不断提升核心竞争力、盈利能力和风险管理能力，通过良好的业绩表现、规范的公司治理积极回报投资者，与投资者共享经营发展成果，同时坚持以投资者需求为导向的信息披露，加强与投资者沟通交流，维护公司良好市场形象。

本报告所涉及的公司规划、发展战略等系非既成事实的前瞻性描述，不构成公司对投资者的实质性承诺，敬请投资者注意相关风险。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2024年8月30日

证券代码：688037 证券简称：芯源微 告编号：2024-061

沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于

订单和战略新品进展情况的自愿性披露公告

本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）始终致力于半导体专用设备的国产化，产品包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备、临时键合及解键合设备等，广泛应用于国内各大晶圆厂、先进封装厂、化合物半导体等厂商。作为国内涂胶显影细分领域龙头，公司产品已成功实现在前道晶圆加工领域28nm及以上成熟制程工艺节点全覆盖，14nm及以下先进制程工艺技术也在有序验证中。此外，公司在前道物理清洗、后道先进封装、化合物半导体等领域也长期保持行业领先地位。

为了能够让广大投资者更为详细及时地了解公司的经营情况，现将公司订单及战略新品进展情况公告如下：

一、新签订单情况

2024年上半年，公司新签订单12.19亿元，同比增长约30%。其中，前道涂胶显影新签订单同比保持良好增长，后道先进封装及小尺寸新签订单同比较大幅度增长，应用于Chiplet领域的新产品临时键合、解键合等新签订单同比增长超过十倍，公司战略性新产品前道单片式高温硫酸化学清洗设备也获得国内重要客户订单。截至2024年6月底，公司在手订单超过26亿元，创历史新高。

二、战略新品进展情况

2024年8月30日上午，公司即将在上海临港新厂区启运首台前道单片式高温硫酸化学清洗机KS-CM300到客户端开展工艺验证。该机台是公司上海子公司自主研发的首款高端设备，适用于Pre-deposition、Post-thinfilm、Post-etch、Post-imp、Post-CMP、PR-strip、NiPt remove等多种工艺，机台所用高温SPM清洗工艺被业界公认为28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一，也是业内最具难度和挑战的湿法工艺。

公司研发的该款设备有望打破国外龙头对高温硫酸清洗技术的绝对垄断，机台性能及工艺技术致力于达到国际先进水平，能够实现26纳米以下少于30个剩余颗粒的处理，在连续跑片十万片条件下，可满足客户Up-Time≥95%、刻蚀均一性≤2%等严苛性要求，其研发与验证有望解决国内客户在该领域受制于人的不利局面，对推动国产高端半导体清洗装备自主可控具有重要战略意义，也是公司拓展前道化学清洗领域的里程碑事件。

相关说明及风险提示：

1、以上新签订单及战略新品进展受具体执行、验证进度等因素影响，对公司未来业绩的影响存在不确定性。在履行过程中若遇不可抗力等因素的影响，不排除部分订单存在部分或全部无法履行或终止的风险；

2、以上新签订单数据源自公司内部统计，未经审计，不能以此直接推算公司全年营业收入、净利润等财务数据，仅供投资者及时了解公司日常经营概况。准确的财务数据以公司正式披露的定期报告为准，敬请广大投资者注意投资风险。

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2024年8月30日

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2024-058

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

第二届监事会第二十三次会议决议公告

本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

一、监事会会议召开情况

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）于2024年8月29日在公司会议室以现场和通讯相结合的方式召开了第二届监事会第二十三次会议（以下简称“本次会议”）。本次会议的通知于2024年8月19日送达全体监事。会议应出席监事3人，实际到会监事3人，会议由监事会主席梁倩倩女士主持。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定，会议决议合法、有效。

二、监事会会议审议情况

本次会议由监事会主席梁倩倩女士主持，经全体监事表决，形成决议如下：

（一）审议通过了《关于公司2024年半年度报告及摘要的议案》

经审核，监事会认为：公司2024年半年度报告及摘要的编制和审议程序符合法律、行政法规、公司章程和公司内部管理制度的各项规定；半年度报告编制过程中，未发现公司参与半年度报告及摘要编制和审议的人员有违反保密规定的行为。公司严格按照上市公司相关财务制度规范运作，2024年半年度报告真实、客观、全面地反映了公司报告期内的财务状况和经营成果。监事会全体成员保证公司2024年半年度报告及摘要所披露的信息真实、准确、完整，承诺其中不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性、完整性承担个别和连带的法律责任。

具体内容详见同日刊载于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2024年半年度报告》《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2024年半年度报告摘要》。

同意：3票；反对0票；弃权：0票。

（二）审议通过了《关于审议〈2024年半年度募集资金存放与使用情况专项报告〉的议案》

经审核，监事会认为：公司2024年半年度募集资金存放与使用情况符合《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号一一规范运作》等相关法律法规及公司《募集资金管理制度》的规定。公司对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，也不存在违规使用募集资金的情形。

具体内容详见同日刊载于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2024年半年度募集资金存放与使用情况专项报告》（公告编号：2024-059）。

同意：3票；反对0票；弃权：0票。

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会

2024年8月30日